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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:4 j; A/ E* C( a
) a8 ^. r& H% L- c) |$ G, m3 Q0 Y1 F
Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
5 b5 m. D O7 r0 H$ U6 P, Z因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
. U. \6 C) A8 X所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
) L0 b) M& K, o) B) ~ h- N7 d我認知的步驟如下:
5 D5 A( }8 ]" T% z, R1 u7 i! O* Q. l U; k/ |! @
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
$ ^4 P7 m4 n9 t 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
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2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)/ Q7 s- C4 }5 a. b# I
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
! O5 q2 h1 G( S6 U3 l 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
) G, S$ M6 }2 c: Y! a) d 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
6 Q3 e+ z3 B& L' A8 P 在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
7 y4 Q2 M4 M# |5 w7 V wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯4 |0 ~% s6 Z% B/ h
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3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
. y$ n* Q. r2 r 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看
, N& z3 {7 m; K4 ~: Z' q, j/ p. b A+ z9 X4 p0 V
4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的* C2 R8 i/ b& {# k- A
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5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc & _9 `- X$ S5 Q5 } G9 X" x
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
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這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.* L9 p" }/ E& M2 a4 C2 ^
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