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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:% |( z" W4 J% @% o3 o
8 C3 h% f6 O2 |3 |' r' JJob View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的: P7 n @; E( M$ e; Q% k0 R n
因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK! b2 t8 U4 x& J8 L4 _9 ~6 W
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
7 w5 K8 e+ ` A+ k我認知的步驟如下:7 q8 ~- Y- ]; e5 o: [/ x7 V
' g. D9 {. m3 G# @) H1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少% q; Z3 Q5 V7 V+ ?7 |
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
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* L4 ?, V, L6 \" \. {; `2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)
; D( c* U, i( H 如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch0 d2 a/ L! Q( }/ B) c
如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量) `8 a% {8 `1 r4 T4 {
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多) T% r, I$ ^! J' [, r6 j, V0 l
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
1 Q; j& X) w& {" S+ Q$ N wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯! i0 u/ W* ~4 v3 _4 w
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3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
$ B E4 Z6 [: O2 o; @! O 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看
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4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
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5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
3 q. R! R6 _* d, u2 K1 u' s6 k 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
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這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
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YHCHANG |
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