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(20141125 13:56:00)日本小山市--(美國商業資訊)--微影光源設備的主要製造商Gigaphoton Inc.今日宣布,為其高輸出的旗艦GT系列ArF浸潤式雷射器產品的現有使用者提供一項新功能,該功能稱為「eTGM (環保型全面氣體管理)」,現有用戶在一定時間(*1)內可免費使用。
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* W% R7 `$ M9 e1 s4 C- P目前用於尖端半導體製造的ArF浸潤式雷射器利用氖氣、氟氣和氬氣的混合氣體作為雷射氣體,其中氖氣占雷射混合氣體的96%以上。因此,操作ArF浸潤式雷射器需要消耗大量氖氣。然而,除最近氖氣供應量減少之外,烏克蘭(主要的氖氣生產大國之一)的政治不確定性以及今年9月奧德薩州發生的水災目前限制了這一稀有氣體的供應,從而導致其價格上漲。(*2)這對氖氣主要使用者——全球半導體產業可能會是一個嚴峻挑戰。 ) }& [" V0 J( M8 ]0 t, |5 r
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為了支援半導體元件穩定的大量生產(HVM),Gigaphoton決定提供其eTGM功能,該功能可使氖氣消耗量減少高達50%,公司的ArF浸潤式雷射器用戶可免費使用該功能,直至氖氣供應再次恢復常規水準。根據Gigaphoton公司的EcoPhoton™計畫,eTGM功能是一項Gigaphoton研發的新技術,該技術可大幅減少氖氣消耗量。該功能密切監測雷射器運作狀態,從而最佳化雷射氣體的注入量和排出量。透過將eTGM功能整合至雷射器中,可在不降低雷射器效能的情況下將氖氣消耗量減少一半。 / ?1 f$ E! I" L1 n: k( ?
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eTGM功能是Gigaphoton公司ArF浸潤式雷射器的選用功能,可以整合到已經實地運作的雷射器中。在推出eTGM功能的同時,還提供一項新的「綠色監測」功能作為雷射器葉片的升級。該升級使用戶可以在生產環境中即時監測雷射氣體的消耗量。 2 b4 E! h, G' j! |% O A
4 V7 p4 T$ c" G V) _5 [Gigaphoton總裁兼執行長Hitoshi Tomaru 評論指出:「為了支援半導體元件的穩定量產,作為主要的雷射器供應商,公司決定免費提供eTGM功能,以確保可靠的生產環境。我們致力於繼續促進本公司的EcoPhoton™計畫,為半導體產業的環保事業做出進一步的貢獻 。」 |
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