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以上的幾位回覆都有相關性, N8 A4 M5 D X+ G4 B
首先
2 B6 ~: w$ f2 M. e2 L! r/ ccommand file是人寫的,寫抓圖的方式和檢測方法與條件都會不同,會造成導電與否誤差$ ^- N$ w0 [: P0 b: Q4 m
在comman file課程中我通常會說明open與short的原因和解決方案:8 Z0 N$ p( ^3 c& x, q9 B
1. 因為text打錯而造成的/ l6 x+ c, I# e, E8 T* |) f$ a* x
2.因為轉接層connectivity的設定錯誤而造成的3 u2 E+ o5 Y/ w
3.不同極性的離子濃度打在同一幾何圖形區域→只顯示diffusion以及pplus和nplus- ] o$ D/ F) E2 N* A
4.錯誤的使用command file指令& H& C# j& I# z, n
( a: @% ~$ h) Z7 H, V這些都是實務經驗9 G* H: a5 d! K: o+ r2 w
這些問題輕而易舉的寫command file去偵測抓出來,當然也是可以去trace,但萬一是whole chip....這樣就不聰明了。
; r9 h- h4 P7 Z t. `3 F5 Y我比較傾向寫command file去解決問題。重疊與非重疊就可以解決離子問題,轉接層可以利用指令偵測即可...2 {, j; i" N6 A. ]4 o
3 d8 U9 W6 |& H. {
簡老師9 o8 r6 h& z' i: [
( j( K. v8 e$ T) t2 D, [[ 本帖最後由 jkchien 於 2009-9-16 02:26 AM 編輯 ] |
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