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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
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Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
# d8 l: x) I1 ~/ K因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK+ A+ u! g/ b; |
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK' p0 c0 N% \3 j7 G1 e& ]/ A
我認知的步驟如下:2 f ^6 [. u. s" j1 a4 c
# o b! [/ J* Z! F1 e1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少; M; L5 F; g' o! F i$ E
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.4 y; f+ x7 O/ R, P7 u4 S
2 g# M& ^4 z+ J5 }9 m! [8 A2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)- M+ @; k' u% |0 x, E+ j1 ?
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
& }2 V# l4 j, t" A/ J; N: A* v 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
; i2 Q0 @# ]3 B1 J# ?& s, O 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)/ g, B) ~9 q+ {7 d0 p
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
( ~3 B# S- L( {. w, l( B wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
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3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
0 b* |( T. x! M! Q 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看3 M: S/ f% g2 r4 S3 v7 x
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4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
; {) r0 O2 v2 { C% ^3 c0 O) `) u V' B4 g
5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
5 }3 @" \9 B H: D 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失/ z+ q8 ?9 L" z, o$ ?: i8 J
: u) L+ O3 O* M0 y這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充. t0 a( a! w; E
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YHCHANG |
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