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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
9 m: N& B/ Y" P0 f/ a& p! E8 m# Q' z
Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的6 U+ |; w- Z( x
因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
3 L3 U, K( o; U( k4 K# ?% {所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
+ x* D$ G. p0 K$ e- p我認知的步驟如下:
% J j% s, Z: Y
: U- F9 O3 }1 L2 C l9 G% F1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
: `+ B2 r8 E% N4 s" D; j1 G 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.( Q; X% V; y. E% v- {6 B' |) ?: C
8 I$ X5 a0 I2 c' t" T9 v
2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)( c: T6 H6 b- S5 G7 p
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
3 P" E( y9 y" ^$ O7 } 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
& u- T2 o& [+ a 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)1 @4 g% i4 o! h Q
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的4 h/ i8 J" w" _+ N$ s% t) E
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯. }2 u, O$ Y- [6 v
5 |; e. l9 A+ O$ s$ c1 w2 j- A3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift- T8 k" v5 b) B+ a5 D
把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看
- ]& q( H8 b" f, h, N# r
, b& ~9 S9 ?7 G9 m3 a! G4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
2 m n" S" M( o2 b2 B) w& S* n+ Y F8 ?1 L" V
5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc " K9 z1 F. o4 H
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失1 b% p4 d! C) H
) A. b+ |. g/ ]- U% f" S0 I/ A. O2 y6 B這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.9 }. D7 @2 o% W! v& ?5 n
9 f# u; B+ [+ r ^, n B
YHCHANG |
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