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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用5 n& A+ d# d1 X& c* P4 l- ?# N" v
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
7 I5 ~: }, k1 m4 |* x廠建好的 製程try過比較沒問題
  ~8 M" O) k1 ^7 z& V* Y7 K9 q$ C2 N2 f) l+ F/ Q. ?
自己寫一個spice  model  容值抓抓看) z, K2 S% l1 W
/ x8 @9 A$ x1 P
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
0 M" [7 }+ \' ]/ Q& m/ c! ~1 V可能任何工艺都有这个cap, , V4 a# j( s! I  G5 r8 P( H

7 |; _. ~  N, {; i. {8 xMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
8 V$ C* Z/ E1 M' g! r* o0 u: x由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,* h& A, P7 q6 t' z# F# l
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
& `5 }' P2 |9 N8 e* D6 g0 r2 K% C1 y) H( \4 \1 ~

. L" t  E7 |& T    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
7 V$ c1 S& O! y$ J4 X; \    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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