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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
) l: t8 g, F; |/ X3 N4 R0 w1 a# V畫的 每間蓋的layer 也不一樣
8 \/ a: d! Y: ^2 v: e( ], ?$ e! `廠建好的 製程try過比較沒問題
; Y- `$ J1 w! Y( U3 ~6 w) k+ N& t+ q; Z- @& b- [! ?
自己寫一個spice  model  容值抓抓看2 N" j1 k  t' S% `7 Z

( Q( l1 R! L$ T& u0 nMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
) D0 j$ o/ }  v6 m9 G3 ?可能任何工艺都有这个cap, 8 N9 S* y0 b. }7 q0 _& {

5 F# P. E% ]/ Y9 }0 KMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
3 b4 m! h* y6 L. l) i由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,. B8 c, U& `6 \2 A& |+ ]4 h, U; y
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 " g, ^* i7 S1 d! H

/ U% S7 z; D: I2 _# s5 @( w
* `* m" O. Q" V( T- i    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,, o: Q# x# y4 q  F( ~
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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