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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用1 x. n% M* T- e& u& d' O' z- y5 h
畫的 每間蓋的layer 也不一樣4 `: H8 ^- X; r3 A9 `; J) X
廠建好的 製程try過比較沒問題& }. d: Q! N6 e8 J  \6 X
* c6 X5 \& |( P9 |& E
自己寫一個spice  model  容值抓抓看# [6 Z5 G" y5 m! u- M

  _6 ]) l& y# F4 zMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
4 Z+ a9 w+ N$ q% d3 j可能任何工艺都有这个cap,
0 Y: \3 S7 q+ z4 Q
9 v  H% M4 ^0 j. @MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,1 i' c1 t; J# e' J
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,; q0 Z. V4 ]; G8 Q" F: |7 B5 X
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 3 v* b' }: a4 Z5 G* b6 {
$ A0 @8 R: [) v) R
5 E! P" K4 |# c8 v+ k% y% D, I
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
0 `/ q9 R- d2 A$ S6 B; u    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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