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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考: `# {; t1 S! z! E' j4 N
7 v9 `4 Z, c: M3 C' d+ VJob View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的" c4 J; Z$ u) d5 K
因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
! g& v. z. s( z7 ^( a8 t, r1 |9 j所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
0 H1 ^/ w* k0 E2 r4 b- t我認知的步驟如下:
, x# w1 }% s; T/ q) w; i( A5 H, |2 c6 o8 o! O8 F6 Q$ p7 A
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
0 g3 b z, s% T& Z+ V 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
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2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)
& Y* U) N1 ^: J3 ~2 [0 ] 如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch$ z: g5 Y2 W5 V0 q/ I' z
如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
4 v2 ~3 `7 x. _* S9 L, t8 e/ c2 D 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)! T$ ~3 }% S6 f% q0 m
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
! ~3 J3 Z0 R5 n" k3 w wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯2 w6 u' F& }3 C% y% X8 J7 w# ]
2 H o! N# T* `+ D k- E- {! P' X3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
7 l9 E( s% i5 L5 y 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看
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" s( C% G* W( Z1 a& R6 `3 l& R4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
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, q6 C/ p( n1 `7 K3 k: y& ^5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc - @) _: m9 Z( d' N) p# x* d- K
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失, }% w& Y* w) F8 @; R! c+ X/ L. f- Z
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這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
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