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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用) ?4 B# \. G1 e% c
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
0 H. s: n* Q! y! x3 y7 ^廠建好的 製程try過比較沒問題* F5 ?- H6 ~3 Z( }
$ [: h  k! [5 `. ~. q4 B0 v
自己寫一個spice  model  容值抓抓看% \0 t' d# N* ]/ a, g- s( ~

, p. I! |* v6 R6 z5 `MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,8 d- E/ S+ k" P
可能任何工艺都有这个cap, 2 K2 l- O  [$ v  ~" C

( b+ k; F: D, E3 g6 E& P3 Z6 uMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,+ s9 D! W" m% t2 |3 R& p* Q! X
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
( V7 s9 x" Q8 w6 ?9 F  C3 y5 \MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
% j5 i% ?% k8 @+ G4 \" o+ d* j- D, T4 j/ N& [/ h: h

  i& [+ @+ w* Z    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,: R4 ~3 h1 |- {! p7 C
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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