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LAYOUT JDV 注意事項

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1#
發表於 2008-4-3 09:14:53 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
越高階的製程,MASK BOOLEAN OPEARTION 越多
7 }, |4 u) ~( |7 h( B6 Q在這裡想要請問大家如何進行 LAYOUT MASK JDV
4 r7 p6 _( G9 }0 H% }是不是可以分享一下作法給我參考呢?/ D6 E- f' o# n
, E# y7 h% h+ J0 ?# g
當我遇到這些mask,我採用的方法是, 了解每個BOOLEAN OPEARION 的步驟及結果...再仔細的反覆檢查4 Y2 K* b2 X, Q# A# w
只是這樣的作法讓我花費很多時間在反覆檢查
# h! ^# u/ i7 i/ j+ ~4 h7 T還在尋找正確又不耗時的工作方法...
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推薦
發表於 2008-4-8 00:43:08 | 只看該作者
這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:% d3 ?: [! c) ^. x: F

9 t: y, B& q+ x( U7 W) A: fJob View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
0 q& q* n6 |; k8 b5 M) ?因為不可能整顆IC 每個 Pitch  width  spacing 都CHECK
5 q8 ?: N0 t1 H0 ?# O$ }所以只能用  隨機取樣的方式  做 CHECK, f$ K. [) \: w: B
我認知的步驟如下:8 o- U/ T0 ^/ o' g0 \: A, `5 {9 E

: |1 l$ e, k3 T. o) V1 A1 e" c1.  Check  Version  Code  要確定  這層光罩  全部LAYER的 Version code都有出現,  如果有缺少4 L9 ^9 h. T7 g
     就要跟FAB廠 comfirm  看看是不是本來就沒有放.
3 O+ e0 T6 k3 S' X! \, U; c0 X6 [/ z& ^& @9 v. _
2.  找一個 這層光罩  每個LAYER都有出現的地方  (為了便利性)' x9 O. ~! Q1 H  Q& i9 l
     如果這是個 OPC LAYER 就要找  環境類似或重複性很高的地方去量  X-axis 與 Y-axis的 Pitch0 |/ l" o/ K" A3 Q( }0 `3 F
     如果不是OPC LAYOUT  就只要找  X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量' T$ `0 Y+ g' e7 W9 {
     選擇的 樣本數   越多  自然自己就會越心安   JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)4 f/ Y/ s$ A3 N4 r+ O! B2 o
    在這邊要特別注意,  如果這層光罩  有  L1+L2+L3+L4    你要盡量去量   Layer與Layer有重疊或鄰近地方的0 r5 H$ s; L$ J2 _: ^( w: q
    wdith, spacing 或 Pitch  才能夠順便CHECK   光罩有沒有在做OR運算的時候出錯' V: |/ j) T) f, @, K5 W$ ?
9 n; K- n) L2 J  v# G7 J" T4 d% F
3.   最後要確定 光罩有沒有  Shift) E5 A  n8 P+ Q+ S4 G
      把之前VIEW過的 光罩拿出來疊   看看  width,spacing ,pitch有沒有跑掉,  X軸與Y軸都要看: \* K. P* b) S3 T. p. {3 e

& Q  F# G& R) P/ I% E4.   如果是改版的話,   就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
) \6 @9 ?  j$ k4 E( b4 I7 E$ [: t( E) t. a+ D! S$ T* Q
5.   如果這層光罩  有很多不同類型的地方,  比如  ESD   IO Interface,  PAD,  Array, ....etc  
4 w  a, B+ v+ |2 ?; w      為了保險起見   最好每個地方都重複  2-3的步驟   以確保萬無一失% j3 @" {5 P" o' p4 W# b

5 P3 |. O+ {. n這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方  也請其他好心的大大補充.' x+ w0 q9 N6 t" q

& ^0 l9 S4 v! ?$ J& P4 _9 j                                                                                                                                YHCHANG
2#
發表於 2008-4-3 11:38:15 | 只看該作者
您好:6 K& |% T) w! g" h
   關於JDV(JOB DESK VIEW),小弟從事LAYOUT一年多以來,JDV一直都是簡單帶過耶
! q  e1 k, B3 _7 s基本上都是先確定CHIP的四個角有沒有SHIFT,如果沒有就在任意的挑幾個地方% S: W3 P( Z0 M/ p  |. W8 t
看一下SIZE有沒有問題,就OK了 不過可能是公司制度跟自我要求吧....
% v+ J% [( }& X2 i" K$ F9 O! d所以以上是我個人的經驗,實際的情況還是要依您公司為主,參考用
( p. s0 U! L1 X! k, }5 t/ q0 }2 k4 K* w& A: U
[ 本帖最後由 crystal_blue 於 2008-4-3 11:51 AM 編輯 ]
3#
發表於 2008-4-3 14:55:44 | 只看該作者
我的看法是耗費大量時間檢查是必須的,因為辛苦這麼久,花費個幾個小時到半天做JDV,如果能檢查出一個錯誤,那就值得了 .
, B/ `0 @# Q4 I0 u4 `  o我曾經就在JDV步驟發現錯誤,而停止TAPEOUT動作 ,我那時只想,真是好險~~~~~
; p8 `1 G5 `) `& S3 s6 I! i" [MASK的布林跟MASK之間有沒有偏移這是一定要看的.我還會看有沒有SEALRING及切割道上有沒有異常,每一層LAYER一個一個打開看看整個晶片有無異常,畢竟作光罩要好多錢~~~~謹慎一點是必須的.
4#
發表於 2008-4-7 23:24:16 | 只看該作者
非常感謝大大的分享  h9 L* F5 I. H- o3 `+ u
非常感謝大大的分享
/ Q' [/ t) x0 X非常感謝大大的分享
6#
發表於 2008-5-29 15:38:50 | 只看該作者
謝謝各位前輩的經驗分享
" ]" Y7 m% Y( ^& O1 wjob view真的是要細心的去作的
7#
發表於 2008-5-31 14:17:39 | 只看該作者
寫的蠻詳細的,現在在代工廠,雖然還沒有實際做過JDV,但看到一些較資深的工程師,在檢查時都蠻小心的,現在先注意檢查的技巧,希望以後有碰到時能得心應手點
8#
發表於 2024-3-31 17:41:33 | 只看該作者
成年人需要舒壓瀨5280366和TG是nini9595- W$ g5 f* K4 i$ i/ J1 e3 z+ ^
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