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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用2 A! N* a, D6 o0 d2 B; {9 k- E
畫的 每間蓋的layer 也不一樣6 `: R3 v6 Q7 O7 V
廠建好的 製程try過比較沒問題' Q4 X8 ~$ K: K2 f  C

& @& W) q2 ]. Q8 z自己寫一個spice  model  容值抓抓看, T  l( J) `* @. C4 s* Y8 l
; l+ x$ r0 `4 N3 a. M  w6 Q
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
/ U+ \' N, C1 ?* Q6 e1 b9 d可能任何工艺都有这个cap, ' w% }3 B- j9 E6 T
, p: v, o1 k! S
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,, U3 m" B( m& S6 S! [# J( _
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,( C! r0 k0 m, U5 Q" ~- Q
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 + A- y, v- r; Y: G- [4 O: c
/ Z1 e3 T; e3 s* X4 K. l  W, F

; b) {9 e$ @; u    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
1 e$ \6 A% B" }) d% [0 P2 z    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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