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標題: Layout Design Rule Considerations：How to set up the Space of Rpoly？ [打印本頁]

作者: CHIP321 時間: 2011-11-25 05:12 PM
標題: Layout Design Rule Considerations：How to set up the Space of Rpoly？
Layout Design Rule Considerations：How to set up the Space of Rpoly？

用於製作電阻的POLY間距在LDR中通常要遠大于GATE POLY的間距？較大的間距會帶來什麽收益？是出於PR的考慮or Etch的要求呢？
若是基於精度控制，爲何GATE POLY不做此項有求？

作者: MTK1019 時間: 2011-11-25 05:44 PM
1，FOX 比栅氧要厚，也就是 Etch的时候接触面是要算立体的吧。FOX厚多少宽度自然要加多少。
2，Rploy 是生长在场氧上（FOX），相对栅氧是不平整的。距离大“翘起”效应低一点。
个人的一点浅见，多多指教。

作者: Clemens71 時間: 2011-12-1 01:46 AM
goooooooooooooooooooooooooooooooood

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