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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用" K! t& J- ?% b! V! }* U4 L' G; K
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
- H- [) J, K4 x: h- {+ s! m廠建好的 製程try過比較沒問題0 }6 l( u8 F. h% f! I
7 `* R) u' z( S: _
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
3 X" @+ e& \# [3 w3 A/ M1 T5 D3 }/ D- H( W  I# s
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,- z8 _( a. E8 C6 \$ K/ h
可能任何工艺都有这个cap, * v) N" u5 d, s! ^+ N7 X% W
- D6 }- b  `, j) ~* m
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,; d8 Y) `5 {* T- |: H3 X
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
& L8 J" |. g& U2 w7 R  q: WMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 9 ~: Q/ g/ X7 b6 X

  }, K' M% u/ O8 B0 }  k: [" Z: e* }' N8 j7 [# x
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
. u/ `7 y- a8 c4 V7 H- a9 O    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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