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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用1 L8 }- N  B% N
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
! W/ a8 F. y. m廠建好的 製程try過比較沒問題
: i, F& W& x) U* S  q/ Z4 D' H# m
- b* L" q7 W* B+ g9 _1 w9 h2 {自己寫一個spice  model  容值抓抓看2 _0 Z' m. Z$ m( n
4 V/ P8 S; o0 ]! r& M/ h# v
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,  y) A- b2 C& t7 k
可能任何工艺都有这个cap, - R2 `& V; O, F5 \9 f

6 c4 g2 ^  V. v, S3 {; BMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
# s+ X8 ^& B+ x: n- H0 O. r6 j由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
$ U& L5 [$ G% M8 E9 l5 _MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 . S& ]& W8 O6 p, Z" \
+ H8 c4 u) G/ G( f6 U. [

5 n1 F* O! U8 H8 |+ L' P( s6 ]    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,: H. Q/ g, S1 |  l0 o
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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