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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
1 @: q2 p9 r5 n( T5 p+ O畫的 每間蓋的layer 也不一樣1 V, P$ h9 Y7 V5 M
廠建好的 製程try過比較沒問題% h1 @) B. G, `" L# M
0 f# p1 _; ]1 \4 c
自己寫一個spice  model  容值抓抓看# k! w: f4 ]" T; G2 R0 ~

, E+ z! J% E' W1 ?+ c5 W% NMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,: k; Z2 }' @! n  u* W: f" d
可能任何工艺都有这个cap, # z* C0 A6 M6 c8 W% T# H
& N7 t+ g9 o! ^/ d, v
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
) y8 g3 z0 z4 X由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
9 ]4 y6 @5 }4 F, {4 |( a8 aMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 * l" T! n: c4 Z( {# H
. D# R( T8 z7 D/ q2 g9 _

9 H+ t# e8 b4 ]; C) l    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,, L% |- X0 T) R% [) C7 {
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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