|
這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
9 s2 n7 @7 }' c( i" A4 X( _8 w$ u: T7 G6 M5 T: ]; f
Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
' @. Y' Q% D* @ d2 U$ r因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK7 H8 U( B4 S# D0 V) m5 f
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK9 \9 g% H, u: R/ I
我認知的步驟如下:
+ @/ c/ \8 C& K/ M5 ~3 u& i# [& z$ s' T2 y% Z+ y) z
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
8 e5 H b8 `! C0 x 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
) u8 T* C* D! a5 ^; h; O- _8 Q" o9 O2 Z
2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)
$ Y( A* Z0 h8 i1 U. I3 S' K' \ 如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
5 H6 G: d+ x/ F( ^" ^/ S5 Q8 z2 v 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量5 l' R$ ?/ X0 m- D/ h- {
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)+ W( n' A. a7 t( H1 U5 n7 N
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
" ?- o& x+ C9 G" Y: {9 W wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
0 K U* {2 U% Y: n6 C/ [0 M
, j1 ?9 A0 f& R0 B5 k; {0 K4 Q3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift! L6 h: l, f* K; s8 ^& [
把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看
# A; |5 I0 E9 L- V. \. E/ U
4 V4 B+ n: }" s% B4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
' S# Z" e- a9 m5 V0 f6 R# S
4 V: p7 x6 [! |6 ~+ X- y ?5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
4 G( F9 e4 Z) n/ k% @ 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
* I' c$ D* B5 N1 b/ [% s* e" K. _) w; s: s; _
這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.8 `5 y0 L3 [2 Z- ~0 l, ^0 ~2 _
4 y) N" h3 E/ i3 ~6 _ YHCHANG |
|