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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:- B" i3 y s' w5 O& r# w0 E
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Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
. R6 ~7 d! F: @& x' d- @因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK2 z( P: s5 |0 h6 v; s5 d- _1 u/ c
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK" [3 j" t' _) J
我認知的步驟如下:; Q7 S& [' S5 S7 ?9 S! L
$ F0 R! X4 a7 p7 p0 A$ ^, l( g) h4 h
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少0 K) l s3 K* e# V6 W
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
2 u* w( z+ B v+ x* ]+ d/ x; N; I" S3 x3 Q. F$ ?, g
2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)6 _4 o7 y" y, v8 W
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch2 V. ?) \4 ^- _4 h/ ^
如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量3 f% R, f+ t2 ^) E
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)+ T; X# m) f0 _, _( V
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的/ v5 K4 T; }! H* j8 F! Z- ^
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯4 M; x z6 u5 T/ D/ M
0 R! s7 j7 j# L8 i* a# p/ E3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
* E8 B" f# b$ d# g 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看# @/ B) i* j6 i: r ^
7 |. D6 s" `" D4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
4 ]" w# @: x, a% A, q P0 n# i9 h; Y& K, P' f+ D1 w: G
5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
( u, j( l& P5 a 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失& S9 T1 j( E; S7 X: k6 J
( c3 C6 J2 z8 G
這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
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