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有 froundy kit 就用& j! }* _4 T8 l, K; e
畫的 每間蓋的layer 也不一樣, b9 g. K8 Y! A6 I( C- |
廠建好的 製程try過比較沒問題- L$ _* ^0 x7 ^
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自己寫一個spice model 容值抓抓看
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MOM 是tsmc的说法: metal oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
" a* S, F* K, ], ]7 `可能任何工艺都有这个cap, 5 B5 s& T) k/ Z0 x
4 m! i9 H7 m! ^
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,4 S5 R+ P! ~7 _. }0 {, K0 B% y6 u9 m
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成, logic工艺是不提供的,% Q/ q! q2 f) ~; [1 S- L5 I
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍 |
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