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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
; K& n; A6 M$ ?! ?畫的 每間蓋的layer 也不一樣
4 C7 Z+ @" p) \" u" k# u廠建好的 製程try過比較沒問題
* |( m. e; S( o" w* O+ P* K* X8 m+ _0 |+ u% J5 d) E
自己寫一個spice  model  容值抓抓看5 a2 ~& }& F9 E- j0 D; l7 w. U

9 b$ {8 H- J+ N" }MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,( D4 l1 n2 f( a$ ^
可能任何工艺都有这个cap,   ~& P7 w4 T7 W' {! W+ \& y

5 [* G3 u( [) T8 eMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap," o8 r+ g/ D, A- Y/ [
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,9 y" F2 p8 w7 f" l
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 ; K; V6 r- G! K

# z5 X. F" {- H* |! V6 h' S# W% c. m: h/ O- _4 V, d. P
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,3 E7 Y9 O7 `3 E
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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