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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
& [" e0 L. {) c' }% c4 d) o畫的 每間蓋的layer 也不一樣. c; \% ], e3 L
廠建好的 製程try過比較沒問題
* Y* f$ E' {# x4 C% Z5 D! r' G7 {4 N1 I( N4 a- z
自己寫一個spice  model  容值抓抓看; U4 n6 d8 p7 q0 T$ U

( w/ D! b% f/ {3 h8 i1 JMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
0 n: Y* b& F5 d5 X+ L  m, w可能任何工艺都有这个cap, : Y7 R- i9 A. s

$ \" l2 ^; w5 V2 F7 A1 p! NMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,. L0 v  {) D# ?2 @9 Q+ w
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,. B, T; f0 ~' e# D
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 5 l8 S0 J2 ?; t, n) r

4 }, q8 w& a( O- W- R# v1 h6 |" U8 Q% B' W/ p" l- j$ I
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
- I4 A( m0 i" z' P/ X# Z    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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