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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:2 O" ?7 y+ e: p$ W/ h" r! V
% g z( v L) h1 s" LJob View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的! a: T/ d& q+ a9 t% Q
因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
0 r& f8 r) B" o' S1 q0 Z# z所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK/ P' D: o r. c2 ]
我認知的步驟如下:
O% ~+ o, }+ V2 e0 y) K# Z" @ y. W0 `: F
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
0 J& m' [( M+ f 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
0 r2 r0 L0 {/ g/ |* n
) r D3 m5 F, n2 x# u2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)
) F, G: u' `7 @ 如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
. D" f& M9 ?$ ^0 E2 e 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
* t$ I/ i+ _7 p3 Z3 M/ p7 ?( U 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
% E0 l2 ]6 _. S 在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的+ x- N: n# `0 K' m8 i7 \
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
% q. F5 s# @8 f( g3 ` ^. N0 u% [
4 P1 _2 ]. \8 q# g% L: {3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
. w+ p) d6 g( m* Z 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看" a& K% G- V! B! k
- b; D l4 m. O4 Q4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的3 h8 H8 q+ f' g
- O' N# Y9 }0 f5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
" `( Q- q: x9 w3 Q5 b% x/ e2 F 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失6 |6 P1 S& H1 f! I& _
, Z) S; Q1 c- z5 S- a這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.5 W+ S/ n1 W! ^, u2 P' ~
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YHCHANG |
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