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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:; Y# X7 i6 l/ `7 Z# I. W
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Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的2 R8 t; N7 V3 X& l1 K
因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
6 H0 x! q- F( m8 M6 K, ?7 h2 r所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
: O( ]: W! S! i# V我認知的步驟如下:
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2 @9 n) Q# ?0 Z1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少" O Q' A$ [/ o2 v$ ?: J& I" u
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.1 u4 p& Y9 x0 v5 c( e0 Q
. ~/ ^! G4 a, x' [* b* b( ^: w" c2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)9 E3 E" `. }, f% @! n2 C
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
8 b6 }3 S$ \# F, ^; R 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量' u0 Y. O$ o2 P y
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)/ |4 U7 Y5 J0 r. V' b" g* _5 ~
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
1 ^2 t" \$ ^0 m6 K( v7 r" A* m: r& C: A wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
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3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift; ~) i7 @( B2 Q4 F
把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看; Y# K ^& g- I" K1 [- _! V
/ A# _* H/ C7 C( \8 G4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的$ `6 Z# Y3 K# |9 E" F
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5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
0 j0 o+ s2 p5 X9 ~& n4 z3 K9 x 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
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這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充./ q) x- R3 s6 g2 v" f
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