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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:7 D4 I% F* B4 N/ I8 ?. a/ X
* J" Z+ x7 P3 Z, X7 k( C5 N6 A& t: iJob View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的3 e7 ^3 ]4 m& k
因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
: Q6 d" \& X( P1 V3 u所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
* z X V: f2 v* c& l我認知的步驟如下:0 J+ |2 v! N: I' f
. b5 X2 k! d% E4 O7 `- `7 @6 ~ v1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
g3 Q9 Q- b% g0 j3 R, A: a4 h 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放., m6 L; @) c6 V6 ]
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2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性): f$ K1 {% B+ I4 Z$ m
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
6 Z5 q1 z) o* b5 S 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量5 w! x! o7 `( f5 S# E, |, _+ l; M
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)# l& d, e8 p1 M0 _, R/ J
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
9 P6 \' ?: K+ G- ^2 K+ t5 R wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
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- ]) W' i5 z5 K6 @9 d6 x# v3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
3 C- s% D$ \, L8 g9 O# `/ D8 V 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看1 ^" ?) W4 a: ^- l# g9 K( K( j+ I
1 @; y }6 M2 P4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
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5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc 6 `7 ~+ W% f7 B7 n
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
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$ _$ Q) W2 d6 }# \9 {1 ^3 ^, P3 s這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
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