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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
( E, k# ^' U" r* x% P, F1 m) J( C畫的 每間蓋的layer 也不一樣% |2 f3 {8 h7 ?; S( o
廠建好的 製程try過比較沒問題
' d1 s: w) ^% A7 E" M9 N: d1 f
8 g) s% i' E2 \6 i自己寫一個spice  model  容值抓抓看
5 A" q$ s  X) z4 X! H, s6 w2 m7 b* T$ d1 ]7 [' @
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,9 g9 Q( p6 _% r' Q
可能任何工艺都有这个cap, % {. K5 k7 S8 `- c3 z
; X  u; m) ~/ i4 A: T1 k) W
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,7 k' m" P$ Z) f$ I, ?0 K0 C1 R
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
7 p9 [% [( D2 [% q# B1 wMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 5 J, @; P& t* o9 _

# O) l$ P+ m( s) i  n8 q9 H  U/ X% L. f
5 z* x* t+ B* F: X    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
6 g0 H" `) |. V5 q$ C    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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