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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
: T1 C# c3 R# a畫的 每間蓋的layer 也不一樣# @; _4 U5 V" Q8 s6 O
廠建好的 製程try過比較沒問題
# G8 t5 {2 _% v0 g
, R7 C$ ^0 d9 I: W自己寫一個spice  model  容值抓抓看8 J$ W/ @# u( |) R$ G
1 R# B- {$ V; p
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
2 n5 V& K! k% ]可能任何工艺都有这个cap,
- F/ B0 k) v  P+ U" I
% s0 b8 N6 c2 M' l+ D. WMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,! E  A" Q* _! y* \) h
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
, T: |' T6 V$ f9 E+ _! LMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
" B/ [1 N- k" G! [! G/ E# F- Y
  E6 e- R! g( Q% n- b7 D: o' u0 M& u' V" v) v! o
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
2 n' K  L+ X" A9 {7 f    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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