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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
, V! L& x6 f4 M0 l1 L X
2 ?6 X: `- H) C; g" cJob View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的, N8 p+ M+ b' t7 V6 L% a6 ^' p
因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK4 G4 T+ y4 u) n1 y
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK3 H7 d/ x/ Z ]# ~, G& K: x0 ~
我認知的步驟如下:
3 ?! b+ u/ Y6 B- E! F
; n7 [. N" ~3 D3 q, m: _1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
% a$ Y0 C1 V5 G1 u 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
; A: N& }* ?- o/ V
4 [% V( Y6 A; K2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)
7 G2 C7 F; C; \ T 如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
/ x5 e( _" _* W 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
) F; |: G; B) w {7 W* W 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
$ _; E- {& t [+ P) \ 在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
+ V- N* k7 j# k. x& B wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯& `# {; c% k8 r2 W, ^1 d( O
" f" b0 {0 G( W8 l, u' o
3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift4 C* U Y: C) z1 K. T+ w
把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看- H+ c- q' o* ~! h* y8 I
$ A/ ^5 x+ o$ b c4 r
4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
8 }2 y# U# h+ N5 a5 |$ ?/ [/ M( ]! d) J! y+ B- |
5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
4 Q' y, Y5 `5 ]2 b4 \ ` 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
$ F0 ? m! y3 X9 V8 r" ^' g: D9 D+ x% N8 N! Z
這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
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