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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用5 |* l3 _8 m& b; u
畫的 每間蓋的layer 也不一樣- B; y0 z% v- w4 r, K+ e2 W
廠建好的 製程try過比較沒問題
& I4 x8 b# o% h1 s& n/ ?$ o; q# R0 p1 Y, H
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
* q8 D; i, d% a% A
3 E8 P. e$ J  o5 D0 X* s7 z# m: J  U* NMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
  _! j6 X' o+ G2 {, `. U0 Z* B可能任何工艺都有这个cap, , W6 H# m/ n; a4 I2 y. G) q7 L

$ J4 I2 c6 k6 k, n' YMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
8 _( l4 m3 D9 T" q5 `由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,) n1 j( _0 C+ V8 N3 t# F7 g& N; M
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 / o' n5 l2 n5 }/ F0 [* \
. q1 _8 o* n9 z3 r' X7 H

% g1 n, k# @/ x* N$ f9 Z    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
- t; ^, p8 l6 l5 f1 P/ e    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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