metel 走線寬度

day97911

我用0.35製成
想問一下在製程黨可以看到各個材質的metel的單位寬度可流過多少電流?
3 \% R! z# Q. v# f( z6 M+ D
因為想計算我畫layout時MOS間的接線要多寬要計算他的current density
: I, X3 v5 _) l0 B( N4 C
1 w- R+ G, w& f* O; j謝謝大家!!!!!

klim

除了P/G之外, 其它走線都是用最小的width, 我可以給你一個參考數據, 是為了要過ESD的metel width至少為30um.
不過, 我有另一個問題, input pad都會串接一個幾百ohm的電阻, 一般而言都是用NW diffussion來做, 如果改用POLY, 其width為多少較適當呢?