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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用* V1 S: [. P# t& o- |
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
) F3 p! v' Y0 q( N5 m; \廠建好的 製程try過比較沒問題
7 U5 J- i4 o# u5 _/ D! \& {5 e3 m! c' M0 E; S- b+ G4 s. C
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
8 a' Q9 [+ J0 h  m# m" l) L& O+ G. q. e6 ~* p
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,2 y9 N. V5 D. `0 x5 j
可能任何工艺都有这个cap, # R$ M1 e5 ?* ~
/ }' p" A. m2 |9 \
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,5 @. v: t/ S* ~: l7 Y7 j' R
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
' S$ }0 ~3 `4 R/ qMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 " L% s' L- e& h
+ p- n) j# Q: A4 s9 Z* m8 H
; X- j2 J# t2 O/ U- F. K) D) g: b' n& d
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,0 \% q3 c7 I% n. V* W4 [% ?
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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