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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用5 y1 f& a! [, C# ~/ J% k5 Y
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
" Y2 U, p4 s  J) _0 G( N' h7 u廠建好的 製程try過比較沒問題
( `( f( h8 l) Z! m3 m- P/ b0 d7 F6 [) m; Q8 X9 e
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
7 J) f& M; m8 l, q
; s8 g8 a; o- I7 J% [MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
7 l8 s' q7 ~! b: M" N2 }可能任何工艺都有这个cap,
6 V6 u3 y4 t5 @$ u3 R! C
; l. B2 b7 C7 G6 ?- z: L1 r9 `) JMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
5 g4 t' l, j: K) R1 O由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
  S) C9 M& y. b7 F/ ]2 p3 H0 MMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
1 r" q. q9 p3 i$ K% F7 b- Q  n0 E8 u( g" q! x9 g

" {5 `3 |2 l2 ~2 L    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
! U# }+ U3 x3 p* Q    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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