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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
& ]3 m) j+ U, G# a" W; i/ T* K2 y! P
Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
5 r9 Z% _* a8 s8 i( l L因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK" l7 o$ S6 ?$ L: Z! v
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
; I7 _6 D% z" P3 _$ U# f7 E* i% d我認知的步驟如下:9 j: [/ j& |- P2 `2 f7 a
$ R, a2 `* p* g7 M1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
* J! @) N% h7 _* h 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.$ l6 N4 c& ? @( S
8 ~6 T' g; Y4 w8 I `2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)
" C& N! a0 P2 K: ]) X7 H 如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
r7 o$ S- i2 v 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
- ~" W v- G4 H0 ~# S$ w 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
6 n2 m0 J2 K1 {& y3 \ 在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的, n( s; ~( C5 h" p# a0 q; u
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯/ ^ a4 n" y6 c I3 d2 T
* f0 S3 e; k( K) t8 v3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift5 d1 Y% u6 G1 {7 t3 j* }
把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看! x! e* H( S' ?/ a" K$ `" i
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4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的9 N! D& ]/ {" z8 R" o
5 K0 S8 M/ S$ u' x- ^5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
0 X. s7 Z3 ~5 X& ~' Z/ V. ]. P 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失+ Y& ^9 y) |+ m0 v" O
$ I* t B7 D q# L5 [6 g/ t' Q這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
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