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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用4 \0 p3 z- _8 c; u- u& M8 Z
畫的 每間蓋的layer 也不一樣3 U$ y- |. i; g5 b
廠建好的 製程try過比較沒問題
# x1 o( ~6 U" t2 u
- E- W6 K& [) N  ~' I3 U自己寫一個spice  model  容值抓抓看, F" I7 u! n. Q" h/ c

! s/ D0 |2 O. g( m7 [! u) Z$ ZMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
$ g0 v' K3 k$ G* }可能任何工艺都有这个cap,
( Y! h1 R$ e9 g) T
+ t# j( Z3 s5 E1 O, J; t9 u6 oMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,* P+ n4 }7 e6 J' W" @! F' s# h& F
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,0 p' p. a7 P/ g6 j  @
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 ' w1 P6 ^0 i$ |+ F" ?
. ]+ L  I+ V/ A& s, S8 s3 G4 K( C) w2 S

% B7 v6 h: l7 p2 a- v    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,( Z- z) P+ b/ K3 I. c0 _6 a
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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