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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
% L) p' }4 _9 _2 N" c, V; L) V0 X4 w
$ j/ h6 l( T4 t R/ {Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
- B8 |+ Y' f% [+ {因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK! i7 s' d+ b% N% K e1 m
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK& V \8 I. u1 C
我認知的步驟如下:$ q4 f0 { Y+ Z
: {4 `0 X$ @$ L' \$ e8 m
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少, r3 |1 w; W( i& @ q8 E
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
, A1 o# a3 a* I" t0 p( B" M1 r$ k
2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)
% {( c5 K' c3 v1 k y# e 如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
) O2 |2 y, g* H, I$ c+ @3 ]/ y3 C. g 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
0 G/ ]$ g$ s: b$ j1 }. F 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多). x L" W6 j; x! m* K7 Y- u
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的1 x3 L! T z; h: H8 k
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
5 a# j0 b& {: v! j
6 q5 Q. Z# w4 o3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
8 ]: ~& M% a, p 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看
, N0 C5 M% z/ l# N
' ]! l3 ^( f$ n; @' m3 L4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的0 F' h* Y% J; ?' C
$ b' ~& I# u# E! M
5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc # O$ O5 B; H3 { k, L. U$ G
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
5 H: N# x0 U8 Y+ d) d, ?# i g1 n! m" T
這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
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4 r* A5 J# w5 \2 i YHCHANG |
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