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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
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Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
) n$ w8 h2 z- F2 h' n+ p1 J% X因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
" r- ?/ i( i6 y0 b0 X0 H- ^6 A所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
# ~0 Z! Z7 f0 Y3 |( B我認知的步驟如下:
) T; l$ R; A# ]4 Q( ?2 v- ]& a! e6 g7 h- Q/ m q. _4 @2 x
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
1 O- N5 s2 X+ |7 ? 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
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1 t: K* U; P6 p5 |2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)
7 {4 U* E D* w 如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch. H7 m& x7 A9 q: @' T1 u# k
如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
& D4 U3 V( F% g! h 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)6 {9 I }8 }0 q6 ?3 G/ k; d# P/ V$ S
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
! r5 @& V2 t& q( L g wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
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/ e% p6 E. S; r9 ?# y# t6 Q9 i3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
1 _' n) @* K; V. N" F. t3 J3 G% W 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看- l+ _% e" R/ C- r! E, I
/ b: y h$ {. a* j4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的, Z) r M" N5 c7 a4 ^" @5 @: L
" R( y8 l8 |. u" m5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
( Z; j; h; C! c+ b- `; G 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失# V2 o3 F' T6 d& |4 n7 i- o
1 X- a" r0 }# |8 n g' p1 L6 N這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.# a4 O% \& [; i q+ ? y
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YHCHANG |
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