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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用+ \6 G% V" Z0 v: F7 Q4 P* c& J
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
1 r! t: I  O2 \廠建好的 製程try過比較沒問題
  ~0 U% s9 y  f' Z9 B, q" c# `7 P6 |+ |5 t* a' }2 \3 y# v4 |6 s
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
4 {7 n: I( n0 M& e/ E5 A- ~5 a% w9 Q
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,6 G& P& C0 a& l: L% |5 K6 d
可能任何工艺都有这个cap,
% |4 Y  Z2 |( |" \! d. d0 f: \6 v/ ]3 D0 e3 F
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,! S. z3 T5 q( ^. ?
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,' B8 ?& l/ o) O, R- g  `
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
8 \1 |' v" q, c- a, l& p/ s+ R; ]) @! z

$ k2 U. i+ x0 H5 |9 r% X    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,3 U& [: Z7 q6 ?  [2 h1 c& R$ ]
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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