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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
) t4 n2 v; @1 J) f6 c+ u6 `- T- h畫的 每間蓋的layer 也不一樣& \( D* ~3 l' G  C8 \
廠建好的 製程try過比較沒問題* R7 L, s9 {/ @" X
3 w; O' G8 {6 }* E# o1 j9 x+ A
自己寫一個spice  model  容值抓抓看! ?# E9 f9 a) j

8 R  F$ {2 X5 @& g  B2 s4 rMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,- l% \/ ^4 o! W4 a* l  ~
可能任何工艺都有这个cap,
* N( U5 k& [" o8 F
3 |6 H9 p& n; y- T+ O& mMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,! X: E4 f! i3 P  h- Y9 y# Q  d. F
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,% T/ [* m( n3 y# o/ z
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
) @" O; T) i; ?/ K# v. [1 x' F! _: {. c9 g- _

* o) _  w+ }1 D: H0 ^6 N8 N* T: ~    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
2 h" V+ W- ?- M  V1 L, H. G4 j3 h    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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