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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用& \; @, i5 I) c! {( G# K7 k$ r2 p
畫的 每間蓋的layer 也不一樣8 K& \- L4 _9 }6 J: M/ |+ }4 `
廠建好的 製程try過比較沒問題
$ W& h# e* D. |$ Y. j( q8 I6 }& q$ H0 Q1 _  K
自己寫一個spice  model  容值抓抓看; `  p( S8 e3 m6 O2 T+ U

# \- G. c: ?/ W9 S8 V/ nMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,. a/ w* L; u4 Y% z
可能任何工艺都有这个cap,
: ?' I9 u4 Q1 p7 K  M2 T4 ~' |: ^5 L( k5 N% B4 s
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,; q' K9 x- M# N9 s
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,, v' A9 @; J) B* i0 O3 X
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 " e! i( c: e8 n1 r+ K! W

/ E. z0 ^, |! e2 e9 ^2 m: A
2 k5 Y2 K! i: {  X' L  P/ n8 o: o. ?    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,: r+ T' o1 W( {6 j. q3 v
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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