|
這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
# t3 i& I4 Y5 L4 x
6 d+ {# {: l/ k# S. qJob View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
2 J) D0 j: R" B) | i6 N+ q7 w因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
+ Z& ^& r% [' }9 Q; L, J: n所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
9 J i/ T( b6 H; M7 q; g我認知的步驟如下:% A7 H1 l) R7 l; k" ?
8 p) B9 h8 J$ z3 r! C- l4 ?: m; }" B9 {
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
% P2 F" J. q0 o/ T* S 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
' X8 ?! p8 c6 V5 i P) a4 l" u3 C6 p! h1 ?
2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)( H+ ~) l6 ^& d4 R$ E. p$ P/ w/ n
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch+ ~+ E6 C% [* W" g. N& x' d
如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
' b/ {+ F8 k: c# { 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
5 H0 c% z6 D1 ~8 h2 c" L% D& S- Q 在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
}3 h3 H7 g0 g8 M3 g* C wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯+ P1 V! Q) e7 ]8 l9 T; j
6 b5 J I* L/ Y0 ~7 a/ Y( U" O7 J3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
, R" O* n% w5 A i7 u* g; ^ 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看* W, u* z" x* p. \& C {
; w+ [+ O; x6 i/ B# I4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
0 t. a9 @+ K# P6 b
2 R) \ w( T& _; r: q0 G: ]5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc # A! r( N) Y, V& }. o" w( D, H
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失( ]* ? D: p4 H: T7 j, D
4 G3 E4 N% f% A( J0 U8 C/ u
這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
. V, h5 [% g# R& L5 [. k4 d- M
1 o" @5 \* o/ ]9 m9 r YHCHANG |
|