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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
  ^, ?+ W" X2 a$ K9 S. V9 I& _7 I畫的 每間蓋的layer 也不一樣
& F' V3 z# S- B1 y5 G; u7 L廠建好的 製程try過比較沒問題
: \  M* X+ V1 u1 _
2 f* U' }8 G$ M+ e; Y+ {自己寫一個spice  model  容值抓抓看. d. h6 L5 H( l, m8 x

- z3 m! b2 S$ s! I6 }. _" ]9 }MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,  }# g' I4 F* z0 p5 K& X+ ]
可能任何工艺都有这个cap,
5 Q' b& o3 ^* \, i
  ^1 Q  W4 Q+ d: x. {$ UMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
2 n' I* a  R; N; s; u3 d由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
# F9 e3 \. q( m: V& P# X6 EMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
, g7 P  p2 d& G" _% x2 y# m$ J+ I, d' }% f4 n1 h# }7 q: S

6 n! V/ W+ i+ \) E  A* w8 @$ P    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
! ], j# o5 ?; D. U. T1 A: ~    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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