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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
& h' F+ Z9 S5 u2 u; R3 D- ]
3 R% ]/ H: n7 W, [* ?8 l5 JJob View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
$ Z; R9 j% U& g* y5 a因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK" a! c" {6 C, x2 l( Y
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
9 ?- n: d/ ~9 j2 C我認知的步驟如下:) Q) `3 D, C& d' G- U
) A/ d! m- `5 m* Y- k& I8 m W. K
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
- i& l( u. @( z! Y8 ?5 E' F 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
$ G* I# A9 r1 F2 l' I" L: S$ J* d0 q0 r
2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)
& k7 p+ D+ f1 @) \7 t 如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch ^3 H& c/ ?8 ^5 J: D
如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量+ F- Q) R) U6 t& g# c) s+ A9 b* F! `9 I
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多), x# ~% s k7 M: H/ c/ T7 d
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的- |! c0 [1 j. r2 F4 D
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
: A) B( |" [9 y: C7 [/ e. c9 w J- g$ O) p; k. b9 n0 n+ U8 i
3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
+ ~2 M" J% X& h) D' a( h& d. { 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看# R: J1 b9 n( A
0 p6 n1 ?; P/ E/ C) ^8 `. N; B
4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的) Q% z5 K$ w( T( C3 @
/ O( j+ Z+ h5 @# \) b2 v8 O
5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc ; Y, a6 I7 K& A( w, d
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
: }/ U( I1 j7 b$ b* k! \
4 ^1 N! f0 T1 X! |+ |$ k- \這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
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6 o# ~4 Y- ~% g, i, C5 c YHCHANG |
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