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LAYOUT JDV 注意事項

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1#
發表於 2008-4-3 09:14:53 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
越高階的製程,MASK BOOLEAN OPEARTION 越多; a* c. P5 q) B2 _' \0 i
在這裡想要請問大家如何進行 LAYOUT MASK JDV* o$ R. k0 i3 h- u% a( g
是不是可以分享一下作法給我參考呢?
4 W" c  h. \1 w1 y" S
  l7 K) k9 t8 n當我遇到這些mask,我採用的方法是, 了解每個BOOLEAN OPEARION 的步驟及結果...再仔細的反覆檢查4 C( M. [) u# f. m* @$ r; R  G* m
只是這樣的作法讓我花費很多時間在反覆檢查) H6 f5 X+ X* _
還在尋找正確又不耗時的工作方法...
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發表於 2008-4-8 00:43:08 | 只看該作者
這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
' z- r* N/ l3 x# w8 M8 l
- ]. Q) O; ?1 m+ y% g# xJob View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
3 x' O! |3 T+ |4 H3 r# Z因為不可能整顆IC 每個 Pitch  width  spacing 都CHECK3 l$ ~. N0 _0 j# h% c
所以只能用  隨機取樣的方式  做 CHECK
+ N  b* O! v& G+ U2 B  g+ y# [我認知的步驟如下:# Q; [  Q9 x' I/ t" N( G0 o! ]
  R* r' y" |$ M" t
1.  Check  Version  Code  要確定  這層光罩  全部LAYER的 Version code都有出現,  如果有缺少% M9 m+ T1 [( Q( y
     就要跟FAB廠 comfirm  看看是不是本來就沒有放.
# Z7 w9 h/ @$ Y6 |$ V9 w' O- `* g# r7 o5 z' _8 B2 Y* J$ J
2.  找一個 這層光罩  每個LAYER都有出現的地方  (為了便利性)) J9 p& C) H; R& v+ d
     如果這是個 OPC LAYER 就要找  環境類似或重複性很高的地方去量  X-axis 與 Y-axis的 Pitch
4 t# r7 ]! J$ y     如果不是OPC LAYOUT  就只要找  X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量+ p: H& f% o) L+ q
     選擇的 樣本數   越多  自然自己就會越心安   JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)7 a) O# g1 D5 D6 J
    在這邊要特別注意,  如果這層光罩  有  L1+L2+L3+L4    你要盡量去量   Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
8 A+ [% h7 x3 ]    wdith, spacing 或 Pitch  才能夠順便CHECK   光罩有沒有在做OR運算的時候出錯2 l: R6 w' S) C" U/ e4 i/ b1 r( c
0 a$ }* `, p- d
3.   最後要確定 光罩有沒有  Shift
" L/ K9 U5 m" \3 B      把之前VIEW過的 光罩拿出來疊   看看  width,spacing ,pitch有沒有跑掉,  X軸與Y軸都要看
+ Q, E3 H2 {  r# }& N
+ r- |( i9 s" |0 e0 N- H4.   如果是改版的話,   就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的* K, L4 r& n* P+ K( ^9 V& q6 Z% N
. P  o$ {' Z; q; H
5.   如果這層光罩  有很多不同類型的地方,  比如  ESD   IO Interface,  PAD,  Array, ....etc  4 j; M$ F( H2 m, _4 o& d) b
      為了保險起見   最好每個地方都重複  2-3的步驟   以確保萬無一失8 |; z4 Q' W. [9 f# {, D3 S8 j* \

4 O; x7 c7 G# ^' ?) `8 y這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方  也請其他好心的大大補充.
% @; u$ e! J+ W$ f0 J' F7 |0 P# m5 W& Q8 T* ~
                                                                                                                                YHCHANG
2#
發表於 2008-4-3 11:38:15 | 只看該作者
您好:9 r9 A" r; _6 x4 l( ^; j8 W" c1 x  b
   關於JDV(JOB DESK VIEW),小弟從事LAYOUT一年多以來,JDV一直都是簡單帶過耶 - F9 @' _- A) Q4 S# x- y% r
基本上都是先確定CHIP的四個角有沒有SHIFT,如果沒有就在任意的挑幾個地方! P9 }/ J- J0 ]8 I" w# p, \3 F
看一下SIZE有沒有問題,就OK了 不過可能是公司制度跟自我要求吧...., i# {5 H, R  ?$ Y+ i
所以以上是我個人的經驗,實際的情況還是要依您公司為主,參考用
% |! A) z4 M3 q9 v
8 l7 t3 H( o( c6 l) Z" k[ 本帖最後由 crystal_blue 於 2008-4-3 11:51 AM 編輯 ]
3#
發表於 2008-4-3 14:55:44 | 只看該作者
我的看法是耗費大量時間檢查是必須的,因為辛苦這麼久,花費個幾個小時到半天做JDV,如果能檢查出一個錯誤,那就值得了 .
6 c2 r3 x+ Y4 E8 b+ C2 i我曾經就在JDV步驟發現錯誤,而停止TAPEOUT動作 ,我那時只想,真是好險~~~~~
0 Y9 r) q5 ^( B5 ~* K) IMASK的布林跟MASK之間有沒有偏移這是一定要看的.我還會看有沒有SEALRING及切割道上有沒有異常,每一層LAYER一個一個打開看看整個晶片有無異常,畢竟作光罩要好多錢~~~~謹慎一點是必須的.
4#
發表於 2008-4-7 23:24:16 | 只看該作者
非常感謝大大的分享
# |3 ~( d/ {5 `# ^0 B# L( j/ s非常感謝大大的分享
1 D+ ?* k2 {, t5 y1 U* |非常感謝大大的分享
6#
發表於 2008-5-29 15:38:50 | 只看該作者
謝謝各位前輩的經驗分享$ ], ~# f0 u$ w! d3 J; A! `* T
job view真的是要細心的去作的
7#
發表於 2008-5-31 14:17:39 | 只看該作者
寫的蠻詳細的,現在在代工廠,雖然還沒有實際做過JDV,但看到一些較資深的工程師,在檢查時都蠻小心的,現在先注意檢查的技巧,希望以後有碰到時能得心應手點
8#
發表於 2024-3-31 17:41:33 | 只看該作者
成年人需要舒壓瀨5280366和TG是nini9595/ R9 E( n* `: h6 w% I
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