|
這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
% K5 B3 w' j, |, t3 E; k
# ~/ S/ N0 e9 [* ]2 JJob View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
) z8 H* S+ Q* q- f. n, G因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
2 ~' T* E8 w8 T; O- ?- X( X所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK$ o- r/ r& t" [+ A U8 v
我認知的步驟如下:6 ?5 \* D6 x' H* {
3 x4 N0 J @$ a
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
% ]7 ?7 K/ y7 M! g 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
9 ^2 e( T9 l$ B/ Y$ X, D( ~8 r+ @$ }
2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)
( Q1 e8 `( q- ?8 m- ]1 }9 m+ c: l( K 如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
$ X" A+ J% @# s3 w 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量& c: \% z$ i4 w# t
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
/ b! X/ e) c1 W( k- F4 _ ^2 ^ 在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的8 g* o" K. U& Y7 g: ?
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
' B9 `, c- f( W2 d8 p: V
' q. W3 y1 Q( E/ V. Q# o3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift+ o' u9 v, y# K' j' ^
把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看1 | x# ?1 w" o0 e: Y% l
1 V" W6 q) j7 B% i W
4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的7 d' Y" _# t) I8 U
4 k( }* e& p: c4 Q4 v5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc " i) c$ J5 Z: N( W7 X1 ?' u
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
% X' s- b, }5 e% c6 Y2 m/ P$ D0 }
. k: ^4 X' C3 g7 J9 N這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
0 S# S" I$ r( z- {, \$ z- i7 g* z+ Z* t5 e, R6 A ]9 G
YHCHANG |
|