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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
% e8 T. E3 ]" X7 g/ j6 i4 R畫的 每間蓋的layer 也不一樣. D, e- r. R+ Z% O* q. f9 }) D
廠建好的 製程try過比較沒問題
1 G* ~% @" M/ ]! }0 L0 B
) O9 g0 [- I. C4 b4 k自己寫一個spice  model  容值抓抓看! f$ ~5 y- m/ o8 F8 o. z' w6 X

8 C9 x3 k8 o. Q* `MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
9 N& f  L. E: |' Z$ ~3 O可能任何工艺都有这个cap,
9 s7 v! \. j: B; L
, w8 u' o  B2 I8 `3 z  P+ gMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
2 i+ u4 A+ L6 X由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,) _, D  ^8 c1 J  {9 t
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
+ S8 P  E! g) I! y8 i- ^
+ |4 m$ Y' `: a2 z! x% W
4 P: b& P. o- c4 u! e, h) }    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,( Q" l. k) s4 A2 Y
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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