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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
0 F3 a5 D8 b t3 i& E1 X/ V
* A& g/ G4 W% s/ ?) C3 X1 O B5 yJob View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的) l1 O" U0 V7 N% k# n) d% ?3 T
因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK% k: I8 t1 q# w* ]& [" ~
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK% j4 S X# r( e; I0 p2 j5 @
我認知的步驟如下:
. X) f+ c; ?% e8 O/ k9 C( y4 o. g$ k+ q& C1 {. c' ]
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少" Y/ [( A, |# P
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.' F {0 J- O/ e. w
8 \0 ~6 x8 v# l
2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)
" r$ {0 I9 g( u 如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch& `5 e; h( V' b8 j
如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
, ]8 u" s& n9 E 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)! h$ Y$ v, r$ _- c5 q; Z0 g
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
" v- _3 u0 O+ [2 i# A wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯9 g. D: q/ P/ I9 d& R. B0 p1 n% i( Y
/ _ a$ L5 \, I2 E. B5 W
3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
0 v% ?" f+ V7 B# A4 B 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看7 r( ~ u) B% [! N) { X2 e
?) I, r- }# W8 `( o0 h
4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的3 y+ _1 k3 A, O( w
" N2 D/ F4 R) L" k6 s& Q7 e. R6 \5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc # P' Q& Q0 ]; t. B; U
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失1 w9 i+ V5 ^, ^" T3 ?) M! e
3 D: u! k! v! V) H( Y0 }這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
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