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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
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Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的0 B1 R. S& K& Y( X; j9 F* ~. F
因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK! \+ K# {% O# y- f, b4 C
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK; |' o! t, S0 F/ c
我認知的步驟如下:, x6 H0 K& A& u. Y; e
" V3 {& f, U6 `$ r
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
% h7 j, Q4 W9 }. W& N8 Y* C) q+ Q) y 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
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- ?, Q0 H( ^9 p0 h" T2 B! r- o2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)
$ |( K# c! \5 r) l# N, X 如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch+ x' T: x- a) T7 q
如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
3 R" `6 |( ~# p A 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)2 T% B$ s- j( k! M8 p
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的# d& B5 q, X6 Q- I4 v' c
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
3 t, R; Y) P" a- y) J$ O( Z. R" F5 o v) Q7 {) ]
3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
4 k0 R4 B3 F; p 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看. t& n+ H0 H3 x* [9 e
$ U2 Z- _$ `) [7 Z# a0 b0 @
4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的5 L" f7 \7 x: {. O5 D% F# `
9 D: T3 q$ H. b, i$ N! V7 j5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc . }1 @8 s5 X" s8 v# |5 w8 ^
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失* y- j3 c, C) D% g( G7 F" @5 l4 c
X5 m/ A7 m( C1 B
這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.9 m3 N5 U& w& ^& q1 t* K
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YHCHANG |
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