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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用& \, P' L" Y- Q7 P- Y& j: n
畫的 每間蓋的layer 也不一樣3 _; g* ~* p) {' u8 F1 n
廠建好的 製程try過比較沒問題
# B! g2 h9 G2 `7 r. X6 |+ ^8 y7 r8 C4 c" o  }! G% P
自己寫一個spice  model  容值抓抓看2 \6 S/ I$ |9 G$ a$ M
3 G0 ~# E, ~7 h5 K
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,1 J8 w# u# G4 V# B+ D
可能任何工艺都有这个cap,
# ^$ A  U& t" I/ A2 X6 {/ o& v# }: o& i8 M$ S1 k$ c6 ?+ \8 U$ v- u
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
4 R" p" W' [# D) u* y$ ^' C& O+ o由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,9 X( j8 q9 @- H7 W. `4 r7 {
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 " z0 U3 ^1 p7 Z5 s4 p7 j

4 M; ^6 p) N% E* e" x
, r! M/ I' A* H, Z+ C) j5 @7 @    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
7 ]6 `7 B8 K% d    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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