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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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推薦
發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
5 g) `$ z* b9 m6 F$ ~+ n5 e1 N8 W: P2 X畫的 每間蓋的layer 也不一樣
1 o5 o5 f0 r! E9 ^, [4 l6 b廠建好的 製程try過比較沒問題
* @0 o* j6 L0 w
7 m6 g. W- u' l8 ]- W3 _7 P自己寫一個spice  model  容值抓抓看
* p- X2 f) P& v
' f9 V5 ~( v4 ]' hMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
! _, n4 ~! V- x3 N$ y可能任何工艺都有这个cap,
1 X: S8 R& P: Z3 y% Q! k4 d  }1 i
" j# T$ d- ^' e: {# K$ X* Y6 CMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,: g* `; w* u: W  n; [! L% T
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
6 N5 {' Y, D' I1 B. S4 wMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 2 R5 d0 [# ?6 i% k7 B. M- W
& \3 p8 \7 U2 s; X# I0 v

2 W  ^3 L8 O9 u7 g( m    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,; u6 T! J- V+ ~0 S$ ~7 r
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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