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LAYOUT JDV 注意事項

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1#
發表於 2008-4-3 09:14:53 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
越高階的製程,MASK BOOLEAN OPEARTION 越多, `/ d! p, ^$ a
在這裡想要請問大家如何進行 LAYOUT MASK JDV
9 F% S' r, y0 x' U是不是可以分享一下作法給我參考呢?
" L' I* S. z" r: w. \  V3 J2 y7 z4 p; {$ `
當我遇到這些mask,我採用的方法是, 了解每個BOOLEAN OPEARION 的步驟及結果...再仔細的反覆檢查) T( K% a+ |& m7 z0 K; I" G
只是這樣的作法讓我花費很多時間在反覆檢查
6 m  `# Z$ H; g# k* g還在尋找正確又不耗時的工作方法...
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發表於 2008-4-8 00:43:08 | 只看該作者
這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:& z9 S% V- q( }) s% B& E* Z

2 Q7 i3 W+ k+ ]6 j0 s6 _1 ~Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的8 I* e' I4 k- }! _7 u
因為不可能整顆IC 每個 Pitch  width  spacing 都CHECK
" n, {- J+ G5 t8 u# Y! [' n8 `3 a所以只能用  隨機取樣的方式  做 CHECK
9 L8 B, ~( D' V  D我認知的步驟如下:
* ~& t0 T" h* E: N$ C, u) p! H1 |; n$ X
' G# w0 M+ h: ^: ~0 V1.  Check  Version  Code  要確定  這層光罩  全部LAYER的 Version code都有出現,  如果有缺少
& E) E0 k0 o  m' [: j+ Y& L2 f$ ^     就要跟FAB廠 comfirm  看看是不是本來就沒有放.: M2 F7 b' B# u+ p2 i7 |/ L$ T
# G! O/ B+ d/ V# H- E6 k- v1 O
2.  找一個 這層光罩  每個LAYER都有出現的地方  (為了便利性)+ F* C- Q& p; L4 {( h$ R8 Y+ B
     如果這是個 OPC LAYER 就要找  環境類似或重複性很高的地方去量  X-axis 與 Y-axis的 Pitch8 v" S+ j! b+ w* [+ R3 V1 X
     如果不是OPC LAYOUT  就只要找  X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量( `( u+ {: B6 Z9 f& w+ e- w
     選擇的 樣本數   越多  自然自己就會越心安   JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多); O& H0 q! D& c5 b2 I
    在這邊要特別注意,  如果這層光罩  有  L1+L2+L3+L4    你要盡量去量   Layer與Layer有重疊或鄰近地方的4 t  J* ]% t& ~- v; M
    wdith, spacing 或 Pitch  才能夠順便CHECK   光罩有沒有在做OR運算的時候出錯: k1 e& s* t- L

) c* ?# x" N6 C2 F+ V3.   最後要確定 光罩有沒有  Shift. y* y* {# Q% I9 o* j
      把之前VIEW過的 光罩拿出來疊   看看  width,spacing ,pitch有沒有跑掉,  X軸與Y軸都要看
( ^. ^: l- ?2 }9 g) w5 M3 |, q2 D! A/ b9 @; o- e' d
4.   如果是改版的話,   就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的+ ]) D( c2 h+ R, C
* ]6 `& p2 c8 S, V3 p4 E4 T
5.   如果這層光罩  有很多不同類型的地方,  比如  ESD   IO Interface,  PAD,  Array, ....etc  9 \" T9 Q8 G) J. J: b* G9 }
      為了保險起見   最好每個地方都重複  2-3的步驟   以確保萬無一失
' z! C9 w; _0 h3 v
& B( J  X7 P. ]這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方  也請其他好心的大大補充.% c( n* d0 d/ N2 P! O( ]) r( {
5 y8 O* r! N5 l, k! j: `
                                                                                                                                YHCHANG
2#
發表於 2008-4-3 11:38:15 | 只看該作者
您好:( D; _& K8 {1 q$ L" z( a6 J5 {% F
   關於JDV(JOB DESK VIEW),小弟從事LAYOUT一年多以來,JDV一直都是簡單帶過耶
( `8 {1 B" B) q2 ~  Y0 M/ x) p基本上都是先確定CHIP的四個角有沒有SHIFT,如果沒有就在任意的挑幾個地方  O! A9 b" {) E1 w
看一下SIZE有沒有問題,就OK了 不過可能是公司制度跟自我要求吧....
! ~+ l, c5 }8 R+ }, _2 d所以以上是我個人的經驗,實際的情況還是要依您公司為主,參考用# D- ]; }: U; G) k
7 U- O& o# o& K6 s
[ 本帖最後由 crystal_blue 於 2008-4-3 11:51 AM 編輯 ]
3#
發表於 2008-4-3 14:55:44 | 只看該作者
我的看法是耗費大量時間檢查是必須的,因為辛苦這麼久,花費個幾個小時到半天做JDV,如果能檢查出一個錯誤,那就值得了 .3 _% O. [$ G5 h- H
我曾經就在JDV步驟發現錯誤,而停止TAPEOUT動作 ,我那時只想,真是好險~~~~~) w  G# O! c+ q7 p1 l* {" ^# X7 J
MASK的布林跟MASK之間有沒有偏移這是一定要看的.我還會看有沒有SEALRING及切割道上有沒有異常,每一層LAYER一個一個打開看看整個晶片有無異常,畢竟作光罩要好多錢~~~~謹慎一點是必須的.
4#
發表於 2008-4-7 23:24:16 | 只看該作者
非常感謝大大的分享6 @( U( i2 W& t" F
非常感謝大大的分享
1 [3 d, S0 U* R! W非常感謝大大的分享
6#
發表於 2008-5-29 15:38:50 | 只看該作者
謝謝各位前輩的經驗分享; t5 ?3 K: H+ p% S; g& I  P
job view真的是要細心的去作的
7#
發表於 2008-5-31 14:17:39 | 只看該作者
寫的蠻詳細的,現在在代工廠,雖然還沒有實際做過JDV,但看到一些較資深的工程師,在檢查時都蠻小心的,現在先注意檢查的技巧,希望以後有碰到時能得心應手點
8#
發表於 2024-3-31 17:41:33 | 只看該作者
成年人需要舒壓瀨5280366和TG是nini9595
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