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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:: A& `7 C5 [; u5 v$ f
* G1 |, L( _; d8 QJob View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
; Z6 }9 L8 Y0 @; g7 t% R% K# I因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK2 u! j# _/ q2 w7 F: j( g% W* ?
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK' O6 C, N. Q4 Z; p) e+ ?
我認知的步驟如下:) K8 W" f* m1 N7 O
+ v4 S) M) B1 A8 t8 \0 n
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
. \) [8 b5 U! ^ 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放., j; d: t( _( K. O
2 Y8 s- u. u' h m% t. H2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)+ a; S. W% N' C% a
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch- P- S* o1 y1 z! v
如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
2 }# M$ D+ l/ d' _4 ] 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)/ a; U! J I& Q; [$ b) p8 S( u
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
% _6 }8 T$ @0 q2 [, J3 u wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
4 C/ q+ L: W* Q: ~6 N- a
9 w& F8 m, l& L) K3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
( s* Z1 c7 G% Z6 g; W 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看: ~( A+ G5 t0 Q& I' n! l, M; H
3 u5 {; S8 v- T$ T* v4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的2 [. t8 l! s! V6 X! W
- C8 {) C5 f% I5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc 0 m* u1 f( k! Y
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失8 {2 V$ _: ]4 U B/ v% S
8 r) z! D1 e$ u6 T3 Y3 |這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充./ h' N) H9 `) e& d/ T$ V# X. m
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YHCHANG |
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