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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:( Q5 F) V7 `- g
" g4 I' Y0 ]9 ^# V; ?) G3 k/ N$ E
Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的, V8 l+ @$ C2 E- q
因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
7 M$ b8 v f! @5 h x所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK$ E! h3 \& M: k4 v2 {. s
我認知的步驟如下:4 p6 L) M: W, [9 {3 `6 h5 X
8 |. ]0 a0 z1 y, C5 r p1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
0 g/ G5 M$ A7 o6 T. a0 J 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
& G' ?( x0 z, D* C/ Y! L/ y& L1 l' @ v/ \& {1 ?6 H4 A
2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)
& E/ Z8 J" O7 [2 n 如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch5 n1 x/ Z. [+ i; C
如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量; s1 u8 b" B9 J
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
9 c0 V4 _" S- t# D4 ? 在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
2 R9 M* Y- r, L wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
8 ]% O/ c8 h3 \: y+ }" Y5 u5 D- Q
+ w3 u; I% I9 e3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift8 J! _$ s9 Y0 T/ R
把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看
; g0 d+ X" z; l/ W. t% T8 o3 A( d% X+ [- ^- [( I$ b% r. h
4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
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5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
5 M- S! }/ l; H$ {( |0 h8 H 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失2 S' v5 k. `' P+ N; c/ M
6 [6 A; D9 t% }
這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
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YHCHANG |
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