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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
, l4 [7 c1 m( W, T: s畫的 每間蓋的layer 也不一樣
; r' M6 e' q) I0 i廠建好的 製程try過比較沒問題
4 e1 v2 u- ^( v& ?. D
* u5 Q# E# p3 `: t* A) v+ [' z自己寫一個spice  model  容值抓抓看7 _, C" x! O1 b+ e  |- u

4 X8 ~5 x* o0 N6 G1 b; lMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,/ F. Y- Z) j( M( J
可能任何工艺都有这个cap, 2 \, Z9 `+ b3 R' O4 l, S3 x: @4 h

  E' b- d$ [* m" O6 bMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,9 Q4 E0 |! R% \! V8 o  a$ b( q
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,7 `0 w- S$ X" x4 R# l: D
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
# g( _% g2 c0 J8 M. G5 F0 d5 [8 m7 x# I2 t% [1 C4 _7 c/ U: R6 S; D

2 I* K$ Z0 u6 d4 M7 e0 d" [1 H" f    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,2 H5 B4 `4 e, d
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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