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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
0 K, H! e# \. ^6 w- v; h/ A
4 q7 Z6 `3 z& Y. e) |) hJob View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的6 y* t: t S3 ]3 d v/ o s% j2 b
因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
# R* P [* A3 J5 }所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
/ x; G, P5 r p3 j我認知的步驟如下:
$ f. Z4 b, z' G$ L# _
% s& O- K7 ?$ o' D! W+ W1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少% \- W" S$ m o# B6 V
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.% D ]; N5 b5 l/ K
: t, e7 j# `5 b) A9 i8 q/ ]( f
2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)! q8 ?1 m Z5 s
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
" W* k" h D" O; ]% z 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量( M4 b3 E2 P( L. D0 I8 W" K9 ]
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)7 K7 ^1 c' ~& y; i
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
( J5 E ]0 B. F! H/ D) X; W wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
, z3 B- g ]- A( K' S7 H. D! M* P* t( G) T
3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift2 t j/ R+ q. W* }; K3 e
把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看
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3 K; o$ t; v0 W4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的2 O5 u4 W5 u% ^ U' ?
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5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
7 H* L& w8 d7 N! o9 K, P 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失2 ^: j! P, A5 b$ I: Q E
. K# H; O; y5 s這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
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YHCHANG |
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