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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
& W) o- E. ^) V( m1 V3 ]. N畫的 每間蓋的layer 也不一樣1 w1 h9 [* P. J4 N
廠建好的 製程try過比較沒問題! y% p$ ^: x( x/ c- v; @
6 q. l/ [- s. q' A( M; Y9 u
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
% I# s0 a% f8 u% v( A1 ]! }4 U' U
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
0 B' O. k1 z! `' N可能任何工艺都有这个cap,
* W8 o5 V4 D: R+ [  D4 b% H! v* m; ]' J( W9 _; S! U
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,; @9 w2 ?1 t# P) O
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,2 x' a3 c  r3 W' F+ s
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
. j, i& W  Z; h) S8 N+ q4 \9 G$ ?+ G

7 r  |4 U) G- @# V    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,, m2 s* I) P9 X5 ~, K* {4 D$ Z
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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