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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:) Z% z: p1 O% Y8 H6 I4 d9 H
, P; j# [8 ?6 z' r& ~( u$ OJob View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的( J7 B: q( G* v7 v* \7 t5 r
因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK' a. d# _6 o$ N
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
$ h9 J! B1 V( m5 X我認知的步驟如下:0 I3 t+ O/ M) c. L
/ ]# J$ W! W4 ~' l- g" i8 {1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少# I$ H7 F j& s1 U$ j9 C8 J" l+ c! @
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
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2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)# O* p/ n3 ]' z8 u( n* d
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
3 K+ j9 X' d. g& ] j6 ] 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量" T6 Q; n6 C4 Y( @! T M9 h7 ?
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
/ E* Z/ t0 N7 ?8 S( m# P3 y 在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
& j& P1 U/ k/ L2 T) D7 K1 g! ^1 J wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯+ f( F- j4 b, W- V8 {( R
& S8 i& l' ^. B/ _7 v5 {4 {/ v3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift; I Y8 B5 r, g" e
把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看
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4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
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5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc 7 @, U6 E( H" U$ B
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
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# c+ G. i$ p- D5 a5 y這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
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YHCHANG |
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