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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
t4 t# Z; Q0 x. y$ V2 R
6 t9 @5 H+ U! d R$ Q, p4 ~3 [Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
) I4 \& @) {0 V v# D9 t因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK/ ~6 h) `+ Y) p3 j1 x% P
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
) T' X. w" G" ]: ?0 r我認知的步驟如下:0 _( \' z3 G9 P# t
+ X1 C1 t" a6 W X1 X9 s9 ^
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少/ n4 B" R, x5 w# V# H; [1 E
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.! T1 D/ g) P3 i/ i
0 g& _' q( I, U6 V: H& n* t/ T7 Y
2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)# x- G7 R8 P# C1 `- O
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch0 w% S0 S0 n8 [$ _3 o# a: Q
如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
) A9 x3 V) x, K( o2 x# J 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)1 W1 }8 O: R8 Y' V
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
$ f, N2 g5 b. H! c: f! o; J5 l# m wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
' o; j1 p( v0 x9 T8 D( H6 \& W3 D
# B8 X/ \7 U; t6 e9 ?3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift+ a! \/ g! N8 O) e0 S
把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看
% r& z" [2 Y y9 c ~4 s P
0 o' J* ~! b3 M, U, m3 T, I A4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的$ s+ a" w% y9 f0 |
! |# l3 m! q; w5 ?5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
; j/ l- l; z3 S, h, [ 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
% P/ F" A1 f0 U/ H- h* ~3 J% u+ U+ h: M# F: r
這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
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