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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:. t" O2 U" G* N1 R
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Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
, E+ c: Z' h. v3 {2 J; c因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
% D* W8 g% b5 O- f所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
0 `7 ]- L2 J+ t. B我認知的步驟如下:
* `7 }5 D; \$ ^; y3 U0 J
: B" \% h" z1 c6 f" x, u1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
N( C' Q6 P/ L9 D 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
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! L# d7 S8 {0 ^& b# r2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)! T0 \ P0 g3 ]
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
" M* \0 L* S m/ R( h 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
8 v5 [& t) W3 t" {+ B 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
/ W; R2 I1 G" z/ F- d 在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
" H7 }5 p3 M4 m2 B wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯: U7 f# }! h4 c/ J. X
- `( Y; p* i* S- |% M/ h& A4 @3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
) k9 j7 N* f* l$ f- N7 a 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看$ k8 i6 O U( h! p0 ^2 J6 Z; O
4 @; J0 F/ r6 k7 M; K# A" f4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的+ t% n* z( W' _3 F$ l
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5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc % U! A. A; }8 X- y2 i
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
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) }+ e& E/ P9 n1 E" h8 h8 e這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
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