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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
# e9 s7 d) K5 i' A5 y& q畫的 每間蓋的layer 也不一樣
7 O2 k0 }# t* ^. I/ B- c廠建好的 製程try過比較沒問題
% h) B* O, h( h. b+ N; Z" n% t2 D
5 `4 @# B7 H" V" E  ~" o5 t  c3 r自己寫一個spice  model  容值抓抓看# U9 G+ u" I! P; z& N  k
; C( k" ]3 \: k" q5 W/ P% b
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,  J( C: X) t/ e% R
可能任何工艺都有这个cap, 5 v" ~) a' c! t0 V, F* ^( U

* Y% \: X$ s0 Q4 GMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,, e) n- o: D' r
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
; L" j1 t: p  d. k- u' a/ P0 KMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
6 N0 _- j9 Z: s, X& F- q9 j1 C; x# k' i9 G# d  M% \% P- R/ q7 N
! @% F  S; l( b+ `$ R9 m
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,( P7 Y- S6 i% U
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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