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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用  q3 w1 L. \; B2 X  `2 C( ]
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
3 h5 F% [. e* C2 Z4 \6 o9 O廠建好的 製程try過比較沒問題
7 C& r9 M! i4 G) P: y5 R7 [
, V. T% E' H" }( ^0 N1 C自己寫一個spice  model  容值抓抓看
* a7 a% t, X9 z, W  }
; s& {2 q' F1 g2 _. k/ \MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
$ l  X% l5 C3 O; u7 Q& h) e可能任何工艺都有这个cap, ( c5 `! B7 X$ `2 U& K" t
+ ]4 x& v! e6 K) G5 f. e
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
) G1 P/ e- C5 C由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,# f1 X- U. H- n* f! Y) q* l
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
- S1 {- U: |0 ]0 y! L  K3 g- O, [

: R8 l5 ?4 x1 [& u) r    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
( V$ F# I+ R: q    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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