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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
* ]* M9 M( F) ]' |畫的 每間蓋的layer 也不一樣
# \1 G: h& b3 i" c廠建好的 製程try過比較沒問題8 J' U( e; A. [5 r. ~

- T4 U$ y4 ]9 z0 a自己寫一個spice  model  容值抓抓看7 ^1 t% T; z' J% t) Q! i# r% L( Y
; ]2 A7 R( K, b
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
; R9 Z' @6 J) Q- [/ W: A/ C可能任何工艺都有这个cap,
9 _/ O% F( A( ]* t
/ S/ p2 x% R" a- e) {1 iMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
0 g, m) L1 e7 c8 ~+ D7 O由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
9 z8 ~$ J! V& n5 @0 s5 c1 Q, w! hMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 ! K& v& w8 K1 r' N2 M9 @

/ ^" g, w# I7 m' i/ a. f* ?! n8 d" t: Q% g9 A; H8 J
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
; Z0 H' c8 S8 {0 ~; L    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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