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LAYOUT JDV 注意事項

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1#
發表於 2008-4-3 09:14:53 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
越高階的製程,MASK BOOLEAN OPEARTION 越多
6 I: w' c: u; Z+ a  \( E( ^在這裡想要請問大家如何進行 LAYOUT MASK JDV8 p: `* ~1 s- {8 g
是不是可以分享一下作法給我參考呢?
5 N$ g: K1 ]- @, F6 W- X
' ^. M4 P+ A+ [  f$ e7 ^當我遇到這些mask,我採用的方法是, 了解每個BOOLEAN OPEARION 的步驟及結果...再仔細的反覆檢查" J/ O( i. Y0 ?2 b" T
只是這樣的作法讓我花費很多時間在反覆檢查
5 D9 y' L, m) i1 H" Q9 C2 v還在尋找正確又不耗時的工作方法...
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推薦
發表於 2008-4-8 00:43:08 | 只看該作者
這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
( F2 L3 M0 C9 e% h
5 W; N( ~, F0 C; yJob View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的" e8 `* i4 v6 ]5 A' m0 G
因為不可能整顆IC 每個 Pitch  width  spacing 都CHECK9 p5 i: M. B, \7 \% i
所以只能用  隨機取樣的方式  做 CHECK
0 ^0 l: h( ~6 R9 V1 ]. _我認知的步驟如下:
  o' d8 L* e( G9 \7 o" n7 E( l7 `0 y6 j: S  t1 b) M
1.  Check  Version  Code  要確定  這層光罩  全部LAYER的 Version code都有出現,  如果有缺少
; U9 |( W. H/ q     就要跟FAB廠 comfirm  看看是不是本來就沒有放.
: g6 @; J* |5 ?0 Z& h  P8 q# g4 t) {! \4 q+ R! `5 D; P% m8 Q. `
2.  找一個 這層光罩  每個LAYER都有出現的地方  (為了便利性)
2 B1 K: [5 J5 C5 b& }     如果這是個 OPC LAYER 就要找  環境類似或重複性很高的地方去量  X-axis 與 Y-axis的 Pitch
; F7 j* k: |& w2 B! X     如果不是OPC LAYOUT  就只要找  X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量( j/ Y+ r& s% |1 t, I2 T
     選擇的 樣本數   越多  自然自己就會越心安   JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
5 o" o& Z" [- `6 r. S+ _    在這邊要特別注意,  如果這層光罩  有  L1+L2+L3+L4    你要盡量去量   Layer與Layer有重疊或鄰近地方的% H+ m1 @' ~8 x. z9 q8 r* h
    wdith, spacing 或 Pitch  才能夠順便CHECK   光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
4 M; A  t  I/ Q  W2 I2 y
: h# d0 s' G! P% i6 ]3.   最後要確定 光罩有沒有  Shift
% F. N; }* D% i3 q) o; z      把之前VIEW過的 光罩拿出來疊   看看  width,spacing ,pitch有沒有跑掉,  X軸與Y軸都要看
# ]( A9 q8 Z7 t+ T6 ~4 Q5 ~6 }
' j" R) h7 b% B4.   如果是改版的話,   就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
: Q4 S& G( o- T) M# n6 X- c  Z8 j0 F5 C6 }: o) p
5.   如果這層光罩  有很多不同類型的地方,  比如  ESD   IO Interface,  PAD,  Array, ....etc  7 D6 q5 x6 q! R
      為了保險起見   最好每個地方都重複  2-3的步驟   以確保萬無一失) t( L8 j5 m; F* A

$ p: c( {" E, n+ g. h  L! z這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方  也請其他好心的大大補充., Z1 h% a% |2 v7 B' p- z4 h/ l
6 L; z/ t2 Q% {
                                                                                                                                YHCHANG
2#
發表於 2008-4-3 11:38:15 | 只看該作者
您好:/ R% @3 \0 ~. i- ^
   關於JDV(JOB DESK VIEW),小弟從事LAYOUT一年多以來,JDV一直都是簡單帶過耶 , @$ J( x3 [  \3 ?. X3 S4 J+ r. ^
基本上都是先確定CHIP的四個角有沒有SHIFT,如果沒有就在任意的挑幾個地方
/ g0 h0 Z/ |4 Y看一下SIZE有沒有問題,就OK了 不過可能是公司制度跟自我要求吧....
# \) i+ m. }6 A2 d: v  W所以以上是我個人的經驗,實際的情況還是要依您公司為主,參考用
7 N" T5 F/ G5 ~* K& Q6 s' h/ k! H6 g, a
[ 本帖最後由 crystal_blue 於 2008-4-3 11:51 AM 編輯 ]
3#
發表於 2008-4-3 14:55:44 | 只看該作者
我的看法是耗費大量時間檢查是必須的,因為辛苦這麼久,花費個幾個小時到半天做JDV,如果能檢查出一個錯誤,那就值得了 ." A1 D# j1 W  p5 K
我曾經就在JDV步驟發現錯誤,而停止TAPEOUT動作 ,我那時只想,真是好險~~~~~; o# S: K, `8 X; u. u& P# ^# w
MASK的布林跟MASK之間有沒有偏移這是一定要看的.我還會看有沒有SEALRING及切割道上有沒有異常,每一層LAYER一個一個打開看看整個晶片有無異常,畢竟作光罩要好多錢~~~~謹慎一點是必須的.
4#
發表於 2008-4-7 23:24:16 | 只看該作者
非常感謝大大的分享
/ b( U4 v$ x; g/ p' I% C0 A非常感謝大大的分享
5 Z7 l- ]5 j- T: G" d; f2 r6 \非常感謝大大的分享
6#
發表於 2008-5-29 15:38:50 | 只看該作者
謝謝各位前輩的經驗分享7 O2 O4 p+ w. ]5 O5 o3 ~3 K
job view真的是要細心的去作的
7#
發表於 2008-5-31 14:17:39 | 只看該作者
寫的蠻詳細的,現在在代工廠,雖然還沒有實際做過JDV,但看到一些較資深的工程師,在檢查時都蠻小心的,現在先注意檢查的技巧,希望以後有碰到時能得心應手點
8#
發表於 2024-3-31 17:41:33 | 只看該作者
成年人需要舒壓瀨5280366和TG是nini9595
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