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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用+ N9 u& G. w/ }$ f/ R$ y. L
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
. r4 R& u3 W  A2 P  a& @* h& |4 n廠建好的 製程try過比較沒問題  R9 Q# K; r" h8 l6 Q9 o! G' V. E

8 m1 q9 A+ G7 T& h* [; N7 d自己寫一個spice  model  容值抓抓看
% x1 ~) m! L; E  `$ P1 A) o) Y/ G' D" ]; o" j
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
, Q3 }* w9 v$ i: g6 A" @! r$ x可能任何工艺都有这个cap, ( o8 h, Z3 K! d; l' x" x" U5 C7 O
& ?! d) _# W4 w3 f
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,4 {# w- G! r) W1 ~* e+ r
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,: I/ P$ y7 R7 L1 a5 d* F$ G
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
5 y1 F* r) F  w- m
) J: k0 s  y+ D: Q* o+ C! n+ E8 `. f( C
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,7 H! e. w( Z2 M* B
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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