本帖最後由 bowbow99 於 2013-7-22 01:45 PM 編輯 $ H' E) k% b+ V7 g$ a3 u) y; k+ r
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個人的認知與看法!有錯請指點一下! * i, c* i. K* ]. _# ~1 w' t7 ^2 Y0 b9 ~8 G x+ U
有蓋OD2的OD會變厚,我也認為跟樓上2. 3.點差不多! N' }6 t R: z. f
+ I' R/ C/ s& ^' {% p
蓋SAB會檔著Salicid的形成,使阻值比較大!如POLY電阻有蓋就比沒有蓋的poly gate大!2 R A, F! {* i
能不能計算電阻!我覺得是由另一層Dummy Layer在計算的!只是蓋的範圍跟SAB一樣!