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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:2 j- i1 Q3 f* b8 w* Z7 K% o
! u' p5 i3 r" |Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的) Y" x& G. d/ J" {5 G8 H2 r5 ?. X; K
因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK! |$ p1 }2 @% l
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
/ a" J- H1 Z' R# l* H1 W我認知的步驟如下:
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( A, w2 R. w' x( V" ?, ^' g1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
) a( e- t2 |: v, k6 D+ O 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
2 { T; f7 N# q! w
* x3 t6 ~$ u- `2 F7 |+ O6 x2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)
) h i0 v H' \- n1 E 如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch1 a* x, F- {# b8 s3 z
如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量3 q1 Y e5 B6 A5 i( Y) d
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
# r8 O: Y. G9 n3 m# m. {9 A' W2 B 在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的& |+ Q/ M0 v! X8 T& z
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯4 L6 ~: i; k+ H! D1 R+ B5 k- |
8 X z, T- B; t
3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
% S. W3 Y+ v: i% J1 b 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看8 _1 q, ?+ r- C( s5 N% A2 U
6 \5 Z4 k0 X% G- `* c
4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的' }0 o x- t" C1 ^
9 p6 D. _' n: l1 ~( h5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc * \7 B( v2 s1 y7 _; w
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
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這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.: {! g: t; w: `, i' p0 s
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