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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
( A; f5 C. e; H7 [, M2 t5 }畫的 每間蓋的layer 也不一樣
( G3 c8 U5 H' r6 L廠建好的 製程try過比較沒問題
2 W9 g  V  D8 u7 C9 l! m: U4 J
9 O- k4 w; R0 `0 X: [. R( L自己寫一個spice  model  容值抓抓看2 G' L9 S$ \# A

6 ?* m0 u6 N6 _/ y0 Q9 ]1 i8 wMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,: B- {2 i' u3 N
可能任何工艺都有这个cap,
) g4 w6 E* C* e6 ~5 O% ]% X' m. [! b
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,  K8 U9 Y2 P6 t! E/ G- X+ r
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,: x7 Y( `3 w3 i% y. s+ u, T3 Z
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
  S  @" a7 l8 l3 Q! Q! V
4 }( i% b) t9 W" P3 l1 W
& ]7 _5 K, y+ l( D- u    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
6 H, Y0 |; ]4 ~1 s+ V: ?7 W    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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