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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
, a) m( L! s8 v7 g: H: f畫的 每間蓋的layer 也不一樣
! {  a3 [$ P) H; ~) x, T. T廠建好的 製程try過比較沒問題# z& k) N+ m' t. \8 J$ a( H8 D
  g: v! r! D5 u% p
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
4 c) g% P* s4 l1 u$ H+ @0 s( Q% P  j8 V) C' v
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,* x1 ]0 d; W9 S* }* j8 i* s* F
可能任何工艺都有这个cap, 9 F) I7 B0 ?* ]  S" i# f
9 x' J3 T) ?8 E; c# x* k. H
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
) ?3 I* i/ @9 O) p8 s5 u! ^  j由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
9 n) d( z, q9 ^/ Y; M5 l; uMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
# y4 I( k$ K( T9 @/ O/ B; n: A
% v' p9 A# t+ p- e! Y! y
9 z1 S* P8 x. W: H4 z# l8 H3 V- y    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,) d5 K% s$ q& D: n1 j/ k
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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