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. E- \$ F' w2 W, o, J3 }在國際間正以國家標準發展程度評估該國經濟力之際,我國國家度量衡標準實驗室正式宣佈,該實驗室所建立的真空原級標準已成功通過國際驗証,達到ISO/IEC17025第三者認證的水準,可提供國際認可的真空原級標準量測技術與校正服務,有助於太空科技、國防工業、奈米科技、半導體等產業發展。 5 A( y/ y1 t$ z0 r3 R2 }9 z, S
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國家度量衡標準實驗室主任段家瑞表示,真空標準是高科技發展基礎,在各種關鍵技術尺寸、精度已達奈米級要求下,很多關鍵製程須在真空環境下才能完成,產品愈精密對真空技術的要求愈高,技術難度也愈高,因此世界各先進國家之高真空原級標準,多由該國家之標準實驗室建置並自行研發校正系統與設備。我國已建立真空原級標準,並和技術先進的德國物理技術技術研究院(PTB)進行雙邊研究比對,採用旋轉黏滯式真空計(SRG) 為傳遞標準件,量測範圍10-1 Pa(10-3 mbar)到10-4 Pa(10-6 mbar),比對結果雙方一致性達99%以上,證明我國真空標準已達國際水準。 & F" d/ E3 m w S) H7 Z
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負責真空量測技術服務的李心澤主任說,真空量測技術是掌控產品品質的關鍵之一。舉例來說,在半導體製程的真空薄膜相關製程中,若真空計讀值不正確,就不能確實掌握製程環境所需的真空度,也就無法完成特定製程,導致半導體產品良率大幅下降,還會提高生產成本。這也是我們國內半導體龍頭台積電建立其真空計校正實驗室的原因。透過國家標準實驗室真空原級標準的校正追溯,可確保真空計的準確度。因此有助於控制生產成本及產品的品質。而國家標準實驗室所出具的校正報告,因具有國際度量衡大會相互認可之CIPM MRA,以及實驗室認證組織的ILAC MRA、APLAC MRA,可直接為國際所接受,解決產品輸出的非關稅貿易障礙。
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李心澤表示,國家度量衡標準實驗室並於今年十一月邀請紐西蘭國家實驗室專家,進行財團法人全國認證基金會 (TAF)主導之國家標準實驗室真空能量及真空原級標準校正之ISO/IEC17025第三者認證,透過認證未來真空原級標準校正亦將加入真空標準能量登錄於國際度量衡局 (BIPM)之量測能量資料庫並列入認證校正項目,除提供各國參考應用外,同時提供國內真空科技相關產業國際級的量測校正服務。 |
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