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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用$ K: M9 w% {' n; M  n7 p
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
* S4 D% H4 o- B4 Z廠建好的 製程try過比較沒問題6 |/ u1 x8 w2 w* n7 w# K" H: {

! O+ t8 X9 H/ I) [2 V自己寫一個spice  model  容值抓抓看
- J% o( x( t% ]8 l4 Q3 x) g( ?, B' p$ Y$ P8 d+ W5 q
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
8 S! A* E# O3 h2 `7 Z, p/ k) T1 w' Z可能任何工艺都有这个cap,
) @8 n5 ]) @$ w( G0 J2 x6 T: a, A& e
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
& w* _& G) p# |: p由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
5 ^/ |: Z5 A  ~( w; Q' J* v" M. `MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
3 ?) p2 j+ X% i% [% u/ y" S& r, m( {. r& |8 j; O

& T4 D. E5 O" s    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
/ H" D- `) ?4 B* |    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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