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[問題求助] TSMC 0.18 MIM電容LVS錯誤

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1#
發表於 2008-12-25 14:04:26 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
請問各位高手.我已經畫好了一個MIM電容.
+ y& e' @; h. p$ A9 n2 p% c畫法如下.' `* e. M$ }, m  o. A( W+ \3 A
1.先打上VIA56
& q3 L5 Z# _# h7 b) P- k2.用CTM5和Metal6(這兩者同樣大小)覆蓋再VIA56上7 {" W& b, |9 v/ {6 v
3.再來是Metal5包住.略大於1和2
0 L- }  \# z' E& z2 b4.最外層用CTM Dummy包起來9 y6 w' @0 X+ t3 C& k' z
- E9 f5 B* e) K- z, X2 ^: A, I
DRC已經確認過了.但是LVS有誤.
' P4 J; y! B; S$ I$ `! X( r8 Q. Z0 c7 h( f
LAYOUT NAME                                           ne  SOURCE NAME 5 f9 H" o' {- u" N. h9 x
************************************************************************************************. R) M* n1 F0 M0 v2 T
C0(-96.425,-81.585) C(M5)                                C0  C(CP)
$ F; x& Q0 x# Y/ i! t
  bad component subtype" K: y; p5 _8 Q5 H

  A  x& m& Y4 G9 x: J2 F- E0 Z, V: _3 S0 y4 W# Z
請問是不是我有少包了dummy之類的.因為layout好像是只有看到M5.但是.sp檔是識別成電容!9 L4 B+ }1 K- e& B) d; w
謝謝各位啦!!
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2#
發表於 2008-12-25 15:27:40 | 只看該作者
怎麼看起來你的SP檔是要你畫POLY電容的樣子?
# U/ m; d& e: Z' m) T0 }4 _你們的MIM電容在netlist裡是定義成怎樣的TYPE?
3#
 樓主| 發表於 2008-12-25 16:49:32 | 只看該作者

回復 1# 的帖子

感謝J大.我已經解決了!
. X" i( r' A5 v) q' r; U果然是你說的問題.
0 B, ~- ?& l, o% ~我的schematic呼叫錯了!& f9 g0 G3 e2 j( @3 h" n
謝謝你!!
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