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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:" B; B% w2 L1 P6 k
1 @+ n) a9 L% \7 f) [Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
7 m% |* u: d, [ j! M9 r1 v因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
/ t/ |6 i, x' b所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
9 [( t6 z( c$ p1 D/ f6 z. |我認知的步驟如下:+ t6 A' ~2 ^* G7 J
$ q; `- |" o. C0 S3 W" h
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
! m2 u# }9 p" t1 Q/ h9 `6 O 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.) [* F0 H- X4 l M. U* J9 p* K- m
5 }0 \" A- B* H# |& q% b2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)' [3 t' I& c& x2 ?$ {
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
6 }, s/ R& |" U, {- ~5 d0 V# m$ a' N 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量8 k! R q: [: h8 g6 L
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
9 y" t4 t2 q" K2 n 在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
r. D! T( M# u2 D1 f" F. o wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
" G7 N1 p+ b$ [! u+ ^3 A$ E# x0 ?* x9 e0 U+ J
3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift: V3 d! X) K g0 V* f2 m) H; p+ q
把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看! V. X R; ~0 Z. |0 N& W/ j
* i' K5 K$ E% V4 q0 Y+ B3 ?4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
) x8 n8 _/ e' i4 `0 `$ H9 e8 K- O; g% E0 V2 f5 R
5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
: g8 Y5 `3 R% s0 ^# V8 {! n 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失/ P$ z2 Y: _: e4 E
& H5 i' E' s5 N9 b% }這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.! o& z; D) e" F* ]$ P6 r
% q! z, j+ F% e' F; D) D YHCHANG |
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