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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:. @& J4 _" u0 k* D
" D5 n; P9 Q1 l. w; f8 `! j8 HJob View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的( s+ Y% v( c2 s; X2 L l; E: E
因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
- Z* C9 H E- m( x* o+ A所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
# ]% p9 [" s. d; X+ G我認知的步驟如下:
4 d; u3 f. b: A! Z1 M; x
( [8 v" \/ s7 w# q& I1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少) C8 e, @9 U: R# g
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.' x5 f) d3 N7 `! p8 }
1 G3 G P5 H- r% N
2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)' h1 C, X- k7 H% D
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch3 l2 F Y C# ]9 Q0 b2 J
如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量+ e3 L" {9 X. A7 b6 n% n X
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)' i6 M7 I' E6 {: N3 t0 d4 n
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的- W, t/ B& _+ J7 Z; X4 U
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯# U( _8 S1 z* l2 W8 e
, R, Y! o' |2 D1 J5 r- A
3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
O: Y) p, H0 u 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看1 o( d5 h8 g0 ]
2 D7 y) p0 q# ^! |0 @9 K4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
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! M1 O) E; U$ a5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc # y f9 \' E% G; y% m
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失. ^/ Z1 X8 N4 D6 t) \% r) _
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這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.4 ? Q, y, ]6 [/ i* w. g+ u
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