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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
. p* n4 [6 G4 s; w畫的 每間蓋的layer 也不一樣9 r7 j3 R0 j7 W
廠建好的 製程try過比較沒問題& s5 @+ O0 t1 ^$ F$ \) L6 [/ k# t( u

1 @5 i0 I0 R7 t2 }( g自己寫一個spice  model  容值抓抓看8 x1 R) q5 z9 m( s* ~
: P2 h( o& I  {
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
6 [* U- ~3 c- e" L可能任何工艺都有这个cap, 1 |6 w, T' L2 Y5 X2 _/ s

# `: P8 a. f4 V7 T9 yMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
# P3 J1 A5 V7 c4 g9 Z1 Y3 ^由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
4 e! Y3 N1 b4 X  ?% J; t. d+ ?' ~MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 ' |/ X$ i/ g  Z6 I: T
. w6 S: y5 C) y
/ [- d* f, l, D" w4 [9 x
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,% L- E9 ?% s8 y8 D! R& p# p0 U  r1 F
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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