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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
! H, Y: Z P8 q, M- B* c' e
2 d: J _+ U( A9 Z# o% y5 [Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
0 e; [% ~+ ^ l# B/ P2 ^因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
6 _7 @ w& }9 ]1 a所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
6 \. }. }$ x3 j( y我認知的步驟如下:3 y% H5 ]& O, W- n
: o8 w9 a7 y; n1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少! @% g6 Z- s% k9 ~
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
: B: Q8 |2 a% \9 W; r
1 ]) @& u& L! ]$ Y0 _7 C K2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)8 U+ }5 Y3 \ g; }" c8 @6 I
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch/ W |0 X0 ?: S
如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
# m# s: |) m) E! ]/ J8 V! Q 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
5 M( R. R- {- B2 a5 I. V 在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
' X! k2 c# P. D- d( L$ C6 R% s wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
& U' D9 L) B0 j1 u, ~
& J1 y1 n0 N& K3 U) t' [3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
3 Q4 g- T) K, `( z9 z1 F* ^ 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看
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4 A5 n d& t+ \; G' z5 U) g4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的& I. G9 }6 ~4 Y, w- [
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5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
5 D! x, L$ K" Z- V 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失' X8 x% D" e+ H5 A# W
& ]- P9 R) u2 r U8 N5 V0 Q+ S6 @. d
這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
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