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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
! \5 p" C- p7 z# i6 M' \, y) }畫的 每間蓋的layer 也不一樣
7 o$ {& h. s9 w0 j6 Y" l/ ^廠建好的 製程try過比較沒問題
- ]  U! b2 [9 }$ _/ j$ d
! P7 S( F* E$ m* i; q自己寫一個spice  model  容值抓抓看
+ `# ^$ ]9 X2 s3 }: y# J4 L1 ^7 V
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
% i' W( @( C/ q$ [可能任何工艺都有这个cap, 8 T4 ]) ^) u: `) O; i! U

, _7 n5 ^8 |0 d8 D* bMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,( _& N$ x0 G" M, k+ N. j1 S* x2 z
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,. j! l' m: O6 B5 ?; x
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
5 \3 O( U5 B2 l6 x- `8 a+ G6 i  Z  h7 N6 v
5 A: J7 Y: `' W0 ^" L4 k
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,) `1 \+ P6 Q& X0 c- T9 P: x
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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