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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用& T  w; Q& Z" \- Z% a& H
畫的 每間蓋的layer 也不一樣, F1 a! n& D5 k0 d& h% b
廠建好的 製程try過比較沒問題
& h3 b$ k  U4 P+ @  o: h4 v  z3 Z' Y) ^
自己寫一個spice  model  容值抓抓看! _: B8 Y! h# T& ?' m
; r6 Q+ j) r- G2 N6 J: v5 u/ F6 s. E
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
& o0 j! z/ g4 Z( H4 g可能任何工艺都有这个cap,
8 v+ a$ X' k4 y( `
. a. z+ V& {4 H5 A, [# F- l  rMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,& s$ z6 \3 H( H" `& x  z2 x
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
( }% S1 [. U, @9 Z4 w+ y- gMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
( U. o. U/ n' M( O
$ e2 X" }0 l/ B3 K" h) r) }. N
2 K. b( A0 L+ C) y; }2 ?0 w    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,$ i; }( ]8 m( J' [
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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