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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
# p6 `4 K' C$ ^: V/ e畫的 每間蓋的layer 也不一樣
* }9 F1 P( C8 Q$ t! ]廠建好的 製程try過比較沒問題
. Y  S6 j" h) k6 i1 Q7 Q
1 i/ B& E2 G1 ~* \0 M自己寫一個spice  model  容值抓抓看! x2 A# l/ d) T0 }0 J$ ^: y* A5 _
' m4 d; c3 ^. v5 {- Y$ j
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,( _1 h; G- I5 F. ]9 c1 u
可能任何工艺都有这个cap,
6 B7 r% }, J* n4 W# ~
0 u5 y+ h6 X4 @4 y% U  eMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,: f: l- l0 x& }7 W
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
; s) [9 s  K  M: v$ T; a# ^+ YMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
! U2 L8 S1 ^3 B7 f" W& H7 D/ w2 m" g4 R" U5 M

; h5 C7 d& i- c1 A+ O    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
, j9 m& N0 G: o* [1 f  W, n    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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