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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
9 B! b9 D: [7 b2 r0 Q+ K3 T( u4 @畫的 每間蓋的layer 也不一樣; G9 g  C& q% `* Y
廠建好的 製程try過比較沒問題
7 [9 a1 j, j8 O
# Y0 D. a2 G' Z自己寫一個spice  model  容值抓抓看6 ?0 D6 z& V" f" ~) C$ _% r

9 I8 y. Z- ]# r8 P9 K! x  `9 dMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
1 d8 x) ]5 X" L2 ]/ q可能任何工艺都有这个cap,
4 g/ X$ m2 q/ J, j+ L9 Z6 b3 O& h8 s+ c% M: r. ~
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
8 R. C3 ?9 }- S3 H* J" K/ u由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,$ U$ ~+ e8 G; v9 m. A6 O4 u" ?
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 % }+ T- S! a; v

" R* n$ I1 `7 x  x  l0 q$ u9 m) e& I$ E) R( b
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
1 z' [6 ^8 ~3 s$ h* T0 U    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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