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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
! c3 T' i& z' U; e9 R畫的 每間蓋的layer 也不一樣
; ^  U( ^+ t- D. ?( y廠建好的 製程try過比較沒問題! s2 R( d$ v$ q7 r- T* E

" V3 C" S* B; S. j- O自己寫一個spice  model  容值抓抓看8 f/ _* \: Z% O/ V1 E# z/ @: M, d
4 N8 |$ v7 P- o- _! H
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
3 o* ~- \3 J/ g5 L  L" U6 P7 o可能任何工艺都有这个cap,
- H! H4 G- r) R& |: E2 G0 v/ A  A
" [0 M5 M6 N" _1 |MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,8 i9 T9 J+ C5 N0 [
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
6 k& U' j' e3 E% MMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 * r( i% L: w5 m/ Y9 ?- {/ x
, i+ G: N& |% ~- Q

0 c' C9 o; d7 I5 U4 L+ K& t    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,* l% z% z& X7 u+ ?7 M
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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