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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
' q E* C8 I, T7 d& K: t- Z
& F3 F% `6 j! NJob View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
# c! ?; ~+ d8 y6 F. w& `7 r! z因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK0 d9 F' k: E$ r. ?; V7 U
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK Q6 A9 w; t" ^0 v1 u* X; @: w U
我認知的步驟如下:( v' R! p/ ~+ p' D5 v
) A% z' [ W( S" ]8 V. V
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少( |" G K. G" J/ O% U, I6