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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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推薦
發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
3 P/ x: q# k. E/ b: K* p4 K畫的 每間蓋的layer 也不一樣
1 t3 ]8 g" F6 f" I廠建好的 製程try過比較沒問題
% N7 v* j3 S2 U5 Q$ @. T# n! R' o& U. W3 Z
自己寫一個spice  model  容值抓抓看! E0 ]: r0 B6 ~  U  @# B2 ?

4 T5 V' V+ A+ V8 R. V6 kMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
, P0 P6 g  |2 n. l可能任何工艺都有这个cap, ; j% x6 v3 h* B2 s( {
- m# J5 S' a. @( N& q' J2 o1 g0 o5 i
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,1 _' [* [4 f4 A" m# N
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,+ a  e5 b( g. I4 W: h* C
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
' G* N  `- @  b) z  [4 Y
" c& D/ {( x8 Q, I1 `6 e$ c6 ]& K+ ]' a, J3 e7 S  y
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
1 {+ v+ G/ S2 r5 {  n# S, y    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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