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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:" J( ]1 w, ]) \/ S9 t: e
: x- D( `# R! u( k5 V) H7 TJob View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
- n# [8 L' E! w) i9 l, |/ S因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
" \, H4 g: [( Y所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
2 a! h6 D, \. ]- G7 G我認知的步驟如下:2 U# }8 F2 O0 ^2 `
8 A/ R! Y/ r. l# o1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少1 ^+ P0 J8 }3 D1 ], S
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.2 e2 ?2 w W* i9 |1 h& b
9 R' y8 `5 u/ o) G: P
2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)
7 Q- D% U( B) \+ g# f" R4 z4 e' F 如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch" r7 @' m4 T1 |/ L. ?
如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
. Y) w! A# Q" Z& A% h- R2 h& C 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
' J# U) Y' i) h$ {. a: l 在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
" t: x8 H5 X1 m# w y+ \ wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
k' F. G% {, F9 z9 c5 h& ~% d5 w6 ?+ C4 ?9 F2 H& a% R. ]' y
3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift$ n A% A! E1 P% t0 m; \0 ~) K# ~: l" a7 ~
把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看
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: y4 g' D8 p3 Q" t% |1 d4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
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5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc ! f2 j: I$ q1 \
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失# p- r0 c+ Z. L' j% i& G/ m
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這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
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