MOM電容佈法

r2583614

有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???

l690527

有 froundy  kit 就用
5 U; J5 i0 R: D" u1 y畫的 每間蓋的layer 也不一樣
廠建好的 製程try過比較沒問題
) H% s& V+ D; V: n
自己寫一個spice  model  容值抓抓看

MOM 是tsmc的说法： metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap，
$ K5 f+ E0 p) t& P1 b% k可能任何工艺都有这个cap，
2 b: @: c% h4 u  g$ P. k
, U+ F# f! K. }3 G& _3 O9 ]MIM ： metal insulator metal， 这个在Analog、RF工艺里面才有，用来做 高精度的cap，
- L; i, f; ]" y7 }5 F由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成，  logic工艺是不提供的，
+ m3 A7 D( _5 B5 s  S" C8 N8 dMIM的2层metal 特别厚， 一般是下面的好几倍甚至是10几倍

beverly_tseng

回復 1# r2583614
( Z$ J2 G: N% ~& C$ s
; W: E7 }' N+ ^5 C- p7 e! Q' r
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
4 N0 K: _# }. s  M. H    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.