|
這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
6 s6 W# p _; n! @: n( E) D- A5 ]( p x. e7 t
Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
# C. U: @6 p; X. U因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
7 O, k& b! `( E所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK* w. I7 g$ R; w; ^7 Z- B
我認知的步驟如下:
7 l: w5 O# I* D5 F( s; q
9 L+ C, t/ {9 \( h$ f1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
" p# B, Z" Z8 a/ `# V6 N4 U% A1 I 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
; j1 W/ Q. e/ N, t8 u& X! p$ r" p
2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)
/ q, @5 L5 T0 b! a0 G& H, e ~ 如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch0 g6 {3 B1 P9 S. ]+ x
如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
* F- F, C2 S& r9 a 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)6 h. w( Q: M/ O; [
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的, m; g3 C9 Y6 G3 U2 |0 _
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
# \- t4 E. R" k/ j
8 x+ q! l, ^% o A3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
) u9 E! ~, ~% X3 c9 @" ? 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看
1 R- K& p0 j1 Z" x( c
( |0 e# B2 N! B3 M/ B4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
) I7 [# r* A' |
u2 y) T& l$ W: {3 b- ]5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
T5 b/ s' N9 [; U 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
: I- ?! q- a8 g8 z+ d& A+ l% B# Y. W, Z2 ?# U
這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.# e1 K3 P' u: O1 n! G; H
: R" H" h2 z7 g, @4 ] YHCHANG |
|