|
這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
/ S" r& n( l P/ I1 Y+ c" \
( C/ C; f$ B1 m$ M% R& kJob View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
; N6 W' l& o: l6 k& Q% F- e+ W2 M因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK+ G5 u3 Y3 D2 F6 J
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK8 T% M; t3 ^! D2 P I0 L3 T2 g
我認知的步驟如下:# _( e) w1 g/ ]. w' K9 y
' g; T& F( T! S& V1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少, z2 y. a8 \0 z- A) Q/ u7 R1 {
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.6 @& ?, R. H2 ?" g, Y$ u4 P7 W
' v( _1 V, C: s2 ~1 T/ S% w. U. \( g2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性) c* h @, R! c9 I# `9 F8 ]
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch4 M+ A# i% c! c$ m! h+ u- T
如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量/ y/ I5 ~9 u! {' Y; e
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)) ~9 w( `5 K9 O! k/ T& D/ P
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的0 b n1 l+ `8 m# c
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
& \( [3 s0 u, C$ P/ K+ ]3 m, V' T9 F- q. I. `1 F2 ~" H+ b, [8 V
3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
! m' S/ `! d, j2 c3 |' F8 k3 \ 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看6 ~" u: Y4 M4 J: c" s7 D/ Y: R C4 b
/ D+ J& Z% O+ W, v* J& V2 q8 |4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
" c( H9 Z7 V, a/ p& j2 K4 `5 Z! ^- o n! o4 u' B- R I5 L) l4 ?$ S+ ]
5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc $ I2 P; X" b2 X6 R; X2 u5 G
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失 Q# o( B7 ~3 P* F5 d
9 F7 F6 C. t" [( ?這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.( M' @7 c3 u! s* z5 B4 M: g, ^6 q
6 B5 ?7 Z& G4 ]2 B* f2 e
YHCHANG |
|