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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
" Z" g% h8 t+ y7 [畫的 每間蓋的layer 也不一樣
3 c1 X: r& F( c( A) `3 t1 _# D廠建好的 製程try過比較沒問題1 i5 T& K. A  D

# |4 G7 d  k9 p0 p8 T$ Z自己寫一個spice  model  容值抓抓看& ?* u1 ?: _0 ?* g3 f- n

( |( l* b( \! X1 r$ bMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,- j% M0 f( z( F1 h( p. e
可能任何工艺都有这个cap,
2 ^, \' d; Q; o& q' p! @2 }. [5 {9 q0 m  N) m/ r; q7 ?$ O! u
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,& b* c; @% f; A# ]3 q2 y- N
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
+ D, o/ o/ q4 Q/ m! _MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614   U6 {& \' s8 p6 l5 Z8 u, \

& c* `  g/ R# q8 X* n
) T/ i( v& k6 a6 }5 L" R    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
. n6 g9 @1 I7 m/ W, T    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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