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[問題求助] Layout佈線問題

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1#
發表於 2013-6-11 19:31:25 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
大家好:
4 \4 \% ~2 w$ d( f+ a+ k* M* J) f$ W
5 q; T6 r' ~! U2 Z8 d) Y; I% ?. W小弟最近在Layout佈線時想到一個問題,1 Q6 `; E  M9 [& j0 U# [9 A3 _; x
一般在做金屬導線連接時,5 T2 O5 T7 e. r8 l$ E* i
應該是像圖一一樣,3 a4 L+ J0 [- U/ R1 h* A
polysilicon與Metal line並無間隙,且需要部份重疊,
( ^" T# y8 {6 X利用Contact hole 將兩者連接起來,- q0 O4 T) M6 [
Contact hole是屬於垂直方向將上下兩個需相通的部分做連接,
  O3 ?4 V. [: k/ Y* `想請問各位前輩,- a! j7 @: ]( I0 v
若以圖二這種方式連接,
: I) ?$ @$ c  S' _2 lpolysilicon與Metal line之間不重疊,保持有一段距離,) `  S( m3 O& r4 P' Q5 z* a: R
再利用Contact hole 將兩者連接起來,把Contact hole當成導線的功能,; V2 F! U  v. U1 Q. `* ~
讓Contact hole具有垂直方向以及水平方向的連接,
% ]7 u% F+ J  z- ^/ B$ s這樣可以嗎?

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2#
發表於 2013-6-13 13:05:49 | 只看該作者
會有current density的問題 去翻閱一下製程設計手冊,找一下current density在不同layer間的參數~
3#
發表於 2015-8-24 08:04:08 | 只看該作者
翻翻一下製程設計手冊& q0 A: t6 k& y
翻翻一下製程設計手冊
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