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[問題求助] Layout佈線問題

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1#
發表於 2013-6-11 19:31:25 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
大家好:0 j/ s2 }6 [( j0 O9 I+ m4 d

) j5 m. E, r% I! K4 B4 \( W小弟最近在Layout佈線時想到一個問題,( G* k) ]' u% F- g8 H
一般在做金屬導線連接時,! r4 q, m( ~' e" ^5 }: J2 ^
應該是像圖一一樣,* ^; R6 l$ A! p- H4 n
polysilicon與Metal line並無間隙,且需要部份重疊,
8 `% A$ I* T8 B# f7 m+ T利用Contact hole 將兩者連接起來,
! l# G+ x9 Z/ V: A5 h7 dContact hole是屬於垂直方向將上下兩個需相通的部分做連接,) {. z% [% l& g
想請問各位前輩,
+ x, F4 E7 V: B# E1 `0 i( ~若以圖二這種方式連接,  x! G: o4 r0 W" m' g1 b( G
polysilicon與Metal line之間不重疊,保持有一段距離,+ \- H  F# c* G4 e  e
再利用Contact hole 將兩者連接起來,把Contact hole當成導線的功能,
$ _! O, s- X8 I. k+ n& j讓Contact hole具有垂直方向以及水平方向的連接,
) D/ P: i+ D" \: z. l: M+ F這樣可以嗎?

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2#
發表於 2013-6-13 13:05:49 | 只看該作者
會有current density的問題 去翻閱一下製程設計手冊,找一下current density在不同layer間的參數~
3#
發表於 2015-8-24 08:04:08 | 只看該作者
翻翻一下製程設計手冊
8 {1 B9 a8 r7 S( x% x+ l  N0 ?翻翻一下製程設計手冊
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