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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用$ f5 m1 T  e5 A7 F: \7 E
畫的 每間蓋的layer 也不一樣2 p3 H/ F6 P+ ^
廠建好的 製程try過比較沒問題
0 F, J1 J2 [7 L+ a0 S! R# w4 X3 ]: {; a
自己寫一個spice  model  容值抓抓看& C4 Y, `+ c, k0 k# i

3 i- \* A6 b, @( d$ M( b, w& fMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
! F' C% d7 Q+ j/ Q/ {可能任何工艺都有这个cap, , ^7 v: w  V3 X) r

; P" n# x5 I) ]- f5 q" iMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,/ P: I7 \: U. J. k8 {/ |0 A
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,' y1 K; c0 t3 p7 }5 S: Y) W
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
) {" R* S# C" D. S5 f# z( Q& M+ ^! R+ T/ w, v
, r6 }4 d) x/ U& p
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias," l! F. L5 z  \( `4 {- y9 v: D
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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