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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
. K" }# r0 W# H0 s4 Z畫的 每間蓋的layer 也不一樣: u3 w9 U* t$ Q' n
廠建好的 製程try過比較沒問題9 Q# N, y1 M- A7 c4 x' I5 D9 M2 c

  N; E6 T" o. K" n/ D) |/ b自己寫一個spice  model  容值抓抓看# g; w$ p, h& a6 b! P: k

/ i9 s5 e' w# T  @* p  kMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
' K" i* A/ A( K* K2 W8 I可能任何工艺都有这个cap, ) m: a; [0 l7 a, }# W

; V  O( v7 Z# Y# z/ H1 b7 p! Z* yMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,. l% W1 o& j7 O) x
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,6 v% M' w* i; B4 Q. D9 U
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 $ T2 g4 l  o5 m

% D  d7 _7 W0 v/ \5 _8 i9 }/ f0 ?
, B, j) s- e" s7 T' }. S3 F    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
6 e- c$ z6 h; r0 G0 I! W7 x    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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