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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
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% o& J/ `9 j: L. Q3 ^; |' lJob View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
" N% ^0 ~0 X' ~* l$ N+ i" N1 z. Z# `因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK4 `9 |5 T6 F2 C* R" n1 }* T
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK& N# V# W1 C$ G+ [
我認知的步驟如下:: x5 g, k, I" ] l5 b* g
9 o& h) W6 W; f3 U
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少# c, ~9 Q$ V* i2 A% h- s# V
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.) \. S" n2 |( |+ z% ^$ i$ D
7 g/ N% | H: U0 t: f2 P2 F2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)
: G# g3 g" Y( E 如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch/ M; T* e4 p, P1 }4 s, t
如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量 e- T# T7 b3 X& r3 Y
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
' a! f/ q* Z& ? 在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的7 R$ W: T9 f& j9 @% M% n# V' T! q
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
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3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift6 @5 g7 E, ]* v- z; C, f4 W+ I
把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看
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3 y! }8 O: w$ t z" C8 W4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的; X F. P0 `( U# B; q
2 U! O* J: Q( g% B9 P! Q5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
9 S, |8 O2 f) D% J7 S9 v 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失7 A3 M. w) z; V' W/ }) t9 W* Y
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這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
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