Chip123 科技應用創新平台

 找回密碼
 申請會員

QQ登錄

只需一步,快速開始

Login

用FB帳號登入

搜索
1 2 3 4
查看: 16318|回復: 2
打印 上一主題 下一主題

[問題求助] MOM電容佈法

  [複製鏈接]
跳轉到指定樓層
1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
分享到:  QQ好友和群QQ好友和群 QQ空間QQ空間 騰訊微博騰訊微博 騰訊朋友騰訊朋友
收藏收藏 分享分享 頂13 踩 分享分享
推薦
發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用% G1 f) Q: A5 h: x  g2 G/ j
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
9 ]7 \4 T( J0 F( t8 d) J( o廠建好的 製程try過比較沒問題- q- M2 \: s, x( K5 F6 r" c
2 u. [1 C5 ~# I; X; w
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
* q* q" F/ f, i( w! W2 `( U% m
! Q9 ?9 T1 J) tMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
, E: I9 g( R2 A+ I( x+ Z; P可能任何工艺都有这个cap,
0 A1 p! l: q, v) k" X7 N  E+ T8 e7 d: s( @- c
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
# Y2 P( u- I& H, }8 ?1 P& ~由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,2 I8 A# a7 V+ v4 n. f& K3 N7 r
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
回復 支持 1 反對 0

使用道具 舉報

2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 3 \, s- T9 W( x" _# U! J
0 h. E  d% G5 O' O1 @8 i6 ]" [* E5 B

* L$ b; U, N0 v; m0 J3 L2 t    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,4 _2 A& B8 ]- x
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
您需要登錄後才可以回帖 登錄 | 申請會員

本版積分規則

首頁|手機版|Chip123 科技應用創新平台 |新契機國際商機整合股份有限公司

GMT+8, 2024-12-10 12:21 PM , Processed in 0.163009 second(s), 20 queries .

Powered by Discuz! X3.2

© 2001-2013 Comsenz Inc.

快速回復 返回頂部 返回列表