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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用$ D1 n5 D+ |( H7 Q
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
% {9 e* s# _! S廠建好的 製程try過比較沒問題
/ m6 c& m% O2 p1 A9 _
5 O* b. d1 `0 G, _) a& X2 t) W自己寫一個spice  model  容值抓抓看
% T4 c, X' e, H8 v# }( ?- \9 q. B1 j: _  t. }4 |3 A& W4 X
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
: y5 L, g5 P9 L可能任何工艺都有这个cap,
+ x7 x1 }7 L0 V' N: }$ H/ {% ~, ?, \2 Y
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
1 y1 Z! N/ m) x( R5 [由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
* b% N& a: V% H4 j3 F% T, pMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 6 k! l( }+ f# s. f8 l
6 \1 N4 F8 F3 k$ q, D

# \( X8 g8 r2 K; z    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
+ M; d- F& G, n. v; B    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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