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[問題求助] Layout佈線問題

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1#
發表於 2013-6-11 19:31:25 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
大家好:
% p. O( ^- g1 d0 e1 L. k: [% s
0 k$ ~' \! W' O% |8 _2 A/ g8 l8 ]小弟最近在Layout佈線時想到一個問題,+ M- ?8 B* K$ R0 G  Z8 z5 E
一般在做金屬導線連接時,9 k& }+ h0 t+ {9 g
應該是像圖一一樣,
# E4 N2 y7 {% O4 D1 ^+ ?polysilicon與Metal line並無間隙,且需要部份重疊,
1 z# e( ~( g( ]& B$ x/ {7 s8 i利用Contact hole 將兩者連接起來,
% j9 @. Z* r+ u5 v; T1 z, G% rContact hole是屬於垂直方向將上下兩個需相通的部分做連接,7 V, h# x' A  L( q  P/ @+ D4 ^
想請問各位前輩,
# m1 q: D. [8 H3 h( Y若以圖二這種方式連接,0 Z3 ?4 a4 V7 y- w! ^& |) S* {
polysilicon與Metal line之間不重疊,保持有一段距離,
. ~- n- Y! y& X3 c1 g$ x; T再利用Contact hole 將兩者連接起來,把Contact hole當成導線的功能,5 U! Q; X) ]* T
讓Contact hole具有垂直方向以及水平方向的連接,8 i  ?' L( |4 H# x4 S9 l
這樣可以嗎?

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2#
發表於 2013-6-13 13:05:49 | 只看該作者
會有current density的問題 去翻閱一下製程設計手冊,找一下current density在不同layer間的參數~
3#
發表於 2015-8-24 08:04:08 | 只看該作者
翻翻一下製程設計手冊
6 P! |  n- e* A' X& H' L# S4 a翻翻一下製程設計手冊
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