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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
, O5 {4 w7 v, s, C, P% B% u% W" |5 w
Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
3 z* D3 a4 |# _9 {) D因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK/ o0 B7 y4 @- W2 i- {: I
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK/ L% m4 v* |2 t5 R+ [$ ]# e9 X% g
我認知的步驟如下:# r/ E0 `: j+ v$ ^% F: }! q
/ i, [# s: U3 q
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
* m7 d. ?% V$ A B2 N& a 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.# ?( H, K- M a$ R5 J: M
+ _* i6 U+ r1 `
2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)1 ~" b% b1 Z. N8 E
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch5 J) @. Y; ~" Y, b- j$ Z! ?
如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量3 q8 W4 }# k" r' P5 P0 t8 u
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
5 j* I3 y h- i# L- W! E 在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
5 ]# d! E$ u, _4 O8 i wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
" x: m+ |1 y, f8 Y$ X! ?% f8 W P! A& z3 d$ D% x @' N! O
3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift' G1 @1 S. T0 U
把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看6 N" g& p2 M4 ^% L' X+ c" J
, g6 Y; [! G4 v6 V4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的) r( X- J# m* T+ D7 S5 t
7 A0 @3 c% O1 D7 G: W+ g
5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
+ @6 i6 X C: y* M3 ^ 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
0 I( \' \4 p5 i- M9 I$ g8 S* k& s. o3 l. X1 r- Z1 B4 u/ c4 N
這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
2 B: f/ a3 E5 o$ W9 E* X0 I0 w/ R% @6 z4 w
YHCHANG |
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