達思推出不使用氣體燃料的廢氣處理設備SPRUCE

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德商達思公司(DAS Environmental Expert GmbH)日前推出全新的廢氣處理系統 : SPRUCE，該系統之運作可完全不需使用氣體燃料。達思公司廢氣處理事業部總監Guy Davies博士表示：「新系統使我們的產品線陣容更臻於完整。我們注意到市場對此類系統需求相當殷切，因為許多半導體晶圓廠希望完全不使用氣體燃料；而對於業者而言，如果能夠避免安裝氣體燃料饋送系統，比較容易翻新裝有廢氣處理設備的既有晶圓廠。因應此頗具規模的市場，我們的系統將是最適選擇。」

; X% E' r3 W9 O1 y" W$ O+ ^  V具成本效益且可靠的廢氣處理機制

. F0 v. ?$ E8 t8 XSPRUCE 是專為半導體產業之CVD(化學氣相沉積)製程所量身設計的廢氣處理設備。這些製程所使用的製程氣體通常具有毒性、高可燃性、爆炸性、或者對環境有害。SPRUCE透過具成本效益的方案，能可靠地清除工廠內各種廢氣的殘留氣態物質。該系統的運作原理，是使製程廢氣透過最多4個分開的入口傳至反應室，再以電力從外部加熱；反應室內的熱能會分解廢氣的分子，之後依據其化學成分提出不同的反應。在後續的吸收階段，過程中會產生氣態與固態的成分，此時再以適合的吸收液體來冷卻與吸收這些成分，完成後，廢氣會透過冷卻與清潔的步驟由屋頂排出，而不產生任何有害影響。
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! r2 p0 g' k! z9 L# [3 J# ]2 g佔地空間小、持有與維護成本低廉

% n6 o2 s6 @# x/ ]) S9 A該廢氣減量過程中完全沒有燃燒的動作。由於設備佔地空間極小，因此可安裝在晶圓廠的地下室或直接裝在CVD系統旁。SPRUCE的特別之處在於其低持有成本以及高系統使用率。內建在反應室的清潔機制，使該系統可確保長時間的維護週期，並能輕易地整合至監視網路。對於要求接近100%系統可用度的應用，達思則特別開發出衍生機種SPRUCE DUO，其擁有兩個反應室/水洗系統以並行運作，當其中一部系統進行維護時，另一部系統可立即接手所有廢氣處理工作。

+ h0 u1 B. V7 ]1 d% @$ B關於達思
- f, x* z$ r4 C- z; U達思公司(DAS Environmental Expert GmbH) 成立於1991年，總部位於德國德勒斯登市(Dresden)，為使用端(point-of-use)製程廢氣處理技術與系統之全球領導供應商之一，產品並已獲國際知名半導體、TFT-LCD、LED/OLED，以及太陽能產業大廠所選用。達思公司亦成立第二事業單位以專責研發工業/城市廢水處理之技術及解決方案。該公司目前於全球擁有員工230人，近年之年平均營業額為二仟一佰萬歐元。