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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:' K# N5 C! u) z+ x' z3 l
, n N8 N: ~& u: P( yJob View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
7 m& y$ v9 D- B" \因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK0 ?. ]% N$ g0 ^1 g. J9 O7 ^) m
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK! _5 N# I) m9 _: u7 E
我認知的步驟如下:5 o) j) M( A/ Q# |- n' ]
8 C" e9 `7 B* K! Y1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少. R1 P p" i- m6 \# _/ E" ?
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
- d; m6 C) _+ T: q
" ]9 l" @3 s( b$ _) P2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)4 d4 R3 _9 E& K
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch; i, M! e" P3 e# Q# N
如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量% N) G' k4 n% z+ T4 b- X5 i5 a
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
4 s. B+ [1 N$ a7 H: _3 Y+ E 在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的+ O; s- w+ W2 W% x- n
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯4 M* _; e/ r: Z0 M0 \9 B" p1 y
, D, R* c% [: X" T+ l4 R# n3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
$ ~3 U+ [, {. f 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看4 t) N; Z! N9 a
! r! L. S7 l- e% a; w* J+ \
4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
* C2 [+ s/ O. J6 O' m* j& |1 q$ t5 I; v
5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc 3 T) i/ \# N/ r5 O2 W' {3 C, p. y4 e e) X
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
: Q$ v& e; v" r# e
' D2 H/ e, ]7 L這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
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YHCHANG |
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