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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
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+ o+ H' S. c- F" a, G( @. X3 PJob View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的6 U9 t, j6 s7 p5 M9 [, ^9 h- |$ X
因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK! N: H1 K; A* v. }- q" ~% u
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
# V1 n& }: L& R我認知的步驟如下:
( D2 a5 Q! m- q4 L) [
7 t- O; }. N* g" ]- q1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
: w* v t, J$ m1 `8 v1 L/ Q& g 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.4 M0 D7 A! F. v
: h9 d6 g0 v, _* W1 u) Q: Z2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)
( Y9 m8 E- W7 S 如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch1 U3 D P" [0 D y9 R( T) J! k
如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
$ s5 Z. n. \: v. w0 ` 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
% I7 f, P2 _, R+ i `3 A, g 在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的( R4 U$ Z8 i; d- E+ U7 G- y8 e
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
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4 c9 U" C. z2 [4 G, `3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
+ v! E) {* K# B 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看8 c9 O- c& H; `8 N, g9 B/ X
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4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的. _" B H6 u4 m1 e
' j$ q) n0 E0 b6 T/ y8 `. v
5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
4 R5 V7 }' x8 x& M% I/ V 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
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" e* i' [/ v" V) m: ~9 L+ _7 `這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
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YHCHANG |
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