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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用& s# b7 ^, @* W5 Y( M/ E0 g- b
畫的 每間蓋的layer 也不一樣7 F% O3 f! t, P3 s" i4 z* w
廠建好的 製程try過比較沒問題
5 i5 l& k3 t" S* z8 R& K7 i# z$ ]3 v  D; U7 q) ^
自己寫一個spice  model  容值抓抓看$ V: ]9 Z  f2 O8 X: H. o
2 _2 v4 d8 v! U+ W( ?! h- J
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,/ |& b3 j% J& J7 Y: F
可能任何工艺都有这个cap,
- ^4 H) P7 v& \  v3 I  U
+ [/ {9 e4 y& M5 j# b- QMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
$ H$ K! ^% }2 k! A" B- A; }; |由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
6 [" w( _9 i0 C3 @MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 7 ^4 ^* `8 Q* H$ t) B

$ {( X: T* F  ]: |( @* X  r& ?4 ]
$ g; O6 [5 L/ g3 T1 L    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
7 V3 r: i# @5 A( m2 f1 y/ J    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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