|
這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:: v! I7 g6 z" H4 ?& f1 o. Z
8 ?, h, J4 S+ [7 J2 C i4 B4 T
Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
2 e) t+ ~" }6 V/ T0 r5 B5 o因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK0 c7 C# F9 a( ?5 g
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK' c- T! u- L+ S2 i9 x, m
我認知的步驟如下:: O4 x5 T: a1 I7 [- A2 Y, _- |
4 c4 x1 j$ v+ ], F, T' Y
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少% f% M! L) T% F9 x: K6 ?
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.9 N1 n; h/ A' n
9 Y: F5 ?+ ^( W- ^8 S/ v2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)5 @; R" w6 ] i5 {. t
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
: F, p5 @. q* N2 P0 q 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量9 B. b1 z% ]2 g4 O5 u
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
7 a" \/ Y8 W$ j% Q H8 o( { 在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的, U0 J2 m, b6 ^2 [ e- v9 Q2 P+ t
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
$ I1 h1 g. U: F0 f* B
2 ^8 w5 q4 W- r4 f0 a3 Z& M3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift1 j! m. e. z1 _- K, B
把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看/ O, @5 G: O6 R. a s- u
; v N7 n" r, D% J
4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
* P$ o3 e/ \) C% X9 K# I* i! v9 ]1 K/ p
5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc + r6 o6 q. A: O* ^% m0 p
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失& q4 E" J6 n5 r" `% x: Y
- n& T8 ^5 S7 y. ~% i6 D2 T! t
這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.$ m( @. F& r4 O# q2 Q! b
' n+ U& k% i; B# X' ?
YHCHANG |
|