|
這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考: Y# T6 W4 F" k, t, I9 @: E% d
& \$ ^; T; W+ j- I9 \6 e
Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
3 _# z3 S3 d/ k. U q% {" T @因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
4 J% o* S6 `2 J, }* _& ^ |; ?) |7 {所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
. X1 I# o8 o& o: W+ X: \5 m2 ?" }我認知的步驟如下:
) \3 R$ l# o& V1 m. x2 D U0 t8 ]- v% K8 }, S
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少" @" ]4 i% c3 }1 z, p9 i
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.) x+ c, |% Z$ a! F' D& e6 |
- w+ D+ B$ Q/ n$ b3 h2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)8 L. T# \+ s; `0 u" x
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch$ a8 i; U0 M9 T
如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
% d4 |7 C5 f$ J' X5 j! D 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
2 r- a3 {! B6 f# J4 h( s 在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
2 v9 g$ X1 U# G: Y! v5 M% b wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯" P( v9 C% M. |9 C
& ]6 _9 S5 V8 |4 ]4 @
3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
/ \* D X' N& I, x 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看6 x7 R4 G( X7 A% w
/ J+ i2 K6 N8 M+ a. Q( c4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
) {- X5 n& Q; g7 [2 {2 A
6 C7 q3 C: i. v, {7 J' E5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
9 u# V/ U* E: w! d' |3 {2 M 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
6 a' M4 ~: i/ R" F) y' d2 b' Y
; q9 Q( `2 S5 Q& I! R0 g& \( v" `: u這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
0 W+ Z- n' W* M1 [6 F$ L7 F6 u; ]& k! d- o; i
YHCHANG |
|