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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:% ]* u% K$ g/ v7 X# A$ ?
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Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的& T! g0 Z: N" m( n% t( K7 ~
因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
/ Z* P3 O, U/ G所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK) `+ g; r% ?1 d
我認知的步驟如下:
5 Q* ~# Z2 }. i, k3 G3 p/ |
" g! C+ @' D. I( B: z1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少% a& q: j4 P# A" I3 r
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.# k* c9 x% \8 X. h3 s4 [4 y
# ?- l. G: R7 Q: t( T% H2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)$ {3 k1 c. j1 {& O9 B
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
4 W- Y7 Y$ F& e& v7 R7 y5 K, a# J; ` 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
6 t- s9 V% R6 \: j2 k; }2 B 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
2 E, w& h, h- e4 s 在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的2 D" E: Y& C/ ~$ h1 p7 ?
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯6 ]6 K2 z, Y" Z
' U' i) H$ \/ j0 X* N$ K3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
1 d+ |5 I, E, i7 e9 Z7 U 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看) P3 J3 a( I. M
+ v, M8 ^" U+ [5 I% K* a! q* s4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
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/ Z, w9 J6 F) X/ j' H \' s# u4 x5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc 9 I$ e1 k; w( \. v4 I$ k
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
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1 G7 ^: {3 R5 d2 d" |' ]2 I這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.- p' @0 ^* `9 A
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