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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
7 E& ?+ p& t( }: j畫的 每間蓋的layer 也不一樣
  W) i  ]# w) {/ E廠建好的 製程try過比較沒問題4 Q1 g/ m  G% K# q4 L9 g& ~" U! U
5 `& _6 n% ^+ [1 l. p1 N/ B3 c
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
& z3 U8 D& E- h& U; I( C/ @; W6 f9 q) B( ?+ ]- k# t
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,, L3 Q* }/ V( \( g3 |# H: D+ A' x# q
可能任何工艺都有这个cap, 8 a5 ]- r8 m" S: V0 {
. o; _2 Y" w# L6 v
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
+ I( S( U0 u; _3 m: n由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
+ _- D. X4 ]: C0 |MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 6 D, m  z! o* Y* D1 Q
) J3 o! e! M1 ]

' ^3 q  F+ w( z4 N: C% k* P7 E* o    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,5 O, U7 A9 u, O. l* R
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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