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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
. w" s" q) Z3 D+ X$ l畫的 每間蓋的layer 也不一樣1 k, K9 P* `9 M$ t
廠建好的 製程try過比較沒問題
; F8 K$ Q: g# q, X
, o& ?& H/ M$ Q+ k自己寫一個spice  model  容值抓抓看
1 }# ^9 T$ d- i& z. l! z8 k8 y1 ~! C
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
! J$ a( N% c. R5 Y可能任何工艺都有这个cap, 5 H% Q0 V: E! x1 j$ k' n  R
3 B9 r) q, y1 T) x* s- E$ [, W
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
3 P5 ^; J5 r2 C; u" F+ z由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,# R- X& K7 N; ?" T0 e5 C0 g
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
8 {; {# Z8 F4 m' n2 [
. H; P: |+ K; z- u4 D2 q# t
0 \( \# L$ e: e- I0 I    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
8 C, ^7 b4 r  r6 T# G4 {    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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