0.35製程pad的問題

yoyo20701

小弟最近為的下線~~遇到一個問題~~始終找不到錯誤~能否麻煩大大幫小弟解答一下~
小弟的pad在drc時出現錯誤~~但是它並不是所容許的錯誤~~
8 m, c, E  U1 T% Z. s0 f而且小弟是用內建裡的整個pad(它幫我畫好的那種(總共有24個pad))
去跑drc的~~但它所出現的錯誤~並不是技術檔案所容許~~~~~~
( o* i$ C' a* j) H4 P. w( ?錯誤如下:
: s! |( G1 Q0 K# C        1.check OD.R.1.WARN-2 Resules
2 e' o  B4 {7 T( B$ s0 r         OD.R.1.WARN { @ OD without implant
& c4 v- T% b1 a! z1 {6 l# Z& A          OD NOT IMP}
) b1 t, L' Y+ d- h         2.check M2.S.1.WARN-35 Resules
6 z; x8 k- Z3 K4 T            M2.S.1 {@ M2 spacing < 0.50
           EXT M2 < 0.50 ABUT<90 SINGULAR REGION}
# K& o8 y0 K3 M, h+ U% j: _          3.check M3.S.1.WARN-3 Resules
/ T$ u5 _2 y+ L: q* [               M3.S.1 {@ M3 spacing < 0.50
            EXT M3 < 0.50 ABUT<90 SINGULAR REGION}

" x+ F" @+ \" [) }" w9 K0 u              請大大幫解答~謝謝~

Shouwei

妳的2、3點所指的是
/ u5 H" v4 K/ x- @$ Y2. Metel2跟Metel2中間的最小間隔需要有0.5μm，可是您沒有達到(共有35處)
3. 同上(共3處)
7 A0 e5 \0 r. [! T$ m
. F" ~$ V1 ]3 U/ ~第一點是說您的diffusion沒有離子值入區的樣子，小弟是沒遇過啦
/ T" T. O8 g9 h' S4 R- C8 m1 i# j只是在想，會不會是您沒有畫出pmos或是nmos，可能要慢慢找一下

7 `: r4 y. G( r+ q. o8 a- Q" O2 [其實您可以直接點下去DRC上面所寫的座標
就可以看到了，到底是哪出了差錯；第1點就需要這樣慢慢Try了~
% c: [- L& }7 {& {6 o不過，您的文中沒有提到，有沒有就單純的core做驗證呢？如果有還會這樣的話
可能是pad沒有放得很好唷，在放pad時，要把grid調到0.01μm才會對得好，我的經驗@!@
+ K: m! c+ k4 k7 ?- p) y
最近下線都要postsim囉，要記得跑一下@!@
最好是掛PAD上去再POSTSIM一次，這樣應該會比別人好過~

edengod

1.check OD.R.1.WARN-2 Resules5 h  E% X6 ~, E$ ~: E9 _
         OD.R.1.WARN { @ OD without implant0 s7 r0 R9 b1 e7 o/ ]
. s4 E* `' J2 d          OD NOT IMP}3 N; C: S' y2 V' ?: T
3 l4 H+ y: u" o: p有 diffusion 沒蓋到 implant  或 p/n implant 重疊(若是這樣 drc commfile 寫的不好)

4 s# q6 N6 e1 D3 x6 }. R' r: e2.3
# j5 M7 b- K8 g& T  OMetel2/3 跟 Metel2/3 中間的最小間隔需要有0.5μm
7 l0 [3 E" `% \7 B或不是轉90度角.

yoyo20701

小弟找到那3個出錯的pad~單獨模擬那個pad~~結果有一個pad出現
1.check M2.S.1.WARN-35跟3.check M3.S.1.WARN-3的錯~~另外2個pad各有1個
check OD.R.1.WARN-2 Resules~~~我是單獨跑的~~也不知道為什麼會出錯~
而且~~萬大大一個問題~pad不是都cic畫好的~~我們不是只有引用而已嘛?為什麼只單獨跑就出錯~~而且還是不容許的錯~~麻煩大大幫解答一下~~謝謝

Shouwei

載新的來試試吧XD
2 D5 u3 A; x6 J6 `8 T9 Q2 m@!@ 唯一能想的，不然妳就真的點drc上面說的座標，去看到底是哪裡出錯
唯有慢慢找了，因為小弟引用也沒有遇過

李寶容@FB

現在正再畫IO
大家的回答都超有用的!!