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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
; v! M! W, ?  o4 t2 V畫的 每間蓋的layer 也不一樣" d/ S0 X9 `! A  f3 {
廠建好的 製程try過比較沒問題
3 R2 z0 c$ Z9 B5 S8 l3 U4 {* Q) ]- H
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
2 \- q0 t1 i2 z( x" O
! ?) v2 A3 W, y" w1 U; MMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,0 M8 t) [+ j; \* V
可能任何工艺都有这个cap, 0 `% \! e5 O+ B2 _/ O# ^
6 @6 m4 }: \' A% |
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
  u7 J0 l2 j+ h2 `由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
- F( `6 i  o4 C! j& x% W% b4 QMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
8 O, v: h4 @* K' C' }5 o$ g' X% g
! c* F' V) R1 t) I2 a6 X4 t% N" c: N
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,& {  Y$ G. `; X% {" U  ^% |9 P: I
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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