請教DRC Error (dummy) - NO.IND.M1.R 1

mrj0702

各位好：
- [5 R+ P$ Q1 v& K' e* W我是在學的大學生，接觸Layout的時間並不長，所以請各位多多包涵與指教。

我使用TSMC的PDK繪製了一個OP。
& W) ~0 V& s, `- L
在下線申請的假錯列表中，有幾項DRC Error是不能忽略的。
) H, N  O1 y) @( g: r5 {5 UDensity的錯誤(NO.IND.PO.R.3、NO.IND.M1.R1~M5.R1、UTM20K.R.1)
, I. I* b# K$ X' D/ o' u9 a
! T. z3 D8 n! G& l因為我不會使用輔助工具來自動填補，所以OP旁邊的Dummy(5um*5um)是自己手動補上的(範圍1mm*1mm)。
我試著將M1-M6/dum重疊，不過這些Dummy的錯誤依然無法去除。
- A9 |- b5 S' [) k! S3 c/ n我想我肯定是漏了其他金屬層的Dummy，所以這個DRC Error 才會無法去除。
6 m/ ~. [& q0 J8 ?; x5 [% s
: e& s4 L7 G. ^0 @* W1 }% J有前輩能夠指教如何自動填補Dummy？或者手動補Dummy需要那些金屬層？

glavine

那個錯誤是密度不夠 po密度要到14%
其他m1~m6都要填佔整顆晶片的30%

ONLYFLYSKY

. |! z/ S0 \. x( s' E3 ^; q3 h
要補，，因為是看整片WAFFER的面積，至少確保您的部份是OK的 ，所以後續CIC在補不足的部份不用補那麼大的面積，對他們來說是省時省事，也確保在補時不會動到下片的人的晶片，這是看空的部份來禣的。
: q2 J; I3 L4 v( i$ V

不用補，因為是看整片WAFFER的面積，你的沒補，或許可以靠 其他人的來補償你不足的部份。--->等你出社會時跟其他業者搭BUS時，製程廠如果可以讓你忽略，也就是他們可以負責這部份。

mrj0702

謝謝兩位的回答，我已經補上並成功消除這些錯誤了。