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有 froundy kit 就用5 Q- `1 {3 ^3 N5 M4 T7 e
畫的 每間蓋的layer 也不一樣, k5 g' m/ F ]8 W' F
廠建好的 製程try過比較沒問題5 F' ]. C e" l* I8 y2 Z8 _
& [% d2 |$ l+ A* _2 Q自己寫一個spice model 容值抓抓看( n7 ] ~/ z' ?: h/ Q
* H6 p, D, b9 k) SMOM 是tsmc的说法: metal oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
7 m9 P0 G) R& V; D& e可能任何工艺都有这个cap, * V- {5 t+ q) o. }
! \: V1 F, N2 P' V t, j T6 X. a
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,3 E+ b: V, C7 Y
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成, logic工艺是不提供的,
$ l9 |3 |$ L, w, E( j# AMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍 |
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