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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:8 K0 p9 u% f# p ]1 q; J
% Q% d! L+ e7 e% N+ {% w f8 h
Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
1 Q3 ^& X. d; k n因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
* f2 a. j7 ^5 n% J所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK$ G/ f* R+ t+ v
我認知的步驟如下:
0 N) X; S' C: ?" Q* ~" t! k+ |" o N
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少- M) L5 @6 ] D/ c. S1 o& z( ^
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
5 K$ {" }7 c1 [. [) @5 o
5 i0 V6 r4 J V2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)
9 @8 r. Q' }4 p' o$ B6 O. p 如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch8 @2 J5 b0 O) E% O
如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量, @6 V4 Y+ N& Q, y! ^+ A t9 g
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)5 b: N4 s7 j4 _; I' Q5 e
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
, i3 y1 d1 W- s5 g0 @ wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯) u7 S8 t) \" W2 a# s# v: R8 v Z
: S2 q7 ?5 m. i0 v# o3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
7 s/ _; \: U9 s+ G0 s. m 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看
3 U& f4 `6 f1 q4 m- q4 _$ m
# U m# k- Q0 Z) Z4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的) ]8 P& D1 d9 I) J6 W
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5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
7 d# ~, G) p! `% ^ 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失5 } R" \" y" I4 B
1 M; Z+ i0 A- N. E7 o這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
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YHCHANG |
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