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標題:
請問 metal scheme 的意思 (ex: 5x2y2z??)
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作者:
vincent_p0593
時間:
2010-4-27 11:21 AM
標題:
請問 metal scheme 的意思 (ex: 5x2y2z??)
請教 foundry fab 所謂 metal scheme x/y/z 意指??
- f5 Z. R% _' N' _$ x6 g2 J
一般所謂 1P5M 即一層poly (transistor gate, maybe WSix or salicide, maybe single poly or dual poly), 五層金屬層(M1~M5, M5 thick)
' r. ^9 d% J( J: z# x
X/Y/Z??
作者:
vincent_p0593
時間:
2010-4-29 12:09 PM
自解 : 昨天 t 朋友打電話來順便求解
2 }/ u4 J3 [6 t' _
5x2y2z 表示九層metal, M1~M5 用厚度1(薄), M6~M7用厚度2, M8~M9用厚度3(厚)
$ z4 }) s% Y# G7 z I) q
每個process node各有其定義的厚度給x,y,z
! T* S; ^" l0 i9 `+ ^! g1 P2 G
( d( C& V- W6 m
目前的了解,...歡迎補充.
作者:
yytseng
時間:
2010-5-21 12:13 AM
回復
2#
vincent_p0593
) N5 Y5 V" O1 q! P4 T6 e1 Q
: U8 Y8 L' C) E. m
5x2y2z = 1p10M
. A5 G3 Z8 ~* y& j$ E3 F
+ Z/ d8 r! y* L
台積的metal定義中
6 m6 R; {. c* Z) d4 L& f3 V
M1 為預設 寬度厚度不得更改 其他客戶可根據自己需要選擇要出幾層metal 光罩..但是最上層必須要厚的....
8 B/ Y$ D7 B! a$ j7 p; t& ]4 i
M2以上為 X 代表一倍厚度
0 C0 ?, k5 d; A5 q
M5 以上可用 Y (兩倍厚度) 或是 YZ ,或是 Z(四倍厚度)
) L) I& `+ v2 n2 \1 b) W& d5 s9 W
& `7 `% n$ q# I! f2 v) @4 |
不同的 metal 組合,有不同的 min pitch 以及對應的 RC 當然 DRC rule 也不同
5 q3 B( ]8 [& I9 U2 ^) s
k( b) a2 z5 o, w
1p10m5x2y2z 代表 m2~m6為 X, m7,m8 為Y ; m9,m10為Z 如果有RDL (flip chip package bump route) 則還多一層 AP (鋁)
$ Z# r6 Q1 u$ G$ S: Y4 I5 u. @2 f
詳細的說明拿到台積的kits都有,客戶必須要透過正式管道才能拿到
作者:
vincent_p0593
時間:
2010-5-24 05:45 PM
了解所述, 感謝!
, L9 e3 l( G( O# ~6 Z1 x4 e
如果metal只有4層 這樣是否合規定 : 1p4m2x1y?
) t! S: T$ I3 U N( F
YZ 代表三倍厚度? or customize 2~4倍
; S7 u1 r0 s5 r
Y, YZ, Z都可當top metal?
- o$ B0 `5 a& z4 a3 m3 C
! ^) M+ J$ X: \. H) k
Thanks in advance.
作者:
cmyangf
時間:
2010-6-1 10:53 PM
要看哪一個process ~~ 有些有提供Ｙ當top metal 的. 要把design rule翻出來看.
作者:
AnnLin
時間:
2015-11-24 02:59 PM
原來如此, 長知識了! 感謝!
作者:
lowstar
時間:
2019-3-9 05:16 PM
Wow
( m+ c1 g2 W- J( i4 k
I think this is an important item for engineers work in foundry and IC Design house.
& R' j1 |; H7 [/ I/ k+ h9 a+ O
s$ y# a; p5 \. C/ O9 L- e# B
7 X! w2 x% `+ i [
作者:
charlie0050
時間:
2020-6-23 11:19 PM
解了我心中的疑惑 謝謝大大
5 s7 N4 W" c) n, o
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