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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用: R9 @5 l  ~8 |( c
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
& Y% W6 B! \$ e) }5 F# P' Z' H廠建好的 製程try過比較沒問題
9 E# U; L# M3 C! G3 o& x+ A! X; }: D% |
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
* X- R" q/ t: W4 ?, k! w; a( C) v7 ~
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
- E, L, f( Y% @% m可能任何工艺都有这个cap, 6 T/ y# h- P3 n6 N

3 V) F& ^* U/ D. c& bMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,- R: T3 k; `5 ]8 r) R, z3 b( o
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
6 }$ X3 j# B' |MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 ' X- c3 v% y/ F1 s( V- r- w. H

  B# k' G: x, S1 D8 {/ ?
* [. g7 S8 j+ L: d    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
! d. V8 V5 E! }/ l0 E* O7 o8 v5 C5 |    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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