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Dear All:6 @ p9 i% A7 U E1 S8 ~$ A6 l5 o. G
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目前遇到的問題是 laser trim 完發現有時電壓有變動有時不會9 i5 o$ f |0 X' R7 Q" X0 d, _( L
% V& U( s, S; ]' A" D3 F# [- `與 laser energy 無關, 因為有掃過能量, 結果也是有時會動有時不會動
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+ K4 b* v/ {; r- t5 {9 ]用 OM 確認 Metal fuse 斷的很漂亮, 用 FIB 掃卻發現不會動的 die fuse 沒有斷的很乾淨" ]' F0 `2 l E& w4 s2 K; m
" N6 J. ?% j7 Z9 S4 J不曉得各位大大知不知道是什麼在影響?$ n& p5 k5 F1 P& {. u
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另外就是, fuse 上面是有開窗的, 不過距離上面有很深的厚度
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不曉得會不會影響 laser energy 打到 fuse 時能量已經降低以致於打不斷 fuse
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poly fuse 的問題
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请教做laser trim的注意事项 ' x5 f! Y; ~) s3 k! {& K' h
Current trimming 要如何做呢? $ C t# S% q/ a+ U5 t% b
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[ 本帖最後由 sjhor 於 2009-3-17 06:44 PM 編輯 ] |
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