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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
6 T$ E* [- z! E1 [畫的 每間蓋的layer 也不一樣( Q, E( X) j, k, b2 [; E) Z
廠建好的 製程try過比較沒問題
5 @8 D+ V# O9 J8 _9 U$ P
$ E7 |: K9 X8 o0 K  t8 }7 n; q自己寫一個spice  model  容值抓抓看
+ }7 _# o! e; F/ W# K4 j: z  K7 C) C. s
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
" e7 A! \# d- t/ A9 G5 _可能任何工艺都有这个cap, 1 k/ i& Y' w1 H6 g0 [1 w  c
0 h$ s+ ~5 ^& n+ m
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,' C* q( n# l# o  G) Q' z
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,) q# j- K* h, [( Y
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
. F/ o& Z" X9 B3 ?2 I. r1 W, j- U1 Y+ U- B
/ s' q  a# Y7 o$ I2 j
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,) J- k. e8 _9 q6 |9 ^( _7 P- ?4 }
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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