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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
2 I* g7 N4 C5 o# t+ Y. ]+ a畫的 每間蓋的layer 也不一樣
4 A3 k1 y8 c9 {4 V/ \廠建好的 製程try過比較沒問題
* f, _, k9 w. q2 i( b/ Q1 S4 A# O( X+ {) i+ v' G
自己寫一個spice  model  容值抓抓看4 ?' c6 s6 I) x
- M/ v6 E, J# ]1 o8 \
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,  G3 r& J! G9 I1 C" z5 E8 j9 V* t
可能任何工艺都有这个cap, % h: [+ F' z( m' v; ]

, P8 M$ r; I" N* n+ QMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
1 X) W. m  ]; L' D& ^) t$ r9 _由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
# X+ U2 L9 P* ^MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 ; a0 u) [; K9 P6 M9 i

. P& z# Y* l. I' u+ X5 H* f! h& P' s' J+ A  E% R
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,5 `! r' `8 J$ Y0 x( [7 b* ?, d
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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