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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
+ A" Z0 _! G. O1 k" s. g- v5 C9 ^+ N8 L- w' B2 _2 G' X+ O
Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
# U7 A/ L- Z" i& Q因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK& \( I0 y' x- m5 [
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK" O2 Q+ d* v. H; i
我認知的步驟如下:
4 R+ {' S$ u' D% S/ k
5 O1 ~$ W2 u% M4 k, h1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
. _( m* h( x1 |6 @9 h0 ` 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
2 G- f' A ^ }5 _3 o; h r$ l$ b
5 c: W" U- r/ ^7 P2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)
; s5 P% r2 m9 W 如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch e. w& K! A' ^/ Y, }1 T! J
如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量3 A2 u. O( R* ?) o
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)! L/ K! ~, p8 t
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的' Q3 D) U1 i# C: I: A) u* A3 _
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
8 z$ O) H/ l$ R) A- _
) _3 Q* U& f$ s# b1 k; D5 C- h3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift6 F0 C0 v* [# C6 x6 M3 E
把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看' E- L) m/ `* D
4 y6 c# D C4 A9 \
4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的$ z; a0 ^, a& m- B* \$ M/ _5 c
: _6 ]2 T; b( g: r8 @, L% p
5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc % ^5 Q* H! _0 J c
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失/ n2 e1 Z. H W( y7 X
$ h8 q6 Y! x& W, o6 w* n, y這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.! c0 |0 a1 U6 n; M2 [" ]
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