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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
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Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的7 Q7 p6 o0 ]( y# k6 ]1 ?
因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK1 {. b6 C, M1 _4 T
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK- _( e5 z8 v' ^: N! [5 n; s
我認知的步驟如下:
2 ~1 f- j1 k+ W# Y, c/ T; \
" C. ?0 Y# D+ i' Q# u% W9 Z9 x/ Y1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
# `8 g3 n, \. W 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
) Q, s! A+ F- T( s6 M. U" ?
* r0 X& b8 x* O; j- z* U. H) N2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)
) ?7 p0 T0 @; |* W' c 如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
2 A( I3 }. }: V) R; p* l* l- a 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量) L, y+ M! d! k5 i; G% W
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
3 K+ u2 r E% a8 n# w0 q* l 在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的% f# O7 o% e4 k3 \ P7 z/ I, @
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
" h+ u+ a( b* C) {( X! x5 {- [3 r4 N1 `0 ?* y: x
3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift2 m% g; J' P' N( m
把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看1 C7 D" [% K' _5 {$ M
3 }1 e) l& y8 m4 S4 H$ _9 ?4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的, C4 }8 n; J8 G, z
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5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
, u" i) ^+ ]7 j4 W: ` 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失- i4 u9 d: ~- X5 ]5 z8 G
+ R+ l: W' D* w
這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
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