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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用/ _+ H# c3 }% [- d& t6 t
畫的 每間蓋的layer 也不一樣! Q, H, Y3 r. V* g& T$ ]
廠建好的 製程try過比較沒問題
; H/ ]7 Y% _4 h0 ?$ b3 m
6 ~! V: b2 Q0 U/ L9 h自己寫一個spice  model  容值抓抓看
5 Q  [- I. O; G: K6 _5 i  U. K. L  R& k4 d; [  _
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,. W, J* @7 W9 ]' g& |: D! M- e
可能任何工艺都有这个cap,
3 n9 @+ {* s: @, ]& M) ~
) W/ D2 e% H. z3 \2 Q# E3 MMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
/ Z0 f3 d# ~( g$ r/ O4 W' m) C由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
$ l+ O# q8 m/ _) C& `MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
, x2 U  P& ]) Y6 {' W; ^% \
& \) e+ n1 `) z" j  R$ q' V7 A  H3 j! z* l$ n& A" j
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,! \# G2 b, L$ ]' K+ Y* Z
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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