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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用7 U) F! F4 \2 `% |6 p6 F
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
, E) m  [4 E8 S  V; v4 |' V廠建好的 製程try過比較沒問題
% H9 P8 a& d7 m+ b- H# H+ L
! A  A4 H' L( ]3 \' x) l0 @自己寫一個spice  model  容值抓抓看
& Q0 G) D. i/ o7 W2 R6 _$ R. d* |$ @  G$ X' S  M6 l) U* z) x3 g; x
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
$ F  u  L: Q3 V8 T8 y- i# Z8 p/ g可能任何工艺都有这个cap, 0 F1 K/ U0 Q1 p  Y, w0 X

! I' H. C3 _7 |+ ~8 B' ZMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,, v* e% W0 s" Y5 B% s5 I
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,) L& G# z' |, g, d
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
% t9 o6 Y9 m6 x, Q$ q5 N
- i4 z( v, r1 s5 j$ R) p/ _# A* N$ z( }8 d  G
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
5 q+ f& h3 I3 j  f% Y# {  u    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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