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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用, ~& q7 |+ g& h9 A
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
5 ^0 ~1 q' {$ |# E( f  V/ P廠建好的 製程try過比較沒問題  A% q$ s  g+ b9 I
5 l3 S6 b+ ]+ ?5 M3 ~( u5 T& v, ~
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
3 }- A$ z  S% s" s& `) u* E! }1 C5 a' ]- G7 p# |
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
# p- O3 h( o5 `# y+ t可能任何工艺都有这个cap, ! a0 Z+ F" {. Q
2 o1 D- y: H$ j" @8 r9 G  O0 j
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
1 f6 A& c% w$ `. d; u* W由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的," w4 l% D# h" a" @9 U+ i
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
0 p, R/ j; e; ?/ C2 k( ?- q
9 X  W% L: T1 Q  c6 {
& K5 i1 C  m: \/ `& ^    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,: j7 U( E, i( f: L/ ?4 h% \
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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