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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:/ ^! }, I5 H7 v( s! [
. m& J4 p ]; C2 r; l
Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的! `. |8 U7 Z8 \
因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
0 a6 P; m" Z: u! F: f& z所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
/ F+ i7 N2 p1 b# Y& R1 M我認知的步驟如下:
- Q+ ?) W$ @5 k% e& h) w4 Y4 i
! Z2 A# N7 b$ A' Y1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少" n" G2 b7 m1 v& Y3 ]4 _
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.2 [* m6 c' L) s( O3 P+ }
5 Q% [8 t8 T1 t E! ]
2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)$ x+ k) H6 r& r
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
- A* b, t% i) X* c# _ 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量1 a7 W& n! M4 c, Y1 E Y2 f
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多), D3 Z1 v. C. J# u3 N
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的. y( q3 D4 \' b2 P, h) r' r+ e
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
$ t5 o. [' B7 q( }; D/ {9 o
8 T* W9 I( `" M4 i3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift$ n/ Y+ E7 V2 X3 Z' B" Q/ F& e
把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看% i" U+ k7 Y2 l5 M" |5 E8 y; Y
/ s7 [6 M3 C. S) D4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的" _/ A7 C2 }5 x
+ K' U* B9 O0 N) X9 x5 D1 H5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
2 m o9 P: C' c" I& P 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
* D9 m& p O5 g- ^& \, O3 n* I* g+ E) }7 W( i. o, P% \
這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
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+ N! V& B1 \) z$ f- s6 R5 @ YHCHANG |
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