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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
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Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
$ u2 l1 i' z1 T) R因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK% z/ H( \) ^# _' l: L- q6 r- |
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK9 F* e/ I; g% y, o$ Q
我認知的步驟如下:/ C4 K; X1 _& b0 _. L$ ^) H9 \
, F5 V) P& X" w4 C8 l' V5 g* ]) g
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少: }& D5 z& p& c0 f* ]) t
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
& D" ?% N- z" {8 x" M! w. G5 |; D
5 y7 B7 K% N2 {6 A" k" @2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)
. l% p+ [& b7 G3 j2 J0 x! N1 ? 如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch$ L5 r, s% Q& I( }4 q2 I% G
如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
! |; L4 H% e/ ?- @/ h; n. x& ? 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)- v: F2 Z" ]$ g: u# `
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的" a) c, l2 b* B; E' j% D D, }- [
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
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3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift ?9 w! ~4 J6 P) w8 e
把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看; O; D6 B/ z: I" S! D1 e# ?
0 `9 y) b4 q% J% o& Y" k4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
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$ P- ^2 v% T o% Q5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc % C- T1 z! r+ X% h0 i
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
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這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.9 e; D. k- X+ b% ]2 u8 m; w! a
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YHCHANG |
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