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有 froundy kit 就用) J" S5 ^! O5 v# _" b) w9 K
畫的 每間蓋的layer 也不一樣$ E/ c0 n+ y# R9 v
廠建好的 製程try過比較沒問題
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自己寫一個spice model 容值抓抓看
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4 A7 s( a. P6 ^, iMOM 是tsmc的说法: metal oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
- k2 t5 l" _4 C% |1 H7 `# r可能任何工艺都有这个cap,
1 h$ X" E; u O+ O, }9 |$ ]3 D
$ Q4 t; f* ?( NMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
& t. ~, Q: M$ c由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成, logic工艺是不提供的,
1 y+ H2 Y5 u8 B; NMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍 |
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