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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用" s) C8 [, I. H7 G' d
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
: R9 c' j# ^4 d) Z廠建好的 製程try過比較沒問題6 N' v9 e: _. r2 o$ y
) q- v* H8 J) Q# u4 B0 B
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
1 q2 [- C3 r( X" ~& S0 N0 Y. O
" d. b' I! J$ I1 I, m% ZMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
( r5 ~! a! X" t1 r6 n4 A1 n可能任何工艺都有这个cap,
. T: i* i9 {/ H9 O) Q1 j! U
1 s  s6 S, v' W4 FMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
  V( q) Z# x0 P6 i由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
  _* w: s! c5 W% W9 n2 Q7 IMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
- {! N' v' ^' z- B& s2 p$ K% P! w9 o5 G7 \

( t0 L8 R" J) `% U8 k/ v7 v1 @    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,5 |: @  ]( L4 r) Y3 d/ i
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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