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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
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Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的9 P6 z2 b w/ c) h) w& Y7 X. v
因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
7 L( Z! v* ]# @( }$ B1 ]# x, M所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK# ]% b: F, @5 T" N5 n
我認知的步驟如下:8 v' t3 T7 l5 |2 M# K
4 o$ @: V& h, I8 ]* `; r1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
7 o! F! e7 \0 E! B1 I+ t" y 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
8 n0 Z! t5 S; G6 k/ `; Q+ |4 H
. v0 B9 Z6 K {2 ^( D2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性): p g- L* K/ Y+ q# K+ a
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
/ G g" O/ K; i; I 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
- W( [' D/ G% ?7 v( x5 o6 c 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)4 _8 j. W* E! Y1 Q( h {
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
; J3 p! E' V2 {" | wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯7 L& C' O5 k5 M; `
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3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
& e/ Q4 y$ X# u! t! a 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看- B4 Q3 z. K/ F k( N& I; O
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4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的! W" P/ h \5 O, `* e5 m
. f; H8 z% y! i4 p5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
o: @2 @" n4 D+ ~3 h 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
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7 a \% n& P3 M5 v9 V這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.& C3 s3 U* n/ Y [% {+ A. `- I, K2 e
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