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標題: 何謂 field oxide、 gate oxide,、thin oxide，thick oxide [打印本頁]
作者: 372412    時間: 2011-5-15 10:09 PM
標題: 何謂 field oxide、 gate oxide,、thin oxide，thick oxide
在書上常見到  field oxide、 gate oxide,、thin oxide，thick oxide
) d3 E( _- T' B) C7 y但是真是讓這些名詞給搞亂了，不知道有何差別。所以想向網路上各位先進請教# D! W  D( O  o2 Q& U: {2 k2 A) b6 F' W
不知是否有剖面圖 cross-section 可以參考，已方便做比較。+ O1 Q) X3 l+ |* q- b% i' x3 a
謝謝
作者: 小緯仔    時間: 2011-5-17 01:04 AM
基本上....field oxide = thick oxide 簡單的說就是OD之外的部分....7 T8 b& _; C3 X. b2 d9 b: {. {3 Z. I

$ [5 i. T2 j, Fgate oxide = thin oxide 長在poly 下層的 oxide....



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