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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
# g5 I' ?4 h1 `1 p# t, u- E4 F畫的 每間蓋的layer 也不一樣' I: y8 O/ r$ O- h8 \1 v
廠建好的 製程try過比較沒問題
% W9 l3 @6 x/ ^: k# V9 H2 N) n+ F& Q8 [( r* J0 y9 K# c" L. |+ }' p3 I
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
+ r. Y' @) w$ n0 O! v
8 c" Y8 J! B7 g% ^( SMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,$ k" R- l% w; O
可能任何工艺都有这个cap,
5 f  ]- d* U% {: _# N: j
) h2 ~* i% m' k0 p9 b* QMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
, J2 @. T! c- r% F9 k由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,7 E4 j& z! `% K" P& `% Z6 Z% y, |) z1 o
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 / f) S3 {. O7 K! n  a! b+ I

6 Z0 i8 a4 s5 h0 m' a' c  U8 i9 `* d$ V5 N% @
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
- K# _2 |' ~' [2 j; u. [    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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