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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
1 t% @1 H" x7 F% L( C5 z" n畫的 每間蓋的layer 也不一樣
  J9 i/ o+ x/ K. p8 C廠建好的 製程try過比較沒問題
5 ~2 I. N" y% [5 L- }
  W5 \5 S" t- T# n( ?9 e自己寫一個spice  model  容值抓抓看
/ A% K% R3 U! p' T! _) @: v
, M: r( a; s1 I) [- P. ^MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
" i4 h6 X- T  S1 {) U* R# E可能任何工艺都有这个cap, 1 A/ N# R. Y& D# `$ _) n2 L5 {  K
1 n1 u* l7 O# R
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,- @( _* j" j9 g% t9 L: J! R
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,) s) Z/ h& q( u( j! r* l
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 ( P; ^$ P0 G  B$ j# W& |0 w

' s, b# V  Y: s( F5 C. J/ T. Q
1 T! i% u: d+ w3 j    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
$ u; o, e' x: e7 D! E. ^8 J' c( S    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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