關於LAYOUT METAL的M1.Mx.My.Mz.Mr.Mu疑問

layoutarthur824

我在手冊上看到LAYOUT METAL的M1.Mx.My.Mz.Mr.Mu
- J# _/ t$ F; E# Q, ]' a$ @M1好像是單指M1的話
: k0 C* P7 M/ }3 c# ]6 D* W我一直以為Mx是M2、My是M3、Mz是M4以此類推....
- p7 \. Y( B7 Q# j可是好像不是這樣耶...
, e" a9 `  s- x/ ]3 k  Z$ C可以請各位大大解惑一下那些層是什麼嗎??

bowbow99

在下也看不出那些層是什麼！
不知道那些層在手冊裡彼此是什麼關係！

會不會其實是同一層,只是代表不同區塊（瞎猜的）

veteran

請直接查看foundry提供的DRM document.裡頭會有描述。

l690527

document
EX.
, }- N  J$ j: |     28nm
' F& d( e/ I, L3 X# T2 T; W, t     1P6M5X2Z0T1F2U

chengchishun

表示       metal        厚度