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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
8 ?# E. @. Y3 c畫的 每間蓋的layer 也不一樣* x" n$ i: p) X& v: d- p9 i6 M  s
廠建好的 製程try過比較沒問題6 J: c3 x0 q( m2 p2 u9 u5 Y5 S
+ y; q' e3 q2 v/ d! }  G" c" P
自己寫一個spice  model  容值抓抓看9 i5 U: _8 D* W& f

6 `4 O, P, B  e' L4 g, [MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,9 N2 w7 q: s/ y; M
可能任何工艺都有这个cap, 1 Z. ?2 ^. \% v

2 ~0 v- j5 `/ _+ p4 j4 j1 HMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,# c" A3 F0 V- |
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,5 ?# K, y* u$ G6 H8 X3 N% h
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
; ]' ^$ h* Q( {! \( M7 w8 L8 u' e" M6 r$ n0 Q# j

/ l! {$ O" b( \& P' ?    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,2 ~' X' k7 [% R* C" U) ^* L
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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