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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
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3 K1 M3 O; Q) Q2 IJob View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的; _1 T/ i }2 P1 S$ B
因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK! x! v& b7 E0 ~9 o: G- o. ^8 J
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
: }; s& {) C" ?1 q我認知的步驟如下:
L9 o; P2 Z# N, W9 U# ^" l* v2 w7 D. a" r i
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少6 `# w+ F% L' B8 C
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.0 p" ?0 i8 t |1 d
- x, f) }: l; Z
2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)
0 I A6 h* B7 ]' P! f" u' z5 u3 l 如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch& `" q- p1 _9 E3 U6 Q
如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
/ o0 H8 h* r; w/ @( ? 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
! W$ _/ T, |, k. L$ d 在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的4 ` B: T1 l$ T7 K$ R. E- d
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯0 ?6 v2 j/ k* s2 y+ l1 g0 j& L$ o
" w6 ^+ K0 p- l! I3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
7 D/ c" q1 G/ O( y: z3 X# Y9 ?0 | 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看. q( o1 K/ t/ b, n" T
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4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的. W9 K. F0 q9 b0 F6 P3 v
+ q w* b' C' x3 I5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc $ b. S% S" l4 J }2 w
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失2 a/ F# @+ n/ O1 t
2 x J: l$ I& n5 k& i; D7 C& P
這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
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, Y+ H& ?* ^1 b4 @ S! R( r YHCHANG |
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