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布局前的准备:( r# x# p6 J1 o5 Z7 S
1 查看捕捉点设置是否正确.08工艺为0.1,06工艺为0.05,05工艺为0.025.* t: q5 H2 j( `1 l& W X* y; v
2 Cell名称不能以数字开头.否则无法做DRACULA检查.6 `. d( I% F5 ^1 N8 `: [
3 布局前考虑好出PIN的方向和位置# b6 h( o2 k' r" a4 q' `; E
4 布局前分析电路,完成同一功能的MOS管画在一起 O6 r9 q2 r; U) Z6 U3 b+ X. T; z
5 对两层金属走向预先订好。一个图中栅的走向尽量一致,不要有横有竖。
1 ~; S! S/ S1 _6 x8 k- P, D% M6 ?2 l6 对pin分类,vdd,vddx注意不要混淆,不同电位(衬底接不同电压)的n井分开.混合信号的电路尤其注意这点.
+ X$ E& h5 J* e9 ?7 在正确的路径下(一般是进到~/opus)打开icfb.+ f2 i; ^) l, }; S
8 更改cell时查看路径,一定要在正确的library下更改,以防copy过来的cell是在其他的library下,被改错.. O& j0 E' N d/ F# s
9 将不同电位的N井找出来.
- x; U$ E, k/ a2 [2 e: Q8 q' e) `0 A3 F布局时注意:1 J! Y2 x6 U, a, M8 S
10 更改原理图后一定记得check and save. R- W1 n b( H w; ]7 k P
11 完成每个cell后要归原点
' L# j$ I. ~1 k6 F e) \$ v2 R12 DEVICE的 个数 是否和原理图一至(有并联的管子时注意);各DEVICE的尺寸是否和原理图一至。一般在拿到原理图之后,会对布局有大概的规划,先画DEVICE,(DIVECE之间不必用最小间距,根据经验考虑连线空间留出空隙)再连线。画DEVICE后从EXTRACTED中看参数检验对错。对每个device器件的各端从什么方向,什么位置与其他物体连线 必须 先有考虑(与经验及floorplan的水平有关).8 ?( g2 I e" `
13 如果一个cell调用其它cell,被调用的cell的vssx,vddx,vssb,vddb如果没有和外层cell连起来,要打上PIN,否则通不过diva检查.尽量在布局低层cell时就连起来2 X% O( l6 T) `' Z h( l6 g
14 尽量用最上层金属接出PIN。) S+ K+ z* S4 Y. d8 @) K6 R
15 接出去的线拉到cell边缘,布局时记得留出走线空间.
5 K* g$ q; R5 g9 I16 金属连线不宜过长;
# q S$ ~7 K( Z @0 ]17 电容一般最后画,在空档处拼凑。1 s" }+ x0 ~$ N$ v/ \4 L
18 小尺寸的mos管孔可以少打一点.
% d/ j ] R6 _! l1 u2 F& c19 LABEL标识元件时不要用y0层,mapfile不认。2 J1 h! `7 R2 |7 w# ]7 ^# j6 l* n( u# K
20 管子的沟道上尽量不要走线;M2的影响比M1小.; q. O! @" M9 [0 a( m8 h8 g% T: l$ b
21 电容上下级板的电压注意要均匀分布;电容的长宽不宜相差过大。可以多个电阻并联.
C/ u- b4 {4 `0 P) _: Z22 多晶硅栅不能两端都打孔连接金属。
& Y9 r2 T# H2 d, {23 栅上的孔最好打在栅的中间位置.
) }* B; g# w) h( I24 U形的mos管用整片方形的栅覆盖diff层,不要用layer generation的方法生成U形栅.' q9 ?8 h5 p: ?- k
25 一般打孔最少打两个
6 @& N4 [( @8 T" s/ h3 L T26 Contact面积允许的情况下,能打越多越好,尤其是input/output部分,因为电流较大.但如果contact阻值远大于diffusion则不适用.传导线越宽越好,因为可以减少电阻值,但也增加了电容值.
$ o& S; J& m4 m' f% X |% D# a27 薄氧化层是否有对应的植入层6 G5 I. \" H+ H+ ^& c5 z& g
28 金属连接孔可以嵌在diffusion的孔中间.& N6 n/ t6 E! [( ~# N) S
29 两段金属连接处重叠的地方注意金属线最小宽度
! o. p7 r- t j1 Z30 连线接头处一定要重叠,画的时候将该区域放大可避免此错误。
# o. W2 G! j2 V31 摆放各个小CELL时注意不要挤得太近,没有留出走线空间。最后线只能从DEVICE上跨过去。. D# [1 G* m8 T7 u' E
32 Text2,y0层只是用来做检查或标志用,不用于光刻制造.
3 _3 C7 z9 ?: W4 N Y: ]9 r33 芯片内部的电源线/地线和ESD上的电源线/地线分开接;数模信号的电源线/地线分开。
9 ^& N, c; w% e3 [; M& L8 f34 Pad的pass窗口的尺寸画成整数90um.7 _6 y W5 s$ k5 {& U: x3 v# f5 U) r
