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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:, _+ V4 S4 Z S6 U j
3 {" x2 Z L3 u" s% MJob View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的2 s8 a P3 s6 ], i* }6 c
因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
+ ]( |& l; _( d. t1 k5 l9 j ~所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK& Z9 ?% M. r. o" W: z/ l; q5 B
我認知的步驟如下:
7 I) {% N. c5 S. q' f' n
; l! b, z, ]& ]) A1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少# H9 a+ E5 D3 H. \
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.' M3 n, n/ n# @' u/ u
5 W9 x- J! N7 P) ]2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)3 D, u' a$ F, A5 {
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
% w. H% b! n, \ 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量( J3 K+ t/ I7 ?
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多): I* ^3 m0 }3 D( _" g
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的# L& W. e j+ m) y: S4 d3 g ^* I
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
0 `3 v( ~, o$ k j2 b
& U. J2 p2 _' H3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
- e/ `) u9 E# n9 r+ o% A 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看
. m, M z) s# b; T0 ]9 U5 M
. I8 {, P* G( o- r- c5 q b2 K7 m9 ~' n4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
1 ~3 o$ d$ L- j0 v
9 i( M0 @5 a( R1 [8 \# w5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc . ^; r! `5 Q& p# Y4 ]9 l
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失. F, k! ~2 U( a% i$ E3 k* n
# i+ O* }1 G) k; m# O: V! d1 U6 m! y
這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
; B/ B4 s D/ P) R7 L0 d' V7 x( Q8 t7 f4 i, B$ }
YHCHANG |
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