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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用% R) q4 w! {) O* H# N: E
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
) Y+ C& y7 c% x4 C廠建好的 製程try過比較沒問題3 s& e7 z7 u& G6 R. K, V
( b$ U( h4 F7 O) w- F
自己寫一個spice  model  容值抓抓看% F) z) j. Y1 }( i

! [) ~. s# k0 u& Y2 XMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,( T* ~: z- R/ J8 e0 B  e8 b
可能任何工艺都有这个cap,
6 U3 b1 h: p) X) C, P( z* t; b  o  d! Z9 y6 F2 u  a
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,7 Y' F2 t: v; [* r
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
# o5 R6 N* Q! `. r* JMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
7 w, x! v: O8 z. W: s  Y" }, I( x: j. E0 m4 p' L; E
0 e8 R. v9 b" n6 ]
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,4 G- W5 H1 h& \" Z" h* r  D; p
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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