ESD 失效如何解決?

yuray12

Process: UMC 0.13um 1.2V/3.3V
- w) t; t; q4 i4 m使用faraday ESD I/O (spec 寫可pass HBM 2kV, MM 200V, CDM 500V)
; Q! G# Q/ ]( Z8 r# Y, U- j目前情況：
; W/ N% u6 m  X' Q+ k
( ?+ i" u; k" c" w9 C8 ?: s5 c; ?+ X4 nHBM 2kV all pass，但所有 1.2V supply PIN(四五組，不同power domain)在做"VDD-VSS (+)(-) 的 MM200V" & "CDM 500V"測試都fail。其它組合都pass。有作初步FA分析，損傷似乎發生在內部電路而非ESD I/O 保護電路上，也就是說在保護電路未動作前，內路電路就受到破壞。

) _4 }2 f: w, @: p& q請問是否有前輩可以指導一下方向，不知道要如何解決。謝謝!!