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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
7 }0 [; Y, p( N, g; U1 _; @/ _
, B# f: ]" w" Q wJob View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的2 p% s7 }" \" a. A, |
因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
' x4 n( H4 ?& N# O7 ?4 A; G2 ~$ v所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK/ c( J* M" q) V) {+ v
我認知的步驟如下:
f N* G5 O6 S( F" B) C! h3 T/ v' F1 P# N# r; D8 T; [# I6 M/ l @
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少* g h' N! q: d1 \/ k4 y0 N3 O
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.- _; q* D$ H0 a, F( b+ S4 H
" P8 p! i9 P3 m; K# n1 W* t
2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)
8 q& m0 z5 \4 [0 \! _ 如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
5 E, m+ r9 K0 l E 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
1 ?! u' t2 s9 F% i, M/ Q* ~ d 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
# r7 k" h4 L9 |, M 在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的& I, Z( \! v1 p$ T
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
c' I: S! h& ?7 f0 ^1 ~
s0 i, |. }- D: t% c, G3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift" |- r2 x5 F/ j
把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看$ C4 M0 V' o5 q4 @
3 m4 E8 M3 s* V6 l! g7 K4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
3 |( E" a- q8 a) f
p+ L+ g }( |; F, x5 M5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
/ [7 f' x& O% R' O 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
6 N; F: C2 b$ R5 W
8 f$ d$ s! [3 N, F. Q這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.3 @7 W; B; ~4 R+ t" \$ \
+ v3 p9 z2 v P) o4 y+ X- ]* ^ YHCHANG |
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