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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:- X% Z5 G! P4 _
, z3 A, O' [( {( EJob View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的9 s7 v3 w1 W: s( x- j! Y
因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
. k% k/ w4 \3 N0 o' f `% o所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK/ d+ B& h$ ^6 W* \8 A
我認知的步驟如下:
" C- O3 s) p1 B7 ?
5 E2 [" R$ Y( i( `# a1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少+ \& n4 d: g5 M
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.2 K* B+ u& }0 S/ e
, J1 T7 }9 E) ~& T" C- n) ~
2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性): G& n' `( |1 S# p
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch7 n7 e: @, ]! H: S) Q* L- v
如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
3 Y4 e6 M( _) c- A& n0 K 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)/ @, U1 s+ m/ z3 o6 `2 d1 d4 [
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的* ^1 f0 o1 O6 }0 n8 u! i
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
; t6 R- e# y2 B1 G* y9 D9 R& g; e" l9 `! y+ [6 O# W
3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift; x- o; y7 U2 U( _) R0 h; i
把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看
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0 d6 G/ K" h1 q" i0 |" k4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的# v$ p# F! i J* p0 `. T9 g
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5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc 8 G) B3 U* k1 k! F$ |
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失1 q0 X5 l, k6 c; p) ]6 j
4 t9 p. w+ l# s7 N3 m這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
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