35 连接Esd电路的线不能断,如果改变走向不要换金属层: J/ @ X& l4 p' o, h
36 Esd电路中无VDDX,VSSX,是VDDB,VSSB.
, s7 k/ g9 V7 g5 b A37 PAD和ESD最好使用M1连接,宽度不小于20um;使用M2连接时,pad上不用打VIA孔,在ESD电路上打。
; n9 i* e1 P- i. ?6 x3 G2 }38 PAD与芯片内部cell的连线要从ESD电路上接过去。
8 }! _! O; @. I8 U* A* [39 Esd电路的SOURCE放两边,DRAIN放中间。
0 C3 a% V$ p; q; g) s7 k) [% [9 c40 ESD的D端的孔到poly的间距为4,S端到poly的间距为^+0.2.防止大电流从D端进来时影响poly.2 i6 d& ^* e7 D2 C( F; x$ o
41 ESD的pmos管与其他ESD或POWER的nmos管至少相距70um以上。
) ~0 C" ^) c; j) s" I2 s: m6 i42 大尺寸的pmos/nmos与其他nmos/pmos(非powermos和ESD)的间距不够70um时,但最好不要小于50um,中间加NWELL,打上NTAP.
3 _! t- x1 T$ w* y# Q. F, v9 Q43 NWELL和PTAP的隔离效果有什么不同?NWELL较深,效果较好.9 r5 F6 P h2 Q. D+ i
44 只有esd电路中的管子才可以用2*2um的孔.怎么判断ESD电路?上拉P管的D/G均接VDD,S接PAD;下拉N管的G/S接VSS,D接PAD.P/N管起二极管的作用.( _% u) h1 \. Z
45 摆放ESD时nmos摆在最外缘,pmos在内.
* y5 d5 s: x5 u7 l! H2 Y. ~46 关于匹配电路,放大电路不需要和下面的电流源匹配。什么是匹配?使需要匹配的管子所处的光刻环境一样。 匹配分为横向,纵向,和中心匹配。1221为纵向匹配,12为中心匹配(把上方1转到下方1时,上方2也达到下方2位置)21中心匹配最佳。
4 \7 ]8 e9 h Y" C9 C47 尺寸非常小的匹配管子对匹配画法要求不严格.4个以上的匹配管子,局部和整体都匹配的匹配方式最佳.) X1 i2 u5 c( A+ a
48 在匹配电路的mos管左右画上dummy,用poly,poly的尺寸与管子尺寸一样,dummy与相邻的第一个poly gate的间距等于poly gate之间的间距.! u0 X# T- ?* p, f
49 电阻的匹配,例如1,2两电阻需要匹配,仍是1221等方法。电阻dummy两头接地vssx。3 c1 s9 o0 F* m" q, `- H
50 Via不要打在电阻体,电容(poly)边缘上面.- G3 H/ c) b: R. k) g; m
51 05工艺中resistor层只是做检查用5 S% _0 w3 Y: d0 V5 z- G+ P
52 电阻连线处孔越多,各个VIA孔的电阻是并联关系,孔形成的电阻变小.
9 s( z" b5 \- X, ?1 g/ `53 电阻的dummy是保证处于边缘的电阻与其他电阻蚀刻环境一样.& E5 d# u6 h: S# R" i$ S
54 电容的匹配,值,接线,位置的匹配。
4 O, M( c# e# P- D; X& p55 电阻连接fuse的pad的连线要稍宽,因为通过的电流较大.fuse的容丝用最上层金属.2 q# b; }9 g9 P5 n6 o
% K8 @& @9 K$ O i8 z G
56 关于powermos( R* n! k9 E" V- v% s
① powermos一般接pin,要用足够宽的金属线接,0 W; u7 _% P, K- ^4 X7 m
② 几种缩小面积的画法。/ d+ p$ c# I9 g8 H7 m
③ 栅的间距?无要求。栅的长度不能超过100um
$ \. }! F( ~) q- _ [2 q57 Power mos要考虑瞬时大电流通过的情况,保证电流到达各处的路径的电阻相差不大.(适应所有存在大电流通过的情况).9 u I6 v8 R$ ~$ q8 b, I7 b, s3 [
58 金属层dummy要和金属走向一致,即如果M2横走,M2的dummy也是横走向( z& i0 |. L2 c. M% x
59 低层cell的pin,label等要整齐,and不要删掉以备后用.
, |% C$ c, w* V: w% v60 匹配电路的栅如果横走,之间连接用的金属线会是竖走,用金属一层,和规定的金属走向一致。
' F9 ?9 a* q! \% @* e+ p! x61 不同宽度金属连接的影响?整个layout面积较大时影响可忽略.
}7 ~1 U u! l9 Y, P# O; b) z. a: ]62 输出端节电容要小.多个管子并联,有一端是输出时注意做到这点.
