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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用3 r$ o' s. C0 u; k% e7 ~
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
+ e, C1 b8 L+ A3 p9 F! D5 n廠建好的 製程try過比較沒問題( O1 W) `" W8 t" n. }2 O2 l1 i

2 X. W. C! y8 [; n9 T0 g" ~自己寫一個spice  model  容值抓抓看
9 C6 A- w; y, w$ k% P0 Y, `& S) Q% x7 R( k, j
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,1 J( D- P! y1 E, e
可能任何工艺都有这个cap, # e  E4 f( p% J: v# M- F
, I" b) D- {  L: F' T- O' y9 l
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,0 y  C- V3 _0 S% m
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
0 g8 J5 G" R8 ?! E* B6 TMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 , \* ~  e* J. T3 }. n

  w8 V" }& T9 M9 s7 z
/ z; X3 g0 A; k& Z8 `$ R0 l- g3 j    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
# Q: ~8 u5 Q, {/ A, X! N    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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