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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:8 U9 q D( {% ?! V- `
; A; X/ E) e, K* TJob View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
5 g# |& h) n* K因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK0 ]9 U Q7 q) J. p6 K3 H1 W
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK7 W' U0 Z. a2 [- q
我認知的步驟如下:
* p* e& F' a3 O/ K4 j2 t4 E1 X# b" n2 z5 w Q# F. \, l. R
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
2 W0 Y% d1 { P: T- ~ 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.- k% p: y% i2 o2 b
1 o6 P4 ?, p H; N2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)- c# b9 f0 e3 W8 M
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
) T. b9 |) ?( ?9 Y 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量* j' v! i n- `9 ^9 b7 B# g- S$ Y
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
7 T2 Y; M( ]" E4 e: \, o# J 在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的4 k4 N3 {& G* k) i5 U6 S$ q' _
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
1 J( s, G3 j/ B( p" P: d& M+ l
: o# S- k( [) l3 K3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift7 F( Q. C7 w+ n4 z3 \& ^* `% ]
把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看' t% H. t5 B% y( r
8 E0 ^* s! L! c# ]4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的 k, e3 _9 ]/ o( ]1 \1 S
( b1 t! o' {8 I- x" d
5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc 0 B& b2 Y7 |5 _: _; O
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失& ~' x5 P, Y: d3 B7 o5 F
- w# ^, R" M" ]* v" {4 ~
這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.' N$ \" p+ v2 d Q" N& G! n0 I2 ~
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YHCHANG |
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