/ y1 [8 X- @' Q+ H% V0 n( v+ a4 d63 做DRACULA检查时,如果先运行drc,drc检查没有完毕时做了lvs检查,那么drc检查的每一步会比lvs检查的每一步快;反之,lvs会比drc快.% a5 t$ d6 Z; v
64 最终DRACULA通过之后在layout图中空隙处加上ptap,先用thin-oxid将空隙处填满,再打上孔,金属宽度不要超过10,即一行最多8个孔(06工艺)
. C9 l1 K; [ D) `% v" j65 为防止信号串扰,在两电路间加上PTAP,此PTAP单独连接VSS PAD.
. r8 g- _% K: J3 X+ k* E4 r* N7 K66 金属上走过的电压很大时,为避免尖角放电,拐角处用斜角,不能走90度度的直角.0 @# V6 O2 X* m" g Z% { U' F8 d
67 如果w=20,可画成两个w=10mos管并联
$ \% |% B. o# u4 |6 E5 V* p68 并联的管子共用端为S端,或D端;串联的管子共用端为s/d端.
2 c4 Z* x. j0 g5 D( A出错检查:
* q8 |/ _5 L9 L8 w% E) A3 O( i$ o69 DEVICE的各端是否都有连线;连线是否正确;* ^* W6 C: S" Q5 _
70 完成布局检查时要查看每个接线的地方是否都有连线,特别注意VSSX,VDDX2 ^9 v" |0 T( I0 w2 v6 U* m- S# W, s
71 查线时用SHOTS将线高亮显示,便于找出可以合并或是缩短距离的金属线。6 |, u h* ^6 n
72 多个电阻(大于两根)打上DUMMY。保证每根电阻在光刻时所处的环境一样,最外面的电阻的NPIM层要超出EPOLY2 0.55 um,即两根电阻间距的一半。" l1 h. S2 ?8 R
73 无关的MOS管的THIN要断开,不要连在一起
5 }- Y9 [9 K1 I6 A. Q4 `74 并联的管子注意漏源合并,不要连错线。一个管子的源端也是另一个管子的源端! [/ T2 w; I0 T3 f1 }6 p: i, S
75 做DRAC检查时最上层的pin的名称用text2标识。Text2的名称要和该pin的名称一样.+ x; a f* M( I0 ~3 e/ g. M. x
76 大CELL不要做DIVA检查,用DRACULE.
2 p( I' x' Z! [3 q77 Text2层要打在最顶层cell里.如果打在pad上,于最顶层调用此PAD,Dracula无法认出此pin.. g/ t# L9 F. Z: U. ~
78 消除电阻dummy的lvs报错,把nimp和RPdummy层移出最边缘的电阻,不要覆盖dummy
# R4 X) `* q1 |! I5 Q1 u79 06工艺中M1最小宽度0.8,如果用0.8的M1拐线,虽然diva的drc不报错,但DRACULE的drc会在拐角处报错.要在拐角处加宽金属线.
1 t( D1 C+ {* ~6 s9 G, K" k80 最后DRACULA的lvs通过,但是drc没有过,每次改正drc错误前可把layout图存成layout1,再改正.以免改错影响lvs不通过,旧版图也被保存下来了.; Y7 P5 L3 Z, c( k" d
81 Cell中间的连线尽量在低层cell中连完,不要放在高层cell中连,特别不要在最高层cell中连,因为最高层cell的布局经常会改动,走线容易因为cell的移动变得混乱.
, s2 s* i& K* K# E82 DRACULA的drc无法检查出pad必须满足pad到与pad无关的物体间距为10这一规则.
1 s' `: l* m9 N4 N/ s7 U5 z83 做DRACULA检查时开两个窗口,一个用于lvs,一个用于drc.可同时进行,节省时间.# H+ X6 [5 Z9 E1 y/ ?) y
容易犯的错误
$ K. M+ o! I& e5 @) Q) c; s84 电阻忘记加dummy
' A- z7 H! u" ~/ Y4 a85 使用NS功能后没有复原(选取AS),之后又进行整图移动操作,结果被NS的元件没有移动,图形被破坏.! E3 B& V. b% r `
86 使用strech功能时错选.每次操作时注意看图左下角提示.
6 O( G4 l" U W+ {: W87 Op电路中输入放大端的管子的衬底不接vddb/vddx.
0 b9 N% Q- g% Y+ n( u" n& q88 是否按下capslock键后没有还原就操作
( r+ `/ A* a! u节省面积的途径! S; |" e& k0 ^1 D1 B
89 电源线下面可以画有器件.节省面积.
3 a0 l: l2 Y8 m- D* T90 电阻上面可以走线,画电阻的区域可以充分利用。
* A' |! ^ E: }4 i8 f. |91 电阻的长度画越长越省面积。1 O: l( o4 \3 G" o' n2 t
92 走线时金属线宽走最小可以节省面积.并不需要走孔的宽度.. _8 ?% N1 `' C- i7 Y
93 做新版本的layout图时,旧图保存,不要改动或删除。减小面积时如果低层CELL的线有与外层CELL相连,可以从更改连线入手,减小走线面积。
% o; p& g6 g$ S94 版图中面积被device,device的间隔和走线空间分割。减小面积一般从走线空间入手,更改FLOORPLAN |
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