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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用/ Q' o6 m, F- k& r
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
7 n! U3 a" ], R+ D) h廠建好的 製程try過比較沒問題4 G& @, y. J) S+ ^3 U# H
9 {" O. e% |4 i( O, h2 Z7 E
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
* ~% C- Z, a: F. [* z4 |% z- S( ^$ Q% Z* D; h; a" Z* _6 ^# k
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
' M, F- p6 v2 P. M& f* O可能任何工艺都有这个cap, . |5 X; o% S3 h% e) U* ~

7 a2 h) S1 m: S5 i$ lMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
. N; r& C  X% m+ z5 U由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,$ o5 b/ g# V+ k2 R; \
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 * v$ z: H9 g7 b1 |( w7 ]" o4 T
; r) t% j; s: S' _9 a6 R3 p( ^* ~
6 e$ {2 L' g; Y9 O: |- e8 ]3 {
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
8 @- }* T3 n9 @% G    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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