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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用0 i8 r8 K) d9 h( G# j' w
畫的 每間蓋的layer 也不一樣& X. P2 ?3 ^) R. D/ N$ W$ Z6 \
廠建好的 製程try過比較沒問題, v5 R' s8 `+ e5 K
7 R6 N/ c  ^$ A# c6 X
自己寫一個spice  model  容值抓抓看& l) _7 g, |8 F* l" o/ X
7 H1 F# V0 N- u1 X7 ~0 \! m/ C8 y! T
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,/ I$ \! b% R7 E" T/ P8 R, w
可能任何工艺都有这个cap,
" @$ J3 A$ u% f9 g; w. _, e6 a$ L& k- l* n
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
6 H! n# H+ {0 ^由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,1 z& c; z1 G2 H5 e& w5 R
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 ) V( O( I# ?; }
+ k- D. d7 G: N. I6 c! M4 U
' F7 W6 M# k6 S
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
; u2 v. |; e3 T4 k0 C    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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