Chip123 科技應用創新平台

 找回密碼
 申請會員

QQ登錄

只需一步,快速開始

Login

用FB帳號登入

搜索
1 2 3 4
查看: 15983|回復: 2
打印 上一主題 下一主題

[問題求助] MOM電容佈法

  [複製鏈接]
跳轉到指定樓層
1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
分享到:  QQ好友和群QQ好友和群 QQ空間QQ空間 騰訊微博騰訊微博 騰訊朋友騰訊朋友
收藏收藏 分享分享 頂13 踩 分享分享
推薦
發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用& }, ]0 A, e1 Y$ ?3 l; K( N, k7 _
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
* o+ g/ w. M$ c) r廠建好的 製程try過比較沒問題
" q# R+ _9 `1 y2 c% P' z* t0 p4 A9 \1 Y- M. w& d
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
/ D9 K- G, [& T7 ]1 H( s4 }& s5 ^+ h, p7 y  v" h: s5 A
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
0 O# x  D. N/ x可能任何工艺都有这个cap, , U2 M5 Q4 V9 ]# N3 X; q
) G6 e* T7 q6 L2 F, c, H
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
4 m8 j3 h; F# k3 B' M% t5 t由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
, J8 R6 k) d% ^( b% x  MMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
回復 支持 1 反對 0

使用道具 舉報

2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
$ k/ Y8 H) E( s+ P0 {5 ]+ N8 Y6 r
2 t. U, ]. X/ h/ ^7 d) ~; E# J" B: i1 f
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
2 J! h& [' i5 r3 ~0 k( o0 |    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
您需要登錄後才可以回帖 登錄 | 申請會員

本版積分規則

首頁|手機版|Chip123 科技應用創新平台 |新契機國際商機整合股份有限公司

GMT+8, 2024-12-5 01:29 PM , Processed in 0.162009 second(s), 20 queries .

Powered by Discuz! X3.2

© 2001-2013 Comsenz Inc.

快速回復 返回頂部 返回列表