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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
# Q1 W6 U5 P$ G- f4 ?1 d4 _ e' |, G/ y* K2 F
Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的2 X3 I1 f) k. L, c
因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK' B7 g, g- u8 V5 ^# E. G
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
8 Q9 Q, D$ a) ^, W! B3 j我認知的步驟如下:1 ^9 O0 R4 Q) m2 n7 j
7 O- k/ ]* g2 @& v0 p" S1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
* m- r( Y" O% R0 {8 T 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.7 o$ r9 E" Y( u* \+ T. c4 i2 `
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2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)
! t# Z+ q* u& ]8 M8 [5 E# d- w# L 如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
& d+ J" r7 @' x 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量* O- u2 J% n- C$ U
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)& x- j2 h6 c' u4 Q4 ^
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的6 k( X" O% e* r1 \3 l% r5 T
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯' K# }6 y R0 {
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3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift" w( t, e# H& d4 @0 h- W# |
把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看4 d& ~2 Z# K2 Q6 ^6 c% X
9 k: _6 p; i: H; g, e$ ?4 H4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的8 P" b0 {2 [' f5 h& E! G
* k$ J# ? Z$ c5 R5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc 7 @$ B* c. J5 a/ h! c* w. V9 y
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
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; [0 p: x9 h8 H3 i/ c7 ~這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
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YHCHANG |
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