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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:- t4 O2 @! d2 S! o
: D" P2 s6 u# D: b$ v( c) bJob View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
4 x8 |8 Q3 N6 O2 I# T2 [$ _; D因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK0 a3 ?. q3 e1 d8 c7 @: a
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK0 Z; Z: S. J$ r7 Q) z
我認知的步驟如下:
, t. }$ b! g6 L6 R1 J* W$ l i# `3 |
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
+ R) l2 X3 u) |5 d 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.) X4 s8 D% z! b( n
: @# B" J( r1 Z' Z
2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)
7 Q9 ]' R: e" \; I9 I3 s 如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch2 W- c3 |9 m- z
如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量8 w* r# Q" i Y8 S
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)# v( Q7 }* F9 s- f
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的- U, Y( ~0 U4 f+ o, [( a; v$ d* `# n
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
1 F9 N& Z/ r+ e0 \
1 z0 J/ @- j! ^- @) h- b* e; a1 |0 Z+ _3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift3 p, L1 h' } ^, ]) U2 L% u$ _
把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看
0 X- b1 J+ o8 b8 O3 D+ x% o2 F! Y0 U, Y$ _
4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
3 \- b* l; R$ x3 X& [ S( Y4 V) e% y, E% `8 U
5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
6 M8 [' U6 t2 z- D" I8 i 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失& p1 L! p! U$ i
( @- p2 [& a: c! H! ~+ u. I# x這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.7 G& s! A+ w; z9 u
# G2 ?3 y3 E! M1 Q& B0 \1 y5 _
YHCHANG |
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