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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用) t. U- H* Z1 O- Q
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
- l5 S! |$ _* y; z$ ~廠建好的 製程try過比較沒問題
9 k  ]8 X( N  ^: z) r+ n
2 [, W5 o. X: t( h  v6 I自己寫一個spice  model  容值抓抓看  m! r' F( t1 `7 f6 A/ E

5 r. N4 S8 k4 C6 RMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,0 z, Z) ~! `+ w6 O. ]
可能任何工艺都有这个cap,   @4 b( {3 ~1 A% U5 \
3 W9 M$ _' f  p; {: N) C1 A9 _
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,0 j. u) L+ k- A" ^+ d
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
' A7 X+ o0 i1 U' z. c8 P& RMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 2 z/ w. y- ~- ~
6 i' W) F9 |' m5 i. o

* S1 M: k1 E9 Z% p3 X    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
, o5 z* i1 i1 O- y, M8 k    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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