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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:3 j$ B- a3 }( O8 N/ V1 g7 v
1 o0 Q3 _- J# t# `, C8 e
Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
; T t" h) J" [+ q! Y- K因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK e- U# [* j8 M+ s' n- h, ]
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
8 }4 K( j, n3 _3 J: S7 {8 Q1 ]我認知的步驟如下:
# ]* r$ O# e* g, M, F4 i8 w( e/ a4 n& z0 i0 Y
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少& _, `8 j( P; K8 s! g7 _
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
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+ E" |: l% e. ?+ E2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)' L; N2 n$ Z7 l
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch# R- e2 q7 i* Y3 O6 x2 H, v
如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量. \* M( |0 F0 e+ F
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多), \0 a J6 ~9 A5 w% e5 `
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
( n9 V7 z3 `- b9 X# t( d- |: X wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
1 W$ ~4 p$ {# i" U; e9 d( o4 U& v% `+ W; q
3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift" c2 P( }! c5 e* m0 a+ v# @4 h
把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看
& A0 h' S' u3 V b5 \. e0 p7 V. N8 g) T7 w* v
4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
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5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
|2 \2 h! |8 K H 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失3 P H) N* ?" O9 s2 m9 _
. }/ N4 F _8 j! ^ c這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.2 s0 O3 _8 k4 R
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