1120220~實驗計畫法在半導體業的應用實例

SophieWeng@G

[開課資訊]

• 時間：112年2月 20日(一)~2月21日(二)，09:30~16:30，2天共計12小時
• 地點：沙崙綠能科技示範場域 (台南市歸仁區高發二路360號)
  

[課程介紹]
在要求高精度的半導體產業，製程條件最佳化是產出高良率的保證，但是也因為重要的製程條件過多以至於最佳化非常困難及耗時，此時需要有完善的實驗規劃才能有效率的完成實驗，並獲取製程最佳化。

本課程專門針對半導體相關製程如何有效進行DOE的實驗進行解說及演練，期望同學在課程後能實際應用在自身工作上。

[課程特色]

• 講師在多家晶圓製造廠進行相關個案指導有30年豐富教學與實作經驗。
• 課程設計以步驟式的詳細解說DOE實驗設計，並結合半導體產業中黃光及蝕刻製程的相關案例，側重應用實務。
• 講義設計包含常見統計分析軟體應用，以Excel與JMP為主。
  

[課程對象]
研發工程師、制程工程師、品管工程師、設備工程師 ，企業指定參訓人員

[講師介紹]
蔡春榮 講師
【學歷】國立臺北工專自動化控制組
【現職】亞博製程管理顧問有限公司 負責人、朗坤(蘇州)管理諮詢有限公司 負責人
【經歷】大同公司塑模廠(工程師)、台灣日本電裝公司(生技工程師)、中國生產力中心(專案經理)、田口品質工程顧問師班(DOE專任講師)、經營管理顧問師班(生產效率專任講師)、田口品質工程研究會(專案負責人)、亞洲生產力組織Asian Productivity Organization,APO(講師)、品質優良案例獎(常任評審)、亞博製程管理顧問有限公司(總經理)、朗坤(蘇州)管理諮詢有限公司(總經理)

[課程大綱]

項目	內容	學習重點
基本統計學複習	基本統計量 資料收集的基本概念	對實驗計畫法所用的統計方法進行重點複習
實現計劃法的全貌	DOE實驗計畫法簡介 以案例完整介紹實驗規劃過程以及案例演練	瞭解DOE實驗的全貌
實驗規劃	控制因數的選擇及水準設定 誤差因數的尋找 特性值的分類與選擇(計量&計數；單一&複合) 直交表入門 DOE實驗設計之直積配置	掌握如何有效合理選擇實驗因數與水準設計，降低實驗失敗機率 如何根據專案目標選擇特性值 應用直交表減少實驗次數
個案講解	模擬案例進行實驗規劃演練 優秀實驗規劃個案講解	通過個案講解以及實際演練，加深對於DOE實驗計畫法的掌握
實驗分析	實驗資料收集及樣本設定 常用實驗結果分析方法(計量型) 靜態SN比分析(計量：望大、望小、望目、零望目；計數：Omega轉化、多重計數值) 動態SN比分析簡介 一般實驗分析法與SN比的差異	建立特性值有效分析方法，理解動態SN對於均勻化特性指標分析的幫助
尋找最佳解與實驗失敗的再檢討	評估重要影響因數：輔助表與ANOVA分析 尋找最佳解 如何進行確認實驗 界定及分析實驗結果，以及失敗程度 信號因數的尋找與應用 尋找干擾因數，再次實驗規劃	找到實驗的有用資訊，更好規劃下階段改進實驗

報名網址：https://college.itri.org.tw/Home ... D-80E1-B6677931B67D