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標題:
請問 Gate Oxide 與 Field Oxide (FOX) 的功用為何？
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作者:
vic
時間:
2012-3-6 06:21 AM
標題:
請問 Gate Oxide 與 Field Oxide (FOX) 的功用為何？
各位大大您們好！
1 I: i J4 U' N, l' v4 r
請問有人知道 Gate Oxide 與 Field Oxide (FOX) 在製程上的的功用為何呢？
& s) z) T" s( a! a# W5 E) d
謝謝！
作者:
despair
時間:
2012-3-7 11:50 AM
Gate Oxide 與 Field Oxide (FOX)
# z, _0 p; B1 D, z! B L- {/ Y$ O
+ G+ q) m! n2 g8 {* x; k
不管前者或後者者都可以提供組成device的一個感應電極。
1 z" V' `4 E; g U/ Q
（如CMOS device or Field Oxide Device）
" Z9 D; D/ o3 c$ }6 t
1 L2 R D' e. W$ p
但前者較長使用在CMOS邏輯製程中MOS的Gate極點，而後者常用
7 l. w( C7 J Q# ^! ]" x
在device之間的絕緣使用。
作者:
vic
時間:
2012-3-8 03:00 PM
簡單明暸...
, w3 J( z( `1 D! F6 i$ G
謝謝大大的解答...
4 X1 g- B6 I" B5 f1 |2 D8 D
讓小弟受益良多...
8 h$ y* [; R6 h, ~: q9 B3 B5 O3 k
感恩！
作者:
klim
時間:
2012-4-20 12:29 PM
那請問, 若使用FOX其MASK layer要增加嗎?
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