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- `5 M; l. M& FMOM 是tsmc的说法: metal oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap, . [* L" A# w0 Z! @" ?' G! ?/ l可能任何工艺都有这个cap, 6 g B) m2 O5 Z+ f% B O9 k- C