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LAYOUT JDV 注意事項

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1#
發表於 2008-4-3 09:14:53 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
越高階的製程,MASK BOOLEAN OPEARTION 越多- k- w9 v% Q( ?* [5 ]% b
在這裡想要請問大家如何進行 LAYOUT MASK JDV
* X- }7 a2 F/ v  Q! E. I; n是不是可以分享一下作法給我參考呢?% |' `  ?; P  z6 n

& K& s' Y, s0 a- j當我遇到這些mask,我採用的方法是, 了解每個BOOLEAN OPEARION 的步驟及結果...再仔細的反覆檢查
- K  |; S8 E( K  i只是這樣的作法讓我花費很多時間在反覆檢查
8 r, n, v+ ?0 k7 L: D# Z還在尋找正確又不耗時的工作方法...
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推薦
發表於 2008-4-8 00:43:08 | 只看該作者
這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:/ @3 o- N2 N4 t  m
: m6 j% H0 {6 `0 p) t
Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的& m; O' h* W% h# `" g( G$ s
因為不可能整顆IC 每個 Pitch  width  spacing 都CHECK
" s- F; D$ S( z' x9 C3 ~所以只能用  隨機取樣的方式  做 CHECK! O0 J& ~- M7 _- \' p/ g' f) f
我認知的步驟如下:4 l4 d) B4 f$ V0 P- K
- S' j3 p: @4 n# V3 _) n
1.  Check  Version  Code  要確定  這層光罩  全部LAYER的 Version code都有出現,  如果有缺少7 a; Z, v# _' j6 N2 o+ \
     就要跟FAB廠 comfirm  看看是不是本來就沒有放.! C! s$ R& |. X% T' ]0 b  n3 g* q
0 X8 h3 ~, J/ ~, ^
2.  找一個 這層光罩  每個LAYER都有出現的地方  (為了便利性)# S$ C. [4 f9 i* k; {7 H
     如果這是個 OPC LAYER 就要找  環境類似或重複性很高的地方去量  X-axis 與 Y-axis的 Pitch
4 G4 j5 ~- j% Q6 n2 J     如果不是OPC LAYOUT  就只要找  X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
, Z  l; t% A6 Z# v" S, h     選擇的 樣本數   越多  自然自己就會越心安   JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)4 _$ k5 x- I9 f. u+ S. k, H/ u3 O
    在這邊要特別注意,  如果這層光罩  有  L1+L2+L3+L4    你要盡量去量   Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
5 n: c2 Z. O2 T- R3 h. H+ k6 P    wdith, spacing 或 Pitch  才能夠順便CHECK   光罩有沒有在做OR運算的時候出錯! O1 l3 {. B' e% b0 o' v$ f

' B1 n2 Q, N, {* ^5 w, k3.   最後要確定 光罩有沒有  Shift& l. T1 E4 i8 Y% q; w
      把之前VIEW過的 光罩拿出來疊   看看  width,spacing ,pitch有沒有跑掉,  X軸與Y軸都要看
1 r( f: V+ L1 w: y
1 U0 K! M& S9 s# t4.   如果是改版的話,   就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
/ I& m. f) z7 Z; i6 ^' t2 E1 F( W3 B1 _& x
5.   如果這層光罩  有很多不同類型的地方,  比如  ESD   IO Interface,  PAD,  Array, ....etc  / ]% ?0 R+ |! f4 P4 B
      為了保險起見   最好每個地方都重複  2-3的步驟   以確保萬無一失
1 K' x' K' m6 `' _3 _" D8 R
9 Y; q' X& K) }; y這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方  也請其他好心的大大補充.! ?0 V. I( u. ?* a* f
; |; G; ?8 p5 [
                                                                                                                                YHCHANG
2#
發表於 2008-4-3 11:38:15 | 只看該作者
您好:  \+ s. R8 W. ]* J
   關於JDV(JOB DESK VIEW),小弟從事LAYOUT一年多以來,JDV一直都是簡單帶過耶 5 J  f  p& T! ], B
基本上都是先確定CHIP的四個角有沒有SHIFT,如果沒有就在任意的挑幾個地方
/ D# h) C% S  W# q/ @看一下SIZE有沒有問題,就OK了 不過可能是公司制度跟自我要求吧....+ ~1 `( |: T- P0 l7 l( w! [8 g$ B. W
所以以上是我個人的經驗,實際的情況還是要依您公司為主,參考用
2 a  q) ?" a, E9 \& B1 |6 o( t% N
( C9 S3 a' D0 v" m% q' h[ 本帖最後由 crystal_blue 於 2008-4-3 11:51 AM 編輯 ]
3#
發表於 2008-4-3 14:55:44 | 只看該作者
我的看法是耗費大量時間檢查是必須的,因為辛苦這麼久,花費個幾個小時到半天做JDV,如果能檢查出一個錯誤,那就值得了 .
3 {2 b' p. }3 `) t0 }6 y6 h9 o; T我曾經就在JDV步驟發現錯誤,而停止TAPEOUT動作 ,我那時只想,真是好險~~~~~
9 C  N" L! v' t2 J& K' `. i' tMASK的布林跟MASK之間有沒有偏移這是一定要看的.我還會看有沒有SEALRING及切割道上有沒有異常,每一層LAYER一個一個打開看看整個晶片有無異常,畢竟作光罩要好多錢~~~~謹慎一點是必須的.
4#
發表於 2008-4-7 23:24:16 | 只看該作者
非常感謝大大的分享4 N" p& w( t6 ]/ N$ {' V
非常感謝大大的分享6 ~: d; U' P& k' a0 N
非常感謝大大的分享
6#
發表於 2008-5-29 15:38:50 | 只看該作者
謝謝各位前輩的經驗分享
3 \# z0 I8 O) ^9 _1 G. `job view真的是要細心的去作的
7#
發表於 2008-5-31 14:17:39 | 只看該作者
寫的蠻詳細的,現在在代工廠,雖然還沒有實際做過JDV,但看到一些較資深的工程師,在檢查時都蠻小心的,現在先注意檢查的技巧,希望以後有碰到時能得心應手點
8#
發表於 2024-3-31 17:41:33 | 只看該作者
成年人需要舒壓瀨5280366和TG是nini9595" M" m( }2 o4 q$ m! i
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