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大家好:0 j/ s2 }6 [( j0 O9 I+ m4 d
) j5 m. E, r% I! K4 B4 \( W小弟最近在Layout佈線時想到一個問題,( G* k) ]' u% F- g8 H
一般在做金屬導線連接時,! r4 q, m( ~' e" ^5 }: J2 ^
應該是像圖一一樣,* ^; R6 l$ A! p- H4 n
polysilicon與Metal line並無間隙,且需要部份重疊,
8 `% A$ I* T8 B# f7 m+ T利用Contact hole 將兩者連接起來,
! l# G+ x9 Z/ V: A5 h7 dContact hole是屬於垂直方向將上下兩個需相通的部分做連接,) {. z% [% l& g
想請問各位前輩,
+ x, F4 E7 V: B# E1 `0 i( ~若以圖二這種方式連接, x! G: o4 r0 W" m' g1 b( G
polysilicon與Metal line之間不重疊,保持有一段距離,+ \- H F# c* G4 e e
再利用Contact hole 將兩者連接起來,把Contact hole當成導線的功能,
$ _! O, s- X8 I. k+ n& j讓Contact hole具有垂直方向以及水平方向的連接,
) D/ P: i+ D" \: z. l: M+ F這樣可以嗎? |
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