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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
* A& c) ~$ h, B1 m1 Y* C/ M
7 |5 F; |3 R. D1 k/ r3 MJob View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
8 o+ D% h- x- V' o( I. k0 d5 c y因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
% v/ q/ J6 L; P" G+ F6 |2 c# @所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
2 H" Y3 X: U. T我認知的步驟如下:4 P/ B6 z$ Y1 `+ G
+ L# R$ A/ P: U% V( ?
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
7 b+ n0 y8 h2 l) I$ k4 s 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.$ b& y6 S3 Z/ n$ Z" Q3 j: N5 s$ W
?7 n# l8 L% h' i9 H
2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)* {: k+ F5 a$ E' x) k- D8 K" i
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
$ t! O+ V& r0 L: j 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量9 N( C) a: E$ S8 i; b
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
" v6 } g6 t" W( B 在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
5 B7 z& B, P! E6 ?# I5 n" y y wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
( K6 X$ T5 h! s0 h* r. v6 `
6 J0 r6 `3 n; C, i# e3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
$ p0 x: f. Y- e. f- I1 x 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看
: p' T8 r0 L5 ^$ D8 q1 B
0 h8 @. ^9 L$ l4 w7 g( Z$ k V4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的# x& Z+ |5 f$ O7 ]1 B2 o3 x; a
* J" v6 B' w% G5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
1 F4 L$ s2 v1 q8 w; s 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
9 L. d$ [9 W4 b0 N( f
2 `3 E0 a: _! o# g* n f1 ~* c4 F這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
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YHCHANG |
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