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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用$ _" S9 N. Y2 g2 N) h: D) _3 S
畫的 每間蓋的layer 也不一樣( A- z. b& j) t8 I1 H/ B
廠建好的 製程try過比較沒問題
+ Z: u8 z* F4 L4 r# X) W1 |6 p1 o7 \# f
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
0 E3 G# A; E* |1 P. ?9 x8 ?& n3 `+ q' o+ X" C) z$ s
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,& H  g* r& x6 D' T6 V
可能任何工艺都有这个cap, 2 C. H7 i( I$ m

) z% X5 r7 s' O- l) zMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,1 w5 P/ G0 f: S8 t* v
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
% s7 _2 y3 }( W6 ]; G! {  K1 i) uMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 + b9 H( n  @( _, ]% `- \
0 m7 E  w& z( _5 G( I) T1 k

2 d) \+ _$ i) q, u& ~    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
% u# z( F: M6 y& P5 D8 A" a    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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