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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
0 w. ?1 u. Q' B: K) G/ S3 n; P. g, K
. q) M8 @1 w( o& Z9 z; o$ cJob View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
$ |2 I7 E; L: [因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
! R+ F1 f6 }- d: |; _( `所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
8 F# V& t& T7 k3 @! I我認知的步驟如下:( d0 E7 ~: j/ f4 c' f
4 C$ e; O4 C$ a5 g1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少+ V) T+ N; Y: ]# y" K
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.+ |2 H2 s( u3 o: W
% D' L) U3 ?6 o7 j
2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)6 P `5 E( ~. E' i) ^ k
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
+ J7 K! Y: m/ [% r5 p3 k 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
* l h. C7 h* p 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
" |1 [9 p S' {+ Y& R. A0 s+ q 在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的2 }4 z* E9 V; u' {# L5 w
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
+ A5 q; u4 X4 a5 q; q; I+ {7 b, B* F! O* a* ?( ~! J
3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
7 A4 Z7 q/ n8 Q- N 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看
- Q0 t4 T5 q/ w: d; j' F% a
7 ^9 j8 E& d2 I" I* J" v4 j, G; A& P4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的" U$ v5 k& b5 n4 `
/ ~# X6 `0 |, D I4 T$ e$ e. v* X5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc 7 M* g6 ?6 C0 w. ~# A, r3 R* }0 y
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
: ?! D+ X- I0 ]$ O( I1 h' p# _5 n2 H- l
6 i/ K( X) Z( b3 Q( M: t. Q這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充." W B' \$ W( m# F
, F1 h( B' C: l3 z. w YHCHANG |
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IP卡
狗仔卡
發表於 2008-4-3 09:14:53
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發表於 2008-4-3 11:38:15
不過可能是公司制度跟自我要求吧....: G, \1 {9 C4 {% S5 T- T
' f) N4 B" l. u1 h; P