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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
2 ]  I* K7 z- r3 Z* }0 ^, v6 ]畫的 每間蓋的layer 也不一樣
: O4 V3 y' n! q5 E. G* W8 P- u廠建好的 製程try過比較沒問題
# Y5 H7 I5 `4 E) Y+ p: W- [5 r, X* G2 ]& F/ V, T
自己寫一個spice  model  容值抓抓看6 y9 s/ t+ U% q2 }" K5 }" g! U
2 M2 S0 o1 k; X8 V
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,  _. b1 s$ h0 V' ~  c
可能任何工艺都有这个cap, 7 ?9 s5 `3 O5 J) l1 R
8 o$ C! s% q  z& [8 f3 b( B1 @0 f
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
! w; |6 b3 `  x) D9 I由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,8 [7 s7 ?* C. A+ D
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
# [1 X$ ]- t: l; J1 h; J% c* @& @8 v
% g, X2 O; B. K, `1 K3 e+ N/ J
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
+ l. ?6 i4 L* @+ O  E1 W    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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