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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用' @3 U4 L& C) {0 w" h  M5 t
畫的 每間蓋的layer 也不一樣# |6 m, ?( @! |8 G# P
廠建好的 製程try過比較沒問題
6 J* p; y$ X* }1 k. a% v$ ^0 p# b1 b" Y  H0 H+ \
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
$ J5 \$ B9 H) m8 W5 O$ k; i( p' v7 {, [
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
' x9 g, E8 H: K可能任何工艺都有这个cap,
1 a; P1 g/ w- p" F) x6 Q
9 i+ I. p4 J- A' PMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
9 B& F7 n' R, p由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
& D$ E' N0 A/ E1 ~2 u5 I2 LMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
8 q2 R0 G2 y, |9 l2 a! W- U
5 ^" @0 _( a: [6 ?# ]
# ]3 m0 Y1 L) ]+ \) M    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,6 y+ d" ^0 E2 c( M- }
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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