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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
" R) X$ i! Y- d! R$ y畫的 每間蓋的layer 也不一樣
- p5 @6 G6 J: H6 ^- a* W5 `廠建好的 製程try過比較沒問題8 c5 ^) S9 c4 y8 z. x- z! w0 X
, U7 p7 G; i7 H+ Y# {- e% v
自己寫一個spice  model  容值抓抓看# p) ?" Z* f) a0 Y7 N% y/ t

+ q2 Z, `# L6 ]$ m0 x+ sMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
0 e! R1 F8 b7 L  E* ?: o! O# H2 a可能任何工艺都有这个cap, 9 ]$ i, s5 o. I+ T3 B

, K& K! T( Q# L$ v5 l* b" uMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,3 ], U# p  L/ t
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,* F/ f: N  G) z9 f3 R4 _3 l5 R
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
4 s% S# ]0 _+ Y' c  Z( y( \* ~% ?2 r" Q
4 E" n" m# G9 U* Z3 G0 R  }! H
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,# _4 u8 I2 f- ]0 \  y8 ^6 o0 c/ e
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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