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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用5 t# Y7 [- B, `5 ]3 |1 L7 F
畫的 每間蓋的layer 也不一樣! \( G  v; u8 V7 Z$ \
廠建好的 製程try過比較沒問題+ Y. p2 B% |. w! [
4 R1 `1 I" ]9 x1 i6 P2 `4 a
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
6 {8 h% V9 Y' U( A( u! r! t
; O% d7 q" D, U0 E' f0 t  Z1 wMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
" N6 I5 j, b; K9 S9 Z0 e可能任何工艺都有这个cap, 2 @6 I' H( l6 k; f1 w5 z
9 \9 }/ W: v7 M; w9 W% b6 D; c
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
( s/ e% E$ u2 L8 o8 w, c% k; e由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,$ n: E. w+ _$ t, }. N
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
. v: U  ^7 W) |: C  ]+ X& G8 S( B- e" e5 {' h$ [

  E" w4 t0 U, J6 Q, L    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,2 d) ^6 s6 e5 T$ x; }
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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