請問功率二極體/電晶體是使用什麼製程呢?

fsshlin

請教版上各位先進，功率二極體/功率電晶體是屬於高壓高電流的功率元件，必需使用什麼製程來做呢?
隨著電流電壓規格的不同，是否製程也會跟著改變呢?

bernie820

可以去翻翻製程的書
: A5 e7 g, G# K, m
8 L, X# I' T2 d$ p' U3 T' Q或者是製程文件
% W5 _& [% ^0 K2 ]/ @
再不然把元件書看一看可大概知道是用那些製程完程!
7 H: p4 u% H; C. \. a
然後以模擬方式去找嘗試

cukow

我们实验室有用.13的锗硅工艺做的

yuany

工艺文件不是都有说明的吗？？
都会有个process flow
, J; I! y& `! T* y' j
CMOS中功率器件只是多了个层次或者改了些规则而已啦。。
4 `$ ?+ e) W( F# G比如提高栅压或SD间距

chriskomh

好像是BCD製程?
1 B$ H9 r: N& O7 A: ~( l7 N* e0 C雙載子CMOS高壓製程?
( a. y6 g1 I' ~" g1 k您可以再查查看

dreamflying61

看看电子工业出版社的 半导体制造技术吧！