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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
& P; k% p( ~3 i- v& b
( T) c) h: ~/ eJob View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
' e7 n8 c- U v! {) [4 [因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK+ w1 A- T1 l+ ^* Q! l( R
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK6 o! _2 `( r4 n1 ?, z6 q
我認知的步驟如下:
+ O) x2 J, y# S/ `: o3 g9 c4 e J0 _- ^: c) h( f3 t
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少0 n. ?. V" @5 b% D& ], w
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.3 W* ~7 a) x% s# V+ O
; g1 m9 m9 S0 T' N, s/ W2 s/ N0 z; @
2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)" n: Q. B$ ^; u8 Y* d& E. q
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
4 o3 F8 b. S! b: l( X' W 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量% a+ o/ a) E N" [' c; V# t
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
' {5 z+ D; N; | y 在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的- P: ]$ {6 m7 Y3 K, a
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
7 l5 ~5 g1 c) C( [
# c( _5 M; ]4 s; r' n( m3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
\7 r5 F) c/ X- E 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看
8 k: X6 l' q, [+ I2 s# Q. n
+ a1 S6 T+ p, S, J0 G" o! b3 `5 {4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
) v4 N. L+ Y6 O# d8 n6 r9 A
3 @0 c2 a- x! C+ ^5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
7 \4 S/ N- \* {& D% q, u4 L6 h 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失& H2 a; E6 B$ F7 c" s
+ E& R+ X/ V' D+ K2 o
這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.# v/ x& {7 K( o- E
) T& M, R7 Q1 Y7 S/ z; _
YHCHANG |
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