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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:# d4 n. Q9 e5 M F( S5 K
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Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的/ q p/ I5 A2 j/ c9 w6 W
因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
N3 f% i# A' \- B8 y所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
( V6 g3 ~9 k. `- j9 U- Q4 ]我認知的步驟如下:
5 P1 v% T8 v6 |* s$ `, v5 H1 |- _) U+ q3 g) I# k7 w
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少; \" ?' p1 S& w# b( e
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
" @3 Z) ~% P/ E3 Y7 N! }3 S2 I- X @: }4 r, e
2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)
, o" @7 K, ]2 D9 b2 `$ s 如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch1 x. R5 b% n4 b: _4 x% Z
如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量- E0 p: _* ]+ q: ?/ `
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
- n. ~* j2 w$ Q% ] 在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的# M. {3 a& d1 T6 {# f
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
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3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
* w3 F. u4 l9 t1 t4 d8 l( s 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看8 i" B+ D2 U$ i0 F3 M% K* |
, ^+ m+ S( a+ [* W
4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的% l/ \9 ]1 \$ a2 f6 R+ \# _
0 w8 W- H7 t6 \3 u: o3 S5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc & \& s1 X& n& u4 g' @" [' N( }
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
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這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
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