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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:# _6 |- e) Q$ Y7 J: ]0 T/ n
3 [( q* a/ e7 T' ~
Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的3 p, c0 U% k$ Q! z
因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
# E$ L. q) D# t4 E: s* ~所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK4 p" [7 n+ P. P
我認知的步驟如下:: S4 K( w; a( z0 g' M" |
: s' P8 h+ K1 z5 J# C8 r; y1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少! u% k% J2 J% `9 p
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
, v* |2 }. h# V6 m% P, y
$ J7 b: t. P: S* D- b% Y5 Q2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)) a# A2 h9 N& H f. V+ M
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch3 x& v+ L: x G
如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量& |7 F) b/ e) E
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)6 \$ }8 {5 `8 a
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的# @1 \( A- }+ X% P+ e4 s1 E
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯1 x$ B, p/ [5 q9 T
, y2 c$ B [% _0 L" F% T' n3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
0 N# ^7 R5 u" n- E1 J' P" o 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看8 K2 `& m( h6 v
0 Y+ B: L* G! g5 E9 e
4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
% M7 u0 H: \! C+ R& A: P
0 N+ H% c( m; U/ c% o# C/ p2 ]5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc # O a% i) a. V1 l" _# X: G. b
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失! E0 C) I7 C/ m' z5 |( f- ~2 ^: n
" i2 P* u* n+ @) \% {( l這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
: W6 Z/ p: t' d9 i' ]8 H% z9 b/ i8 Z) \) y9 A% Y+ C6 x$ c
YHCHANG |
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