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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用/ |9 k& ~6 g( d  a# g: e1 L& u
畫的 每間蓋的layer 也不一樣7 f9 P$ r7 c. ^4 I
廠建好的 製程try過比較沒問題
( i, p3 A2 N0 S  m7 {5 q/ E
. y3 b* E8 ~3 O+ {: Y, x6 |自己寫一個spice  model  容值抓抓看
% Z- X& Y5 F) U7 Z
2 g$ X' m. t; |# T- r/ OMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,, m& A, b7 D2 A2 b. e( _4 N2 b
可能任何工艺都有这个cap,
2 c$ V% S4 A9 R1 P0 i( W4 L5 T9 D; P. l+ N# F. e
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
7 j, m) v, R# v由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
. m, T$ M' P) J; v2 O% Q5 v* PMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
" `5 N" y* T, ?) s) Y5 X$ w5 \
7 U4 T- a/ g& ~( e8 p0 `9 v% t# h1 r' l0 B  f
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,' s! w1 C5 e6 z; J) G7 x* z5 `0 z: N% R1 ]% l
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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