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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
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Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
+ @5 I3 P) d+ h: ^( R8 Y因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
( p- n2 K# }0 E* i3 s所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK$ Q2 U# E- J( ]0 I" D/ Q5 J; Y) U
我認知的步驟如下:! D" Q( i3 _& Y( o8 E% q( Y
" \ j* g" N. m, K- j9 f1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少2 |0 t; g+ _, D- @2 K7 h
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.! n: r4 Z' }& }
/ r: z( V* w8 v/ t2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)1 P. _4 N( E! G0 [' i& S
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
/ A. O, z4 Q: o 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量" ], R6 r d4 B
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
; x( T# O1 J5 e 在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
: }8 @ D5 F, E' y wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯7 N( u# r" ^8 j7 C, W" W1 {# K3 R
* t: G. N% Z9 t0 i7 j3 D3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
# E7 k$ t$ q* h3 F0 I7 n9 N 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看6 N( s7 y7 a1 w
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4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
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# N; E) j& s9 k* f" U; }5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc / v' Z. t4 | w
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失4 ~ ]4 f- u) ?
4 G: e8 O% u1 I8 g
這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.6 C6 l! s8 {: J9 j
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