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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用  T" Q! f) B+ W8 M1 {6 f
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
# Q7 I1 F* X! \: ~5 z+ j4 D: d廠建好的 製程try過比較沒問題
% K+ {- g) i' [0 ^9 z% v0 n$ o! ]9 ~; J  m% Q: z/ M% q
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
+ {1 v! R1 C% B) x
8 \# d/ R. \6 V3 D! f. aMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
. b) [" X- i2 E( U" t/ Q可能任何工艺都有这个cap, 4 \/ ~( M  G% ~- Y# i% `
7 l/ H! L' g; F' h0 d* b) M
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
2 F+ v; G% U  v$ P1 X由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,0 D: f( p& ^5 Y; q. b1 m% x
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614   @0 k$ t. M7 @: ?

7 |& w5 @7 W5 ~( ^* [6 W, n7 i- m0 e6 F3 p: a- l6 O
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,! R& _! a  r  G, e% N
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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