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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:0 N* u& o- _1 a9 |4 s
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Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
$ P5 R% w% r3 @9 U9 N因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK$ r- g" [* N1 h2 n: m
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
. q( \% a$ R7 `! I k& m* c# H, |8 y* w我認知的步驟如下:
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+ U# q( k" N" G1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少% f- y/ L6 B1 D0 o9 e6 L* V
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
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) u$ O! q, R1 G1 j4 z& }2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)9 @4 j9 @9 H& @ v; s- n& u# [# h
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
( w g7 C/ G; ^) A4 ?) a. @" n 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
% f3 k! [0 [" I. P 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
$ Y# ] q$ T% T' _. ]' b4 \ 在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的) C/ v4 }9 H8 Q, r' ~" s
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯7 o8 g# d6 D2 @& G# j" l
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3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift- r I/ _. P, S1 Z/ O5 }6 o8 A
把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看1 a# L' b4 N; J7 i* f! n0 z
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4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
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5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
3 U. c1 ^6 V8 r& F 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失7 v6 ?# i/ k; f* q( V; ^
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這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
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