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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用; w+ I1 z2 K7 R: _. ~$ Z
畫的 每間蓋的layer 也不一樣6 z2 f. j5 h/ V, Z1 a3 Q
廠建好的 製程try過比較沒問題
' f0 q) L- r7 U7 l
5 H) @+ x8 Q+ @5 g" M自己寫一個spice  model  容值抓抓看
7 o  g% B, N% w9 e& u' Q
7 }8 H, {7 `0 @& i- uMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,, Z' p  [3 E! u4 [9 m  ^
可能任何工艺都有这个cap, 3 ~5 Z. E0 G' |9 p

# o4 n% V3 t5 s( `% L5 mMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,; F- B3 l+ F. t% [& S$ `
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
4 L) V3 p0 c7 O6 w* x; cMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 7 ]: r1 N1 `4 e/ y

. q6 M0 E# z* C6 s
1 H# v! ?. O8 y4 j( k6 u    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,; [" {( ?0 A% f. P' p
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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