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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
( k) T9 l, C" ]8 ~" T畫的 每間蓋的layer 也不一樣! Q# h- [! X4 }6 l! b+ o
廠建好的 製程try過比較沒問題
7 @7 ~6 _0 Y" Y. z* A- H2 p* }
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
+ A# O& k+ |' \6 c4 E
) B. o; f& X( o. y" f! z% KMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,3 W9 Q8 W& ?3 M8 X
可能任何工艺都有这个cap, 5 y' E0 Y* u% V' {0 q, u& [5 e- R' A
  l# X/ |$ J' n" r% h9 e2 d( |
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,4 v! {5 C$ c8 `7 E8 S4 A/ Y1 H( F
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,, W# F. K7 v* h/ X; T$ B
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 * }/ p8 h- n! z* D0 t

+ N4 l/ ^- k5 a9 i- N0 ~+ c) K
$ J( [7 m9 r' Y4 I- E/ C# j    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,5 W& \6 {1 c) i$ I( f7 i
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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