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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用8 a" l. a% p' m$ _" J
畫的 每間蓋的layer 也不一樣4 Y- P4 K8 L/ H5 r  }2 P
廠建好的 製程try過比較沒問題
& c6 Q6 H2 X$ a3 l, p: ~8 D6 b. [2 Q, A) _6 w) u5 ?, a: [2 Y% D
自己寫一個spice  model  容值抓抓看4 E& I. Q" x( @# k3 V$ [9 L# I' k

- u% H$ S/ c: n& {( z- a# jMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
0 y) H. ~& L0 M4 B  x可能任何工艺都有这个cap, & Y8 o9 v6 P4 \  l

- P; T* I) Q, n! Q% qMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap," r  c: d# [) ]8 d3 W# W
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
0 K) p! x: v' S( J5 I& h; E4 y8 |MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
) d: a2 L! K' B- q8 n8 E$ Q7 R' k
4 d( Y7 ^* d0 E
* \4 P4 @) p4 {% x) q) N    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
) Z( D5 e$ @7 c% @2 j8 L    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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