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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用) J" S5 ^! O5 v# _" b) w9 K
畫的 每間蓋的layer 也不一樣$ E/ c0 n+ y# R9 v
廠建好的 製程try過比較沒問題
& T' Q+ o4 S4 [- X' _6 _  b, i# G, U1 K- E! W  \" J
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
: x  r! n0 ~1 p4 a6 S
4 A7 s( a. P6 ^, iMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
- k2 t5 l" _4 C% |1 H7 `# r可能任何工艺都有这个cap,
1 h$ X" E; u  O+ O, }9 |$ ]3 D
$ Q4 t; f* ?( NMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
& t. ~, Q: M$ c由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
1 y+ H2 Y5 u8 B; NMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
7 H0 W6 ?8 R1 e0 g
" w' N4 A7 y6 E
& w. o# c2 {& f7 G    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
+ ^: D% |% p4 \; u6 J9 Q    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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