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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考: J0 W, D4 [5 |1 X$ o' w
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Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
6 [. P5 c( B6 @8 j' h& J3 p因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
O& `# q/ @( ^" Z- F7 D0 w: ~所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK- v4 w N2 ?7 @
我認知的步驟如下:: r# l- d8 a! L5 D1 t8 j4 `
6 z3 e1 T2 z7 p0 D5 V+ `1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少6 n5 H% e: M$ M! @1 ^
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
* ?# e9 @9 a- d8 J
! D: H5 {+ T0 ~2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)0 K$ A' x1 q3 \- _8 ]7 c
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
4 H4 F* s* }, P9 F' C 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
8 W Z8 ` \ I 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)/ I: D5 `& Z( u6 m
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
/ ^6 F) o0 A+ f v; Z! c( g wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯% q* b* Y' M7 k- k& a2 x
1 y# D5 I& F+ v5 U- I+ N9 M% b3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
+ g) U% R5 s- ^( R 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看9 V( c/ R" n* C# m! E9 }2 F0 @
/ }) ]; T' @9 m
4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
. a/ x$ ]& `# i: {/ `% k
/ _/ I X9 ]3 E5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
% M ]7 e0 T5 L8 q. K& i, X4 [ 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
( l+ k( {" L* l8 [; {$ M1 ^ J* d( k* `5 L( Y( u
這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
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YHCHANG |
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