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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用/ t$ q0 L) S' l. D
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
# W7 k' a3 I' B$ C# J廠建好的 製程try過比較沒問題* p/ t2 s/ w6 D: b

. V7 W4 q/ X+ l自己寫一個spice  model  容值抓抓看9 g" j( y  H; x, {

/ D1 H3 u7 ?2 a2 EMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,0 @( G$ J' M; }
可能任何工艺都有这个cap, $ D! U  [9 R. L

9 b+ A/ p: R9 o7 R5 M& OMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,% p1 B0 }. F# m; i
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
1 _* G. h  i5 y  q  l( h. z) I- L! uMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
) t$ }4 i3 q  s5 U  L
( X& }' ~# q3 n7 g2 h( e" ~9 C- D, ~
! M* r( Q9 h) d4 \    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
1 w4 ~8 P: j* }2 a1 q1 W, V( q0 q    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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