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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:! u6 @/ K, ?& N5 X* G2 m3 u% k
B+ N' Y3 n6 ]4 WJob View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
* M& g+ s9 F' o/ W, c9 l/ c因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
4 k* i) d9 g7 R0 J6 u4 o- |- o所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
2 E& T8 y: Y, q3 m我認知的步驟如下:
# r8 R3 I8 ?1 C8 [; _( [/ f, V9 I, R0 b6 r( Y5 A
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少0 ~! P; Z6 r$ s
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.4 O6 R5 V @0 I; e
% o+ y6 a. x3 e2 o, W. V2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)
1 i5 Q" r" O, Z n4 i/ b1 @ 如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
+ y B2 ~" {8 W& d 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量* M6 J1 {: n/ y0 X) t/ ?. q1 }
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
( o6 z% u; [: P 在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的- u$ k* j, h5 O
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯$ |0 n' Q) P8 i
6 I4 Q$ P3 ~9 F) F3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
$ E5 x7 e/ |* a6 X& f2 z; }' N3 b 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看. t- w9 j; }! y! d- U3 P6 b
' T: h1 ?/ u$ g0 s. H( z4 J4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
, a. H9 {2 V, W1 z& o/ g2 \. p/ V
5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
) ^: U# X' ~0 u' k# h. d 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
9 ]+ v, V- l2 Q+ C5 c: V8 ?. v* b5 P9 e6 Q4 U# p, ]7 ~
這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
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