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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
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; S* O$ H" c; l7 Z1 ^, F, L$ b# XJob View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的# r' E2 q4 L3 F, a' m% A/ s
因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
/ p; A N* ]7 h& ], c6 h0 h所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK5 D# C5 k; K# {& c* S2 p
我認知的步驟如下:
5 \0 r% n6 T2 b$ m0 B0 t; C/ c3 @( L9 o2 {* h8 @$ b5 G% V
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
$ ?. b. Z& G3 Q7 e Y/ v 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.8 [/ F0 Q7 a5 M Y/ n& C3 V8 o
) ?2 s' U: Q" o2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)
& I- k3 `. y8 L) ^ 如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
8 K# U" i4 H; `. E- B) W 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
4 q2 ?9 u7 w2 ~ A* u6 `2 O3 i5 _% @ 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
1 f" ?6 r- ?! b 在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
$ C b4 o2 z4 _ wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
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b& m% w, A' j3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift9 b; I# G8 p5 ]+ V
把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看
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9 n& e$ R# m U. n4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
2 U0 ~$ L9 e8 e1 X% H
4 ~" g* ?, W6 k0 f5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc " ^3 }2 u M: K+ L7 @% X( n
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失 Y' v- ^% d0 m: ]/ ?$ v
1 O0 u, s$ ?+ w; k5 h這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
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