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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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推薦
發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用. W  m" t9 G8 E. g2 i) s; y. d
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
7 q( T" h$ ?' W' t廠建好的 製程try過比較沒問題9 q5 M9 V, a# M5 g' [

5 s6 y: W/ S7 Q4 l% Q' S& }自己寫一個spice  model  容值抓抓看: ~4 Y* Q) G0 b/ m  Y- v
) M" i- ?7 t! Z1 g6 ~# T) {
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
. z+ m& E/ ]1 q5 g可能任何工艺都有这个cap,
  p# b( ^( t5 D) P0 o+ c/ g
0 R% w; `- M/ g# BMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,7 _* H4 Y/ f, A* q
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,7 `9 f0 |) W! L# I' E% \, `
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
5 r6 |) G4 a% N" o, ^6 a. B0 g8 ~1 H+ o, \
/ x* f/ c: v( d6 _. \# x
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
* D( ~. g8 X4 t    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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