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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用7 J4 c+ d7 y7 c. \( G
畫的 每間蓋的layer 也不一樣  X4 D. j" i- @) q' e! P/ n
廠建好的 製程try過比較沒問題9 B/ I8 t, _8 ~$ P2 S1 S8 U6 P

# y( N0 y9 Y1 F! n! M. v3 ?自己寫一個spice  model  容值抓抓看
+ ^$ x& X( N6 a3 C8 a& x) ~4 C+ N+ f' u' g2 Z/ h6 q
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,- Z% e. |! @4 }% q/ B$ a( R
可能任何工艺都有这个cap, 6 ~! m5 S6 Z4 I' i6 T# F
  @" I6 `0 p3 O: q
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,% V5 `1 H+ v# e4 Z0 c& I7 Y
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
2 P  ]2 ]/ c  H, r6 xMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 3 g$ O$ Q5 g3 X. Q3 j
0 U5 h2 D! F- o' C
/ T) j0 K$ w, `* g9 f" s
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,% `2 a. c7 {: s5 c+ w+ @& y
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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