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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
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! G7 ~+ s1 w9 ?" Z/ S3 O, Y: F5 }Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的7 ?6 t$ f( r+ g/ W) c: \1 \
因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK8 f8 I; E0 s2 K u
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK8 N) \9 r3 a% a/ I$ o; D
我認知的步驟如下:, ^7 s1 q# E* }, o) c( Z
9 _, \; m) d6 B' K1 }! H- M6 {
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少& U. R: }9 U- ^" R8 f! d/ z. w! N
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
$ ~, W% D5 Z! x% S0 D& u
8 o& R% q! T: Z2 h1 n' a2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)6 w% _/ I, _ h; p
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch- \, [ j# Z. X- ]- t
如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量$ M9 P) z- k3 `" Y
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
' }- R* n, Z* v5 I M2 g 在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
- S* t6 F5 D8 K wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯$ M8 s/ u2 _3 T
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3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
3 W+ w$ N; E' b" j6 ?% f5 l 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看
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1 L# z7 a1 M# Y L0 f% { s( a5 k5 x4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的$ j# R6 [1 Z+ |$ D5 o
* z$ c: j2 x# b5 ]5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
- ~+ v% Z& [/ ?9 t 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
4 h3 g( F: s! a6 g: }6 I. p% n- c
4 P+ W# c+ a1 l, Z9 m這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.4 s* C% j; w5 j1 [" m
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