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LAYOUT JDV 注意事項

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1#
發表於 2008-4-3 09:14:53 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
越高階的製程,MASK BOOLEAN OPEARTION 越多1 g) k( J! I+ M
在這裡想要請問大家如何進行 LAYOUT MASK JDV( c( Q( m" i! `7 o. c# B
是不是可以分享一下作法給我參考呢?
5 J, r. |' Z! b" u5 W, [' U1 ~: B8 h  k# `
當我遇到這些mask,我採用的方法是, 了解每個BOOLEAN OPEARION 的步驟及結果...再仔細的反覆檢查$ k& w; S9 j7 |- U6 c' E( T) ^( v
只是這樣的作法讓我花費很多時間在反覆檢查! F7 p; N* r0 S; U
還在尋找正確又不耗時的工作方法...
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發表於 2008-4-8 00:43:08 | 只看該作者
這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
/ \5 q0 `: N7 H- Y  m% o# ], s( L9 l1 N' N
Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
8 H4 X$ u3 }8 V4 a6 Z因為不可能整顆IC 每個 Pitch  width  spacing 都CHECK
, A9 ~# o) V3 ?2 ~+ M, j2 }. x! P所以只能用  隨機取樣的方式  做 CHECK
% H7 o! O2 k) K* X+ z9 j% Y, \我認知的步驟如下:7 y; Z+ E. ?; e4 B
/ P, t6 V& @' e2 ?0 u
1.  Check  Version  Code  要確定  這層光罩  全部LAYER的 Version code都有出現,  如果有缺少2 J5 Y; \' i1 s' B
     就要跟FAB廠 comfirm  看看是不是本來就沒有放.5 ~5 }8 p5 I2 N' c

6 }) ]: w4 P5 u2 x; E2.  找一個 這層光罩  每個LAYER都有出現的地方  (為了便利性)
4 W  P: }6 a( n; A, v4 H# U     如果這是個 OPC LAYER 就要找  環境類似或重複性很高的地方去量  X-axis 與 Y-axis的 Pitch
5 H7 ?: I7 [( \3 ?3 c     如果不是OPC LAYOUT  就只要找  X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
% S5 k6 Z; U6 z% D# r     選擇的 樣本數   越多  自然自己就會越心安   JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
! v: [6 S, `5 J0 p; C    在這邊要特別注意,  如果這層光罩  有  L1+L2+L3+L4    你要盡量去量   Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
* q3 g$ t& a$ e" Q    wdith, spacing 或 Pitch  才能夠順便CHECK   光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
& W1 q% b. f( }7 Z/ P2 e5 i' J' w0 F- A7 S. Q7 S7 p- w" ^4 i
3.   最後要確定 光罩有沒有  Shift
! ?* u1 P/ g, `- h7 e      把之前VIEW過的 光罩拿出來疊   看看  width,spacing ,pitch有沒有跑掉,  X軸與Y軸都要看
, |' C' z' t! m# K+ Z: c! c- Q" v  l  ?3 ]! }
4.   如果是改版的話,   就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
6 q% i. t/ y# F( T3 j, I; }1 K& r9 z7 F* ]- h1 z2 R
5.   如果這層光罩  有很多不同類型的地方,  比如  ESD   IO Interface,  PAD,  Array, ....etc  
7 J6 x& r4 c, H/ G      為了保險起見   最好每個地方都重複  2-3的步驟   以確保萬無一失
/ H$ z2 |: G5 j$ \, L2 ~/ N0 @
, Q% [6 v4 `/ z- {7 P3 N6 @7 Y這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方  也請其他好心的大大補充./ t. N; ]* h- a
, V9 U! j1 f$ s4 {! z
                                                                                                                                YHCHANG
2#
發表於 2008-4-3 11:38:15 | 只看該作者
您好:
: p. j4 a, F6 t+ f* H! V* C* Y   關於JDV(JOB DESK VIEW),小弟從事LAYOUT一年多以來,JDV一直都是簡單帶過耶 % O0 n  Q9 g( g+ z( D: c
基本上都是先確定CHIP的四個角有沒有SHIFT,如果沒有就在任意的挑幾個地方6 q; J) _$ [# f5 ^
看一下SIZE有沒有問題,就OK了 不過可能是公司制度跟自我要求吧....& n( i) F9 m; m  U# f0 I
所以以上是我個人的經驗,實際的情況還是要依您公司為主,參考用: G; _% j. ~" `: c

6 H3 w0 Y! L& o8 t& B1 ?[ 本帖最後由 crystal_blue 於 2008-4-3 11:51 AM 編輯 ]
3#
發表於 2008-4-3 14:55:44 | 只看該作者
我的看法是耗費大量時間檢查是必須的,因為辛苦這麼久,花費個幾個小時到半天做JDV,如果能檢查出一個錯誤,那就值得了 ./ {: R' s1 ^+ \6 ~
我曾經就在JDV步驟發現錯誤,而停止TAPEOUT動作 ,我那時只想,真是好險~~~~~
& [" I  X" s/ SMASK的布林跟MASK之間有沒有偏移這是一定要看的.我還會看有沒有SEALRING及切割道上有沒有異常,每一層LAYER一個一個打開看看整個晶片有無異常,畢竟作光罩要好多錢~~~~謹慎一點是必須的.
4#
發表於 2008-4-7 23:24:16 | 只看該作者
非常感謝大大的分享+ W2 K3 z* {6 U
非常感謝大大的分享0 g# n2 D5 r7 }
非常感謝大大的分享
6#
發表於 2008-5-29 15:38:50 | 只看該作者
謝謝各位前輩的經驗分享/ M7 _9 L+ m$ I4 ^
job view真的是要細心的去作的
7#
發表於 2008-5-31 14:17:39 | 只看該作者
寫的蠻詳細的,現在在代工廠,雖然還沒有實際做過JDV,但看到一些較資深的工程師,在檢查時都蠻小心的,現在先注意檢查的技巧,希望以後有碰到時能得心應手點
8#
發表於 2024-3-31 17:41:33 | 只看該作者
成年人需要舒壓瀨5280366和TG是nini9595
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