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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:) R' i- M/ n" R! L
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Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的* u% B0 Z6 V+ k( _* t( [& V% t
因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
4 \, E/ Q* U. b8 y% L, ^ J2 v所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
! R* n7 ~8 n1 U1 p' m6 w! d" P- {我認知的步驟如下:
7 P g" V+ T" I6 F! y2 p; y7 E9 U7 }" `
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少, e; T6 ]! p* N1 N/ k7 b
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
( E, u6 Y; D3 v2 }. z* A* I1 T% W4 l, `! y3 F4 T4 ?9 v- r
2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)- I+ d) j2 G# O
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
2 c! q& g P4 x- e2 t0 J/ d 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量7 @- Y ?* ]- ]$ c
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)6 _) {) z$ @" o+ l; r5 ]2 v
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
2 f0 j" W3 f2 |+ W) @ wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
Q. U6 k H! P e# f. `, Q7 h" M, R7 X2 _4 U
3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
+ k5 L9 B3 k( t+ Y/ l" n& I 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看3 |3 H/ J; R5 Q0 ~- E
+ ?' S1 e3 {5 f/ O- n8 V
4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的9 i$ x0 r& T, g: U, y
3 ?& i( j9 }' C9 e5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc 4 r: I7 W! e: o
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失- W6 k1 v, I w5 Z! X3 a- E+ r$ y6 k
9 y$ p* H/ O1 m' ^* _這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
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