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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
: ~$ Z3 Q7 x5 _7 k( G# T0 q
9 ?6 ]# l) a3 oJob View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的8 m! g1 M9 Z/ ]6 r5 i
因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK2 H8 _2 E. E* C; D; n
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK6 l# G( f3 f9 C- Y5 n# i
我認知的步驟如下:& Y; V' n3 C4 Q P! M' L- Y$ P
6 ] m- U0 V( d4 b4 [3 F: e
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
' a% X0 `* v& o5 \ 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.( N% F N3 O5 r; g/ K8 g
4 _) z, P# w ~$ P4 o2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)
' \" e) p8 T* d 如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch4 G: B+ {$ l5 V
如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
; @- K( b7 i- b L# L 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
$ v- @: {0 c. R- c9 q& R 在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
( z( s' {% o$ a0 w0 J4 X4 S wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯. q6 r+ j0 c. p, y! I4 r
% E; _% I7 |5 P. d
3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
1 t7 \& O! n+ D8 | K4 ~# {3 f 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看$ t8 k, q4 M; L% U' u/ t
# D5 b% U9 Z7 y5 G5 ?4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的' J4 \( B- m: o8 Q4 ?5 |: X$ o
" N# Y1 @! t* E. M6 R7 i5 N2 \5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
% ?; q" c3 _, D+ \# N- a, P 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失! S/ |1 z4 c! u7 [
~7 d# I& B& F$ U' `0 f {8 L這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
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