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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用7 T( }5 F- k3 O/ a5 J
畫的 每間蓋的layer 也不一樣1 {2 M+ x  d( F! ?/ r3 `5 _  U: T
廠建好的 製程try過比較沒問題
4 [' ^5 ]" c; P1 T+ Y
' l4 T! q6 x5 h0 D6 D4 U  U9 f9 i* R自己寫一個spice  model  容值抓抓看/ t' U0 R! S2 v7 E0 H

9 b/ w& }% [/ H, c. M6 EMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,# V6 M$ o& z' Y8 X5 b) w  L
可能任何工艺都有这个cap,
9 K9 H8 Y' V; Z) ^2 U; o
0 k' B: b% k" c* EMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
) y7 }; U9 I+ o/ E" ?+ L由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,( R% I! D6 _7 h7 J- y7 K+ }3 L
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
& f, ~& f( T/ s% O
6 ]' C4 c, e- v# s6 V5 Z* U5 U1 f( H0 X9 `
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
: L1 p  Y0 E+ A4 i* y" Y2 q  l    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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