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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
/ ~% z$ B# S3 @6 c) Y2 f畫的 每間蓋的layer 也不一樣
( S" @3 o0 @/ h- h5 |+ O廠建好的 製程try過比較沒問題
3 H  D& h# w; v& c- Y. i) ]0 A
( P  ]. S% C, z自己寫一個spice  model  容值抓抓看
8 B1 U) c3 W9 E( m& `' X# C# M" o" q+ [6 X" L4 O
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
: g/ e$ g" {8 \8 B" @' `5 h可能任何工艺都有这个cap, 2 E( x4 m- P, J% p' r

7 ?( w0 ^/ ^% D, C6 L" P0 ZMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,* C. J+ |; R& c/ I$ ?+ `: n
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
' Y2 Q' f5 E  {# P; l$ P1 C3 x! kMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
3 u! c/ b5 {$ U* b: u3 S3 P5 S/ l# O* C
1 B+ H( S1 a& _6 \, M: ?
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
# h- C) h; d% J7 k2 ^0 w" W" T    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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