Chip123 科技應用創新平台

 找回密碼
 申請會員

QQ登錄

只需一步,快速開始

Login

用FB帳號登入

搜索
1 2 3 4
查看: 16113|回復: 2
打印 上一主題 下一主題

[問題求助] MOM電容佈法

  [複製鏈接]
跳轉到指定樓層
1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
分享到:  QQ好友和群QQ好友和群 QQ空間QQ空間 騰訊微博騰訊微博 騰訊朋友騰訊朋友
收藏收藏 分享分享 頂13 踩 分享分享
推薦
發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用, y8 x! H9 e7 w! u8 W. V
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
, ]% ~. f& P* V7 o5 n$ O" D廠建好的 製程try過比較沒問題5 B- _9 u3 W2 @5 G$ Z
+ V. F0 p" x% B2 A% [- X
自己寫一個spice  model  容值抓抓看' P  h# x! f" k# a; [

- `5 M; l. M& FMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
. [* L" A# w0 Z! @" ?' G! ?/ l可能任何工艺都有这个cap, 6 g  B) m2 O5 Z+ f% B  O9 k- C

9 W1 Z# o* ~3 M6 C  l( wMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,- k6 \2 b( B: _6 z- ]
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
7 l& D% ]- m3 R3 r4 u& yMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
回復 支持 1 反對 0

使用道具 舉報

2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
$ ]0 F( x7 {( {* f6 b+ M6 G/ C
7 C7 s# T! W; D" s$ _, J5 x( e& b+ G  o! E3 t
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,0 R" U- k3 ~& Q" B
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
您需要登錄後才可以回帖 登錄 | 申請會員

本版積分規則

首頁|手機版|Chip123 科技應用創新平台 |新契機國際商機整合股份有限公司

GMT+8, 2024-12-7 12:11 PM , Processed in 0.155009 second(s), 20 queries .

Powered by Discuz! X3.2

© 2001-2013 Comsenz Inc.

快速回復 返回頂部 返回列表