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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用+ X2 `) x0 q9 c7 t
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
& C* ]- i2 I8 o! q* c# K% m廠建好的 製程try過比較沒問題
# }) U+ h+ d$ @9 e; Q* Q
% s" `% N- u+ p5 g/ H. T5 t自己寫一個spice  model  容值抓抓看
0 g  U/ Y  n$ T( ]% f
- z8 u2 ~: S* K8 _0 m! ?; Z7 FMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,0 L& {3 S4 k3 z& [3 P
可能任何工艺都有这个cap,
9 S9 z" W( B2 K5 q8 U* @# R( b
5 S1 J# Z3 Z7 c; c6 oMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
6 Q4 E2 A0 n' n1 ]6 x/ p由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,. A0 ]9 m  P. _3 i, B
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
, l& W* _* n% f5 I; B# X/ |6 O
/ E" h5 i9 P( [$ Z  t6 J( {" p6 _$ X+ D' I2 ?
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
8 a" H* a) @) F# T' J9 O    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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