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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用9 \$ @* r) Q) p8 h$ |
畫的 每間蓋的layer 也不一樣, ^1 g0 r8 t+ c
廠建好的 製程try過比較沒問題
6 Q5 Q) [  m' R" c* p1 q9 V% t. z4 I9 `5 |
自己寫一個spice  model  容值抓抓看" E! h+ `7 E' C  h" {2 |+ U) I: J# o
* ~* Z9 Q! X0 B# U0 H
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
, ?9 H$ |7 ^/ W- {3 I# Z' w1 F) v可能任何工艺都有这个cap, : }( i: ?" I6 ^6 y
7 U& T& W/ i) z/ T) x  p
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
/ Z' O% y: h8 W$ Y由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
4 m. s( o3 E# s5 R. G/ rMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 + c6 A& P# g8 t7 v- Q

# O) M! a1 _, l
3 W: d+ N: L4 N& N8 P3 R    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
# E* N$ w' D; e+ D% E    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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