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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:2 B' t/ M/ M- x$ h
7 X, u* b O4 q! b! ~% bJob View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的; j6 x* X" e7 i' ?' m
因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK: ]0 R# E4 [/ t5 I4 _
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
# c& k6 @, H1 X我認知的步驟如下:2 d1 ~, v3 K) {8 V
& F/ P" r" p$ M2 Q- S8 N q3 z
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少# I: x8 }& P2 l7 J4 |! P8 N
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.; p* P- {7 [+ P
# M8 v7 B4 H" V4 F# K7 _8 `
2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)
, E; s5 x# u3 X: [) z9 p9 t 如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
8 F; `6 t0 s# {% W 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
0 A8 E! O. x3 C3 Z, M1 o 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)2 E: ?4 X H. H1 X1 [
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的1 I1 s9 Z5 M7 u/ n; U
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
6 f9 Y' E; Z% S
$ `2 {% @4 f6 q- Q _% }: Y3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
* q1 `+ z2 P. n5 {; S 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看
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4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的- ~/ [* w8 t, V/ Q& ^
5 I3 a! o+ a. T" [9 J+ @5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
. ]# S6 o, o% c0 {2 G) G! r 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
. t$ ?% E) F& Y2 L) Z/ Q6 A2 g# ~7 O
這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.8 \" k* d' H9 C- k8 l+ e! N
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YHCHANG |
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