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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
' w( Q- _! E! P6 c, a6 `: y5 p. M z8 y0 n1 D) v
Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
9 j0 ^" C8 K) m4 @7 e因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
% J7 S2 c% m% t/ x% Y9 n, V所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK7 S" L) ^8 w7 M8 ?
我認知的步驟如下:
8 b# Z$ [+ @: N" ?% s& z9 ]) H, w
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少3 k X- l' h8 M2 g8 w6 t
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.1 j, P. E/ N9 Y T) [
$ W# V, X- P" s1 g4 V- N: @1 h2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)* M6 K9 O7 h* _; o5 `
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
5 h, l u: G* Z i9 a+ V) ~ 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
$ V1 y5 N* _. X, D' z 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
/ m" Q/ U# D# d4 T& e- l* g L 在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的' n: {! R2 C# w) L# M
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯 K+ g) r6 p9 `7 E: `; K) Z
w$ l' z: @0 t+ c) j( [! A- \1 f2 |3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
% Y- e& \2 C4 x& e9 a; P8 X 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看0 K) D" S7 F# j& h# V9 }
$ E- Y& k+ Q( L( E4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
" @ i- s0 k B3 F, N Z. V# {
5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc " m; q. l- b1 H# `
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
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' Q# `6 I7 N2 q' w/ g" H這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
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YHCHANG |
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