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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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推薦
發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
9 S7 e, A, x. ~* C1 U畫的 每間蓋的layer 也不一樣8 f1 I# F: D8 S) u) ~- V& k: x, z
廠建好的 製程try過比較沒問題2 h  h- s- ~- A: G1 _. S

7 t3 C( u0 ?4 }. F- \. p6 \! u自己寫一個spice  model  容值抓抓看& Y" W& ^, O: U
. g* _5 D  O0 D( Z( C; V
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,4 d0 V- k1 u6 I8 Q
可能任何工艺都有这个cap,
3 W4 L1 {! k7 F: X+ E* g4 l5 y; ^5 ~7 A6 g' \$ Q5 Z
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,  b$ ?2 w& X5 h
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,8 }( O1 {7 y. s. x7 r; ?# W  O% E
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
5 @* G% d- \* q# D' M3 @' t7 m! j6 u  C+ J2 y2 D
+ X. J; b0 l3 ~5 t3 k' e
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
( \0 t4 a- ~* g% }* T' x4 H    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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