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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
9 o; L4 i  Y, g- ]0 j! A$ L畫的 每間蓋的layer 也不一樣7 z1 J3 d. m# o4 ]
廠建好的 製程try過比較沒問題
" g7 |  ~0 U! s0 o5 m5 {! H6 ?7 E1 \4 y0 i' Y3 x$ y
自己寫一個spice  model  容值抓抓看* e: t! K0 |; L9 K9 f' @5 q

' l! s# w' g6 y2 S% ?- m0 wMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
9 S' w. O* c- ?4 c# E0 u) w! F可能任何工艺都有这个cap, $ u9 ^, Z8 M0 x1 [+ ?* ~

  R& M: e: h7 w% @MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,9 E- W# W( y& B& y
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,4 a/ m* ]# P7 u; j1 ?* W& L( U
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
, W: K5 U+ `9 ]) s) W
, n  c& e$ V" @* V" f4 c/ x; i2 n- F( M: U
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,6 |* M# ~. n7 a$ c
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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