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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
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Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
: e& ^8 G* O# `因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK x* V. |) t. J7 s L
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK7 J$ j+ \, X% A# X6 P) m
我認知的步驟如下:
( V# B" ?) t1 x
# P' X3 y+ P. R1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少 Z) c x/ J' E# u* k- F
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.7 [* E4 j0 y/ B5 N, T3 _0 e8 l# ?0 A
" _1 m, }/ r' h& _# S: }2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)
/ s0 c7 @- E! ^$ `, E 如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
; |; v$ q6 }$ u 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
" k# {& i. `0 g2 t' ]+ \" c 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)7 h" d' s8 K8 I& L
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的1 j2 }. ?( D x t; s" u& J
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯6 }- P2 R4 Q; C- Q% S( U
! i/ p0 m( b* G( g8 K* ]3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift/ h! F. L6 i, t+ g$ K' E
把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看
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4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的3 m& x' g& {; W# k8 n, b
* ~* x1 ^0 N$ j6 L0 i# X/ z5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc : |, w/ v C0 G8 f q1 Y
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
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這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
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