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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用; i  p0 v1 c" F
畫的 每間蓋的layer 也不一樣3 Q1 c. _8 A8 M  Z/ {" s# B7 T  @4 u
廠建好的 製程try過比較沒問題
3 d& I; ?5 P/ X' g0 I
- @" G9 R0 @5 `  S: n9 ^自己寫一個spice  model  容值抓抓看
  V1 G' I" l2 ?4 @; r
- z# [$ m2 Y' Y7 D% y# FMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
( v4 ]! y* L- {- {  N% M8 A可能任何工艺都有这个cap, ( Y: U: j, [8 o! Q7 w/ I+ R. F
& M/ o" P& W: J, i' H9 g
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
6 q7 Z4 |$ p- F) r由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
8 K  }) w8 N- ?7 ]  a) I  jMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 # S! F; [8 b! ]* B* s2 ^

9 w. v, {" Q4 G$ y- i6 y
2 Q; v6 T+ c* |& X, y4 ]. D0 [    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,( d4 D* I3 z/ B" h/ ~: M
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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