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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用) S2 k* m# A. U& H2 i2 a; n4 x
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
- [  D% ~8 N+ u( i/ b廠建好的 製程try過比較沒問題
$ q7 R2 \% Y3 u1 Y6 _/ O* @! z' x0 r
自己寫一個spice  model  容值抓抓看* d/ q- o5 o9 t1 {1 \. \5 R+ m

3 \2 \8 z4 L( S# m4 MMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
0 ?* E7 h% a# z, ?, D5 c& x: h! d可能任何工艺都有这个cap, + B9 n/ i1 [* ]
& F, V# @' q4 c5 W' w& y; D: x
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
! s, v6 }( N2 T$ r9 _由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
* m8 X% ?9 l  ]$ r( ]" hMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
1 M6 Y: t# ~3 g% S7 z& I9 _" y: K4 s& ?3 t& O- V

: @) ?, Q8 q" l( s    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
( V0 N3 J2 ~1 \1 \# o6 i- K4 k    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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