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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用2 N- z% q  w2 \- g7 G9 `
畫的 每間蓋的layer 也不一樣9 _. G0 ^+ W/ P6 P+ _2 u
廠建好的 製程try過比較沒問題4 T( I1 Z+ {& i1 G: j
. m. W- n5 d2 s) |
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
( i' x6 a; _, }; W
6 Z8 i5 T; I# J; dMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
& V4 L1 G9 V/ L9 f  L3 E; E可能任何工艺都有这个cap, , p+ O' l7 ]! R: ~8 C, w$ z

, Z1 g% v  Y/ q0 c& D- V( cMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
0 l  m( d* @9 M4 m: c' X# ]0 g8 g由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
0 k1 c, d' n  @: p/ T* ]MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 $ K! c$ ~3 @4 R. A" e5 C; d
7 F/ }: p* A* d5 d* w, o3 `
; F. b5 h+ T6 A+ t
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
! A$ o- S- [/ h0 K2 R5 L" A    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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