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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
- Q0 O; K; q' B- {
0 B* H5 Q. u# Q9 p4 U$ M8 ?( oJob View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
( v) Z; ]6 @ r( j因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK; |# ~- {( O$ T6 S* ~3 X
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
4 o" C* F5 B! f我認知的步驟如下:
# r% d8 J, b2 s; o
/ ]1 T7 p4 E: B( S- g) J c6 ?$ j1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少5 Y% J7 l4 }+ x& i- x) U1 I
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放." P m6 A: D$ \: r6 n
' Z( ~+ w. M5 B2 {/ _7 C2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)
" o) @$ D8 l/ L. l' j 如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch7 d% w5 n2 n' S9 U1 F( Z
如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量6 Y, @8 ~' ^2 d5 s
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
+ a" T2 n2 q7 C7 P/ W 在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
& w2 R$ N. N, [2 ~4 }$ B4 `, e wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
2 A a2 [6 Z' \0 {( X; I- ]) H' c1 c2 |* C4 z% R
3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift! O3 V. U- R( m5 k
把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看" [) N9 z4 x9 `9 V$ s# V8 `) a
9 E7 I$ ~8 v# n' P# e4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的* ~) J B! s8 M. k
3 f; F* G) p+ A: p6 v5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc + | ?1 s; T2 d6 C- v# @9 Y9 F
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失' y7 i9 J: i3 S. O( u# n% ^& H
6 R, c, `' Z. }% e9 ^% h3 ~這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
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