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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
% x% T1 Y! y* K/ h/ p畫的 每間蓋的layer 也不一樣
3 D% T4 A( z2 X廠建好的 製程try過比較沒問題
# b" s/ D7 c# H  r  O2 x! A- f1 X' q) [5 D
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
! I% O9 K8 g3 B- V' `
7 F+ U5 k# N5 _MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,; ?2 Q9 D- ~" C0 Z
可能任何工艺都有这个cap,
4 _( o$ g, J1 c: z  W+ d) W/ v8 \5 V' M
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
3 I" s% [3 k5 M. i' ^由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
5 V1 H7 T! Y/ ?' [8 dMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
. |7 I5 y; ]1 m- ^8 m
1 [; k7 ^" h; d
8 C- z2 K! ~" w0 P    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,7 i* k; f. C. S! V1 O% n: B) N& @
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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