Chip123 科技應用創新平台

 找回密碼
 申請會員

QQ登錄

只需一步,快速開始

Login

用FB帳號登入

搜索
1 2 3 4
查看: 16175|回復: 2
打印 上一主題 下一主題

[問題求助] MOM電容佈法

  [複製鏈接]
跳轉到指定樓層
1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
分享到:  QQ好友和群QQ好友和群 QQ空間QQ空間 騰訊微博騰訊微博 騰訊朋友騰訊朋友
收藏收藏 分享分享 頂13 踩 分享分享
推薦
發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用1 Q9 x" r# N/ ?; [+ r4 w" H9 c
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
" Z; K( n5 I9 k# E+ P5 I' j( T廠建好的 製程try過比較沒問題$ p! N" |: v3 `

% r) d* W% l- S自己寫一個spice  model  容值抓抓看5 d7 @/ S0 u; j4 c6 J5 ]. D
8 a% w% S; h& m
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,& D; i% j" o; M6 r+ \/ ~! X6 p
可能任何工艺都有这个cap,
0 d) l* w0 P7 C6 b. Z  r
8 [0 x) P9 E' s# s. ]MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,0 A. o3 ?8 @  c3 e4 P9 M
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
1 L- }* H$ E  H5 R  e% z" j$ d5 aMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
回復 支持 1 反對 0

使用道具 舉報

2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
3 l) |; I7 a6 X" H2 V
+ i2 v, q* i5 ^5 a, K7 p. }) O( e9 k" D0 G# P. Q) Y) R1 A2 D
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,3 O% m/ h7 t' Z$ X2 E5 N8 I8 u
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
您需要登錄後才可以回帖 登錄 | 申請會員

本版積分規則

首頁|手機版|Chip123 科技應用創新平台 |新契機國際商機整合股份有限公司

GMT+8, 2024-12-8 09:42 AM , Processed in 0.163009 second(s), 20 queries .

Powered by Discuz! X3.2

© 2001-2013 Comsenz Inc.

快速回復 返回頂部 返回列表