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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
7 A! _) U! g( n; N! o9 u畫的 每間蓋的layer 也不一樣, b$ `. T# V! I) c, S/ @8 V* c3 W
廠建好的 製程try過比較沒問題0 b2 o7 g, v; P# \# ^$ A
& ?7 T1 G1 D! }* c9 F: Z( ]
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
& i0 ?6 y& I/ M; E* g/ M" b- U5 F1 g4 X2 D$ T; i5 s" m- H2 S
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
, V, X+ ]- a, N9 z. q可能任何工艺都有这个cap,
, e' R* U8 F/ z2 _* v, V) q% ^! @2 O
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
  H, l1 E6 u+ u9 C8 Q8 D由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,, X  U5 b$ b; z& P0 a: I
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 ( v5 ?. P& @& c/ ]- }

/ Z! h* h, Q/ u0 _" ]1 U1 |! O6 ]3 \: H: u9 s( ^
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
* I; A, m2 C3 r+ V    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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