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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用: i8 R+ a( O( H5 [; W$ B
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
# D6 X5 M/ m/ B' ]廠建好的 製程try過比較沒問題
8 C1 j8 B  ^5 E  B
4 k6 Z# I- |/ L7 Z6 E% u8 ]自己寫一個spice  model  容值抓抓看
1 b7 [# o$ \7 I0 f8 G# `
5 \8 o9 z+ E. ?. r9 \! TMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
" U/ I7 \2 B0 [可能任何工艺都有这个cap,
' h# t# Z& z1 D# p9 A; A2 |
' b& P! ~9 S& ?/ V( k" lMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
( g, u1 t; T/ J! T* S% I由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
. x) F" b% q1 N. kMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 + ~0 G; N6 ?7 ^/ I" u: J, @
# d9 m- b0 A3 J. ~5 ?  C- Z" ~
: Z, t, k4 I# S( c
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
/ K. _0 P+ `9 w+ p# {    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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