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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
; S7 p" F. e9 ^% D; i畫的 每間蓋的layer 也不一樣1 o9 d3 Q; J# K' W
廠建好的 製程try過比較沒問題
, F+ Q, a7 M! ]1 r+ ?& S
' L# Y% k% t5 a6 f) [/ s0 k自己寫一個spice  model  容值抓抓看
& p& R% o5 O  D+ u) K4 b! g
7 j$ S  G& ?8 F7 n/ ~MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
& `9 F9 y* e' X* Z# M7 w5 Q+ i. V可能任何工艺都有这个cap,   d6 l! E8 w& i+ r9 m% I# M

# l1 R  f* r! Q) |MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,5 S: p0 p' C. s% Z
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,& r. p% N& L3 i- d1 P3 z
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
+ ?1 u6 o9 a6 i0 f9 Q) ^( j7 j$ G. k% j4 q! J# J  z2 G

7 w+ S$ i; @+ ^8 E( |    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
1 f% \+ j1 R2 G2 N    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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