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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
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/ s/ c0 @9 v5 Q' ~" }* MJob View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的& e2 A7 L3 R8 R D2 L! y# f. k
因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK v" q9 p( U7 Q v- t, h
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK% P; O" i4 n( a8 I
我認知的步驟如下:) g! e `2 ?8 I& `9 o7 S
5 l: x# i0 }2 x
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
: ]' c4 G8 L0 f8 j+ p; f 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.) }9 @: f( {7 e+ o6 h
0 |+ @# J I0 y: X0 `1 e* s2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)
6 Z% v( S0 C* r X/ o" {$ Z 如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch$ D% K0 W; [0 I, Y. U* y; z. Y
如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量6 S0 U: k. k4 s3 O
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)! I j) ^! o4 M- E5 C
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的8 Y2 D. [/ O9 S
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯* K. r3 [; _, c* p
' m5 c- |+ S" V" Z- ]
3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
+ e6 m/ m* t0 y& W 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看
+ m M8 [. J3 z2 U/ m2 ^" R: i- g6 `# w2 t4 E$ L1 T: G
4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的( o8 b5 |. a" T; v/ k( }2 e8 ?% f
8 X* T2 ^; _: C5 K, M+ t+ C9 A
5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc 5 V* a8 S. ]) |' L4 j
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
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2 H7 h: t) y) Q. F G6 b: |這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.$ J7 X) S, l$ i7 {% F0 l8 z3 }8 B6 k
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YHCHANG |
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