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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用' ~: r3 c2 e0 }, M
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
$ x' r& M% W3 j  p1 f. ^8 q. ?) C廠建好的 製程try過比較沒問題. a9 G5 V0 t2 a/ e0 L, E" P

5 A; e" h! l2 G" Q4 f7 m$ p自己寫一個spice  model  容值抓抓看0 X% B1 H4 Z# W) f- K6 S1 K8 N  A

: p' ~4 k9 G! d- mMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,, B# t3 ]% v1 s# n: s" M. }. n8 Y
可能任何工艺都有这个cap,
  z9 c& @) v7 d" O0 d. f: \: u* A7 r0 W' Z0 J% \1 j) @' q
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,- a! n8 ]6 T9 E
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
  k" J8 `8 n1 B; s* ZMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
3 [6 x+ e! K& ], H& U( A, a/ f  R; r
' d5 C; q1 s! S0 w. W4 [
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,2 ~. `( T" |- O3 R! y# N
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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