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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:1 V( |6 V4 t, P, p% Z0 X
1 D% S( }% Y+ @* s' BJob View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
8 P- C3 s. z2 Y因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK# }3 L! J; C# s, F
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
$ h. e2 j5 z0 u& R# P" P$ p我認知的步驟如下:
$ K4 ]3 ]) P' s' g4 s6 M! u! {! Z( K* M# Z# O8 n8 i, `9 E
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少- g- W$ f8 l1 }% H% {( r
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.& S B+ _" n4 L8 V
' K2 m$ |/ D# k i5 S
2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)
- _7 F: Z b, Q5 m2 I 如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
1 H) z+ ?9 l h2 u& e' t 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量: q1 t6 j3 k6 J* w. G$ k- `
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)& v0 K9 y }7 `! |. b, d$ l
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
3 U/ B9 ?7 j! a1 Z wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
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, Q8 X4 A, P. {9 X. l( k$ W3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
2 y% A' d/ ~( l4 R 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看
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( p5 ] @- b8 C) P) q4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的9 h ]) g6 x& Q+ a" X _
8 w" \9 {2 Y4 n0 q5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc 7 P, Q& V, j. S
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
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這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
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YHCHANG |
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