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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
+ G- `- c0 `& Y! y. e1 G4 ^6 B& _, g) B2 U; z9 k
Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
# E0 A! Z4 d P2 G- W) t因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
/ c e- [8 j& u. f. W8 C$ p& K4 v所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK8 \ k( H) O$ A8 Z$ {
我認知的步驟如下:
& A5 i. w0 X' k! Z
1 V* j2 X# b* A% _) T1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
# `9 k5 [# E7 S0 a* L: d# ` 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.. }, B: W+ _ i: Y) A/ ^, S; Q
4 i0 L8 I4 _# c$ i1 Q2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)! M0 d- H; z% E
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
) W0 A- w; s( z9 M6 h 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
% F' A9 f* x; v8 B0 W; ~ 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
5 N; V k( i0 c 在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的; l, s0 o" l* H
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯1 g8 v% L4 V p, k
0 v0 `! z# W/ J* G$ h7 X
3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift/ F3 g+ G4 Y3 c, z% U$ ]
把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看
% D, H- F% H1 M5 [% A2 y+ `' d7 {- w8 A% O6 U$ q& T7 P
4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
. o8 G- g A: x/ j( D) g( W+ Y" p5 J0 y
5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc * `) j% g- N9 d
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
" t, _, a! z, t4 c, r1 }; H
4 G* |' l4 j+ R這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.$ }$ c) ^2 n$ v) J! [9 a
5 A7 {% C7 B/ f9 e YHCHANG |
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