|
這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:; G! [9 s/ l g' s" f1 k
8 t# ?" N4 I: E5 H# R5 ~; KJob View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
2 [" u3 T$ i; s' m& n因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
3 i8 [$ I; A! q所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK/ M( \; L0 B" S: I+ a* |
我認知的步驟如下:
! Y0 c2 _4 M0 Q- D7 l& j
: y _8 @, P7 C. X1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少" G. I% l" G/ v3 @3 c8 b
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
& N' [7 z0 g# X% h+ B. Y% m( b& X9 { s: h9 i: q9 l
2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性); m" P* d9 q$ J
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
' C5 o2 R) ^3 j 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量. o0 ?( E) l" [0 [
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
5 w7 z7 f5 v& L r 在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
* l$ Z1 y: S* ?" m1 i) a% e& S wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
+ n2 `5 D, s8 K( j- n( E- u2 C# r- }+ U' v$ E! q
3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
, s- d. Y1 X/ a7 s- A6 }% N! { 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看. q, b8 W/ u4 g
2 |+ {6 u/ b7 s5 m, q$ h
4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
7 C3 z8 a* y+ [8 `/ I& f2 D- c* L( O9 n6 v0 i8 Q) p0 h
5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc $ ~& _" q+ {5 \1 f
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
+ q, B9 w$ o0 f' \ ?' N! S Y, T7 Q1 q
這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
! }: C+ m6 K3 Y" b. `% N# v' Y3 _7 h5 N. B* }7 ^+ O( J
YHCHANG |
|