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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
0 V5 X5 i1 ~8 X9 O; b( j畫的 每間蓋的layer 也不一樣
' P) x# [5 `7 J! R" I2 `$ j: V' B廠建好的 製程try過比較沒問題: `4 ?" J1 a! {2 O  I* k

3 Q1 z# Z' M6 J自己寫一個spice  model  容值抓抓看
3 c' a$ w8 ]. ]/ ~; v) q* J
7 R3 N! G7 D+ ^! b0 l/ }% rMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,8 c  L! u, w' g$ \2 @
可能任何工艺都有这个cap,
+ N" \& t. C+ @, O- |) b; v
# F9 w' F9 R1 n! f! n/ A+ x8 f: GMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
) s3 `& T. C. s7 M由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
7 u# O) y# G4 S5 [, F0 gMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
% h! y9 b, z2 n4 T/ Z, C$ V3 w% U$ v4 g- B* v+ F+ Q% }) c

( n3 }% Q1 {$ y% l7 G    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
% t8 S0 l/ q; C- ^" X6 h. [% u3 C* d    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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