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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
0 P* |2 ^( H  z4 j畫的 每間蓋的layer 也不一樣" F1 F8 w# A( J4 j* `
廠建好的 製程try過比較沒問題
- P3 }5 `4 v4 B$ d- t/ C
' y: h- a# l, A/ E) @1 i自己寫一個spice  model  容值抓抓看
" M, ^, t0 A* Y8 i$ l
: W: E3 _+ G0 S2 z+ ~MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,0 M; \! M2 y( K2 F- ?: ]' g/ j* Y  ^- u
可能任何工艺都有这个cap, ; ^3 k3 W% j# F: M2 G# l4 O
3 W! R  l* Q$ r' K6 P3 t
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
! J% s& e1 X+ ]* s由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,+ a/ }) t& T4 e/ {# c
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
, ^! d# |; t' d1 L" X6 v& H; W
9 J6 c7 Y; k3 R& \" \2 P  y0 R6 d# ?7 w* X# h% {
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,5 _- R; q' N  J. R" U
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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