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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用5 c& f5 R, |3 G  C
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
  z) a+ z9 y3 C9 [; b& c) E廠建好的 製程try過比較沒問題8 ^' b. w+ t6 L* @1 N& l% `3 q
7 B! c% S2 S5 w% F1 H/ |% H7 R) ^
自己寫一個spice  model  容值抓抓看; f7 z$ G7 e; s/ D& b* [2 e8 r
$ W, e% }; n; |
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,( ]# ^. Q5 J5 |  `; U1 ?3 X, B% }
可能任何工艺都有这个cap, . l8 c( M! [, p+ q9 L

' L1 E% @9 N8 e5 }" k9 EMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,' ~: ~: B2 q, V2 F
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,$ D, Y& H. I! S
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 3 C$ O8 e! y' E7 n3 k+ i1 M4 f

9 Q! k- B/ j! l. X2 m. h0 ]
3 J: d  B% c: V$ u2 j4 E1 H    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,* B& E& m; E( @) B
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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