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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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推薦
發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
% o' I# _* i& N5 l' u* p( s7 f畫的 每間蓋的layer 也不一樣  ]6 h* S1 g/ L. f5 |
廠建好的 製程try過比較沒問題: Y  b$ I  S7 X- F' l

$ n( [" d6 ?+ L7 F% _! I: l自己寫一個spice  model  容值抓抓看2 U' X7 D9 y2 c& W- |

" v) Z' l1 q5 F/ w( D7 N! eMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
* \& T/ I( I- A可能任何工艺都有这个cap, 9 A2 F0 t3 N* w6 ^0 @& i

7 n4 Z- l/ j0 |# q7 B$ c  MMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
) P! d+ L! H# h由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
, R' K' i2 T5 L) `# I  U, ?9 hMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
" {7 d- R/ _! ?6 q) H9 B
9 c+ y& n# F' [% K- @; g& r" d. `, s
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,/ O( D, Q# O6 Z
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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