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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用# G1 l! [  n; ~! ], O" S9 q
畫的 每間蓋的layer 也不一樣$ P4 x1 k# |3 t* \7 s8 W& x
廠建好的 製程try過比較沒問題
! N" a7 Y: D1 y- F# }8 o$ P
3 Y; l4 @+ I* V! `  B- d自己寫一個spice  model  容值抓抓看7 P" S9 d# A' }6 w3 P$ n
7 s( f( z: p0 H' O
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
! r0 S1 u2 y7 l1 W  ?可能任何工艺都有这个cap, ) t: g$ T9 [3 d" O* f

6 ?3 V$ E* ?. ?- Y) q# B- JMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,9 D; o+ B# u& n1 Q- j
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
- E2 Q. t& b' ~/ AMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
* x, z. x  e& n$ N  ]) B( O5 L+ N/ _, N, X! b, _( z

5 V$ S& Y* k4 d7 B& h    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,2 q) o9 J1 D# k9 @
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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