Chip123 科技應用創新平台

 找回密碼
 申請會員

QQ登錄

只需一步,快速開始

Login

用FB帳號登入

搜索
1 2 3 4
查看: 16327|回復: 2
打印 上一主題 下一主題

[問題求助] MOM電容佈法

  [複製鏈接]
跳轉到指定樓層
1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
分享到:  QQ好友和群QQ好友和群 QQ空間QQ空間 騰訊微博騰訊微博 騰訊朋友騰訊朋友
收藏收藏 分享分享 頂13 踩 分享分享
推薦
發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
! u& e! I& c" g& Z8 C  @- V$ Y畫的 每間蓋的layer 也不一樣: C4 Q: r8 `: a0 i9 q
廠建好的 製程try過比較沒問題+ [: ^- C9 }9 u. ?" P* B* R. t5 z
' ]; m; P4 A; l4 j7 [
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
. G$ }/ ~% _+ H+ b" K' _
( K2 ]0 s0 O1 m3 gMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,% m: Y7 N4 m. p8 I4 x% q" K
可能任何工艺都有这个cap, ( i- O3 F+ f" Z) |; o- `& ?9 ?/ O

, q, i, X0 t; O+ U2 r: X+ pMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
7 B5 j$ H. R2 ^4 a由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
4 n% i6 D/ N7 @9 _8 q# }8 ~" ~MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
回復 支持 1 反對 0

使用道具 舉報

2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
  N+ p( L! e( ~, L- L4 {
4 {% J% y6 c4 g: m0 e8 H5 R0 A! E$ I9 |5 P; [  P% @$ P
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,- `$ @3 y" C& P& M" w
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
您需要登錄後才可以回帖 登錄 | 申請會員

本版積分規則

首頁|手機版|Chip123 科技應用創新平台 |新契機國際商機整合股份有限公司

GMT+8, 2024-12-10 06:05 PM , Processed in 0.252014 second(s), 20 queries .

Powered by Discuz! X3.2

© 2001-2013 Comsenz Inc.

快速回復 返回頂部 返回列表