|
這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:: F' h1 N$ [2 J# S8 L3 d
. W/ M5 A: j/ x1 X. `7 HJob View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
2 [% c! h" U0 M5 ^5 B因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
1 A. _" S/ u8 G% r7 c1 C1 y所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
' k8 y) w8 C& [3 X我認知的步驟如下:/ K2 S* h: j) T$ L& b
- N3 B5 L6 [) H1 `' r1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
5 Y1 P/ ^( K: w 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.8 Q, U! Z: |2 B ^, g$ V
& c/ f- [2 }/ q4 w/ J2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性): U( ~8 u, Y& Y7 S; g, o+ \
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch& V( c( N4 `% g
如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量) }/ a# H% J) C4 X6 Q) ]
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
7 [, n6 j2 @/ `, N0 u( s 在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
! o8 p. C8 d P" {( b! z: U wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
a2 N F8 [6 G
3 J7 {$ D, }" m- Y* H! Z' Z3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
# H8 g% {$ E d" C2 ]/ u# s l0 p 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看
1 X6 D) t8 C& _' v& r
- z. z9 |$ ~1 J m- q( m4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
% b2 J/ |! ?1 Q' U3 Y* O+ @* l' K3 U% W
5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
7 l) r S S; f: `. d/ Z 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失1 m' u5 w! H* e* ?: f/ d
$ d; @6 K! }9 Z+ o' N
這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
# o% }$ p5 ?0 A; Q4 T9 @! z
* G8 p' a2 y1 h8 J$ [0 z- j YHCHANG |
|