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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用0 l* l  D% i( O& ~$ H+ T; U" U$ T
畫的 每間蓋的layer 也不一樣: P1 I+ I* Z/ X% M# x$ O
廠建好的 製程try過比較沒問題
0 u; V# v; o* p8 H9 X$ J) O) B+ I% U( Y' F4 W7 b
自己寫一個spice  model  容值抓抓看; d" I; l& F* Q! @; _0 c% }1 C: K! S

7 j9 J2 b/ S$ U0 j7 I$ W+ D4 S4 s* hMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
# r4 }7 N& c* b" t# k可能任何工艺都有这个cap,
2 X5 V$ o; N2 {3 A9 @9 q* E3 w3 {: E0 N8 ~2 ]1 z) z
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
8 R# Q2 {: `. H$ l由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,$ X* ~: V) `8 n: h/ R
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
. m+ N7 ]+ p) r5 |6 E  W5 L. d: C, v7 F! B& e0 o

. ]- \3 Z4 G# R8 |- i) ^    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
; p, E7 ^: w' L  u    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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