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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
9 u6 P0 M, c- W* A6 I* ^畫的 每間蓋的layer 也不一樣/ ^( N( L) o! V9 |2 @4 N. R! f2 X
廠建好的 製程try過比較沒問題/ O1 \+ G/ z, P0 t, Y
: h+ t/ ]- L+ m, Q
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
$ v+ d' D7 f2 A1 P
5 r; o' G; K' k( f: ]0 @. p; |MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
+ M* t4 A5 Q" C/ U% z5 @8 @可能任何工艺都有这个cap, ( F5 o' X7 T" m' ~! E
8 R" G  X2 g* r' Q
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
/ B* J7 {3 g7 g* v. K  ?由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
* _  _2 {. ?8 O0 C; _MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 2 U) W0 v4 Y; D/ E
, h4 b6 ?' T" L- `' f
5 i7 P' P- ?* \$ z8 `1 N
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,* Y/ z! X% w$ X) M$ Q* G
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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