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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用/ W9 J: f! M; `/ W
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
* ]3 \4 U! q" `& A0 M' z7 h廠建好的 製程try過比較沒問題9 \  A% }) t( c2 s! u

" _, R4 j) Q1 j$ c' S7 Y; y自己寫一個spice  model  容值抓抓看* ^/ @7 o2 l- u& I3 e; X2 K; n
' x+ s9 J- Y5 S* _2 Z/ e" T, `
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
$ r+ H9 U& Y. Z, w7 K: p7 t( H可能任何工艺都有这个cap, , h. b- i$ A7 d! t% S. j
# ~4 i2 r7 \% n+ v8 K8 ^: p
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
; g- h) l+ l3 Q" Y: w4 _由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
, g6 h# c2 @1 hMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
  H" ]* _7 c" Q3 `4 `; L; v1 Q' w( m: C$ p+ L6 |) A
2 w. w2 M8 @. h. {' ]
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,' k1 {- B) M7 I  q4 w
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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