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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
- y9 Y- |: D3 g8 y6 a# u' ^畫的 每間蓋的layer 也不一樣( E" D3 M4 U  V  f
廠建好的 製程try過比較沒問題
6 }# p7 |; e$ o3 }% i8 ~. e% U4 C: E5 J. O6 u* A1 ]) |/ M1 a
自己寫一個spice  model  容值抓抓看% m) a& y9 \; y8 z6 w8 }
" ~% o! n+ ~/ n
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,6 g: x" C- z. O4 z# {& I  X/ }
可能任何工艺都有这个cap, * X# n: e$ h/ w6 O" n8 |! j; m
4 J3 c1 n: u. C: X" \& Z& e
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,4 q9 w! M+ W) p3 B" Q( L7 b: @
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
" Z: X8 g& j' E0 cMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 4 X* @3 Y' E  j' N1 Y

9 h( b: g8 {- U% G/ C3 i  [6 e2 {# i; o6 i  q
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
) R7 s4 ]5 j& L/ x. G    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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