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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用1 m( q8 i5 C& }1 M) y& D* T4 k
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
0 e' k# |2 Y/ Z) q/ x廠建好的 製程try過比較沒問題
& E/ h; I8 f3 F9 }' d9 G7 I9 G- F+ x4 B1 W* H4 o. P
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
; R! C# k, Q1 C$ A( H; i4 S5 x1 r8 g* g4 x
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,& A: V* R6 {6 }, s  y0 M; l
可能任何工艺都有这个cap,
" M4 E2 B! r/ D: w, z* y9 H  Y% c
0 j: j6 E: |& X) Y! N' ~MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,% P, F" L* {8 f0 c" g6 r
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
7 j. F9 p/ E* H4 s* H* Z3 _) pMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
4 m8 n; i& }' b; l# G+ s
# @$ i4 O# Q6 I
, c/ m# E5 t  r8 B, V2 ?# U    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
$ h) t: Y. _3 F% z+ ^) _    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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