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有 froundy kit 就用
% P) a. d0 h) _( N- O: W畫的 每間蓋的layer 也不一樣# w( ^; m, H2 J' W9 \
廠建好的 製程try過比較沒問題
3 p$ o% C: |+ g, p; l/ G) a! o0 [1 c& g3 ?9 G3 o o$ s
自己寫一個spice model 容值抓抓看8 x& ?- W, n$ ?
& P' h7 Y8 f0 V5 f DMOM 是tsmc的说法: metal oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
' N& h: y: A6 Z5 B' ]3 P5 D; K, }. A可能任何工艺都有这个cap, 2 Q; }5 ] a& ^: h( @' O& m5 x
! b E5 F L/ A4 kMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap," R$ b# v; z7 @. m
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成, logic工艺是不提供的,/ o v; U1 q, F5 m4 K# \3 ~
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍 |
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