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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
9 a3 |4 P7 M0 J; c3 [, k% Z畫的 每間蓋的layer 也不一樣+ F" U$ L8 `4 ~( o" e
廠建好的 製程try過比較沒問題0 \0 V4 V3 A2 l2 p, S

9 h8 J1 J  |- j/ }- r4 n& p6 C" h自己寫一個spice  model  容值抓抓看* s8 J  j) q3 M7 g5 f4 m
8 w+ O& R5 k% n; n: j
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,3 C2 w$ _. |; n/ ^- O" d! J
可能任何工艺都有这个cap,
1 E+ `- V5 O' H% ]) R$ O# H/ b  c' w6 w2 M! f5 @" {
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,3 A/ O3 ^3 X+ N# o: s  e
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
- g3 p% J% [6 B5 R4 h# k% s$ GMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 - |& [5 b8 @/ y% v+ p

1 O; _0 L$ z2 W, {" W
2 S, q( x' a3 H) Q0 X) s    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
7 d7 }+ }+ M7 G    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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