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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
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( a5 z* K/ ~$ t' Q+ G {7 I+ PJob View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的/ U" |" X& `5 {) p" F6 d3 ~
因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
1 Y: w6 P" z, R* |* U所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
' z1 v/ [7 q+ s; q% |; _我認知的步驟如下:- s _0 P7 V- ?$ U* ^+ ]
1 h3 C; B0 V% ^) I& ~" R' e# S
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少5 A! c7 x! J( \, o7 |: c3 G
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.# T1 Z7 M6 t! t5 e. l
/ X& `, ^9 L+ ?5 r5 G( g# s2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)
4 Z! q& E+ Y4 j7 @$ V/ d, P l 如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
: N; i0 ?( M& h9 H1 U+ C0 ?8 y 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
; O! O, l) N) R1 O3 L; B( S+ U 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)" ^1 s% y! e% h8 V
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
. G5 t% W k# Z wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
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3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
; r+ f7 Z) M/ Y7 s 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看+ F/ f/ |8 E* q) @4 q* F
[7 e6 k' @. u3 |0 ?) y! K. P4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
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4 v# x1 v# p, z' E8 h; V5 [/ J5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
7 K, u8 C4 ?! T- p/ Y* @% W' E 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
( B* x _1 d) u) p
9 Q; ]( l9 G& M" r% \這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充./ o1 ]* P/ a: l& d" c& W$ X
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