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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用9 M( ^7 k1 q! b) f0 P
畫的 每間蓋的layer 也不一樣! i' a" c8 d1 ^6 W& ?- P
廠建好的 製程try過比較沒問題. J0 d8 l4 ?% @7 i# A& u
" i  X; @+ E* Y( I
自己寫一個spice  model  容值抓抓看1 y' H3 I* Q- n- o! J
3 T7 U$ G4 W* ^
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
* z/ q! n- i0 e$ ], M" `8 c可能任何工艺都有这个cap,
1 O- [- \0 M* k  e/ @! a# z0 E4 |; p
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
5 T' a0 D+ n8 J3 |! @# F0 o由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
+ D& e( X. M/ t) e% O9 W- |$ q/ zMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
& y; }3 v- c6 N' ^8 j( D  ~; y* I( p, L- M: j6 B7 _( D: [

' `/ ?7 w. c# G& o& C* a    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
5 Z  x% e- o: B/ m2 \9 D6 H    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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