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標題:
請教DRC Error (dummy) - NO.IND.M1.R 1
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作者:
mrj0702
時間:
2012-8-8 07:43 PM
標題:
請教DRC Error (dummy) - NO.IND.M1.R 1
本帖最後由 mrj0702 於 2012-8-8 07:58 PM 編輯
) F$ p- C! ~, P1 Y7 \
' J# q2 D3 Y( s' V9 ^* Y) o [
各位好：
& V' T3 c. P/ G3 G
我是在學的大學生，接觸Layout的時間並不長，所以請各位多多包涵與指教。
' I7 {/ A- S' M7 h
$ i+ X" }5 X, D) e7 R$ U& q
我使用TSMC的PDK繪製了一個OP。
/ F; O7 m3 q( o2 O
3 |4 o+ b: Z/ E- A& @# ^5 c
在下線申請的假錯列表中，有幾項DRC Error是不能忽略的。
4 N, X* _* \# ]- f8 s
Density的錯誤(NO.IND.PO.R.3、NO.IND.M1.R1~M5.R1、UTM20K.R.1)
- J/ M* ]( @2 f& Q
5 D% M5 k: @/ s2 ?4 f, t+ U7 Y
因為我不會使用輔助工具來自動填補，所以OP旁邊的Dummy(5um*5um)是自己手動補上的(範圍1mm*1mm)。
/ r' z1 Y, }0 q4 g) G
我試著將M1-M6/dum重疊，不過這些Dummy的錯誤依然無法去除。
# j! W) G, I8 ?
我想我肯定是漏了其他金屬層的Dummy，所以這個DRC Error 才會無法去除。
. {3 J3 w/ `$ {' }) x" L7 A
6 w+ N8 ^- M7 P7 l U2 Z
有前輩能夠指教如何自動填補Dummy？或者手動補Dummy需要那些金屬層？
作者:
glavine
時間:
2012-8-14 03:36 PM
那個錯誤是密度不夠 po密度要到14%
: e% J4 K; `: ~4 O9 n* F" Y
其他m1~m6都要填佔整顆晶片的30%
作者:
ONLYFLYSKY
時間:
2012-8-15 02:40 AM
本帖最後由 ONLYFLYSKY 於 2012-8-15 02:52 AM 編輯
2 _( A$ ^ k8 A5 J, C: w8 T
: K, i; i) n* R4 ^ s' M
要補，，因為是看整片WAFFER的面積，至少確保您的部份是OK的 ，所以後續CIC在補不足的部份不用補那麼大的面積，對他們來說是省時省事，也確保在補時不會動到下片的人的晶片，這是看空的部份來禣的。
* M8 j Z, g- q- g. D9 Y1 [7 Y
1 ]1 S: z( f# B; _1 _+ l/ `3 h
0 u! t5 l& y# d, ]$ c( n
不用補，因為是看整片WAFFER的面積，你的沒補，或許可以靠 其他人的來補償你不足的部份。--->等你出社會時跟其他業者搭BUS時，製程廠如果可以讓你忽略，也就是他們可以負責這部份。
作者:
mrj0702
時間:
2012-8-26 12:29 PM
謝謝兩位的回答，我已經補上並成功消除這些錯誤了。
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