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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用( z8 `: Z2 m. z# b
畫的 每間蓋的layer 也不一樣: P+ h  z0 z. G, ^/ P$ l& E0 E
廠建好的 製程try過比較沒問題4 O  F! P0 V( D1 f7 h( @

( F- l+ v3 O2 y: q: t+ b5 g自己寫一個spice  model  容值抓抓看3 B2 y, t: L) {. V/ G5 i# @

4 u$ Y) H, ^, pMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,0 k  L6 x/ p4 c! e# Q
可能任何工艺都有这个cap, & Q8 h4 h0 u! S# O( n6 E
2 Y) {; ~4 L; u$ E6 q
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,, X9 y8 n! M3 W, T6 W$ N- v
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
8 ^9 Y9 P' U2 e6 R! SMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 ( Y  e6 S9 b) k

2 W7 ?: O, z2 m: k% S
- \2 C* k' h, r3 b# a, x4 \8 i    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
9 l# u7 B1 y  C0 M. U) P    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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