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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
+ ~ V* I! J1 @% n8 y6 B' M" o+ {; Q' G8 [3 W! }5 j3 t
Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
. f' }$ g9 W. r6 ~! S, n3 F; x因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
5 e( C+ W9 G- o所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
0 Y1 w9 Z- o8 X我認知的步驟如下:, {7 f7 g" {4 \( `. M
" I+ ^: o% _( l. c
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少8 {5 [& K/ D- Y
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.( ]& P& _5 A4 u9 o
2 A/ l1 z' v6 f2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)- V3 ?2 y R* |2 b6 I9 f+ e" w
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch- o B- a# V9 J+ y1 o# }* z6 g
如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
. M3 L* R: r$ A! H' B9 O8 D5 C ` 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)# w n7 g+ ~ V4 a
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的- e0 @2 @) R7 y/ E/ y
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯# v' x; T( t) p# c; k
5 O3 t2 ], |6 k5 z# X" W% s' p
3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift4 N) P+ p- ~( C+ F. W. p4 @
把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看* A# X! p2 v6 c5 u1 U! ^! j, M
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4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的# M/ K) V6 j8 l4 i8 R |
" U1 z& _5 U5 ], U3 s& t
5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
) s l. l1 @) [4 |3 Y 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
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. t7 M0 G' h# e5 S& M3 q這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
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