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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用, p7 L6 t) z9 U) E
畫的 每間蓋的layer 也不一樣# l& V3 r; n* q3 x, t  A
廠建好的 製程try過比較沒問題  b, h8 |8 ?/ W" P9 B

" Y% w# f& R+ ^2 \) L9 E自己寫一個spice  model  容值抓抓看% y8 s+ j: ?& y+ P" Y

: e1 F% p% @- h: v; pMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,5 h. C# W& o' e! Y( {7 |/ l4 f$ e
可能任何工艺都有这个cap, 1 G% B4 o4 Z* R
. m* _! k% L: w4 Z
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
2 z2 Q& {2 `( b( r8 y由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
. b' u: z' u1 x; H0 d! SMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614   T! N3 D9 g, u/ P0 C' z
0 `, r9 Q8 A, X$ v, j7 w

! v5 g6 ?- h  p, X& B& b0 V    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
. n) @7 ^6 D: h    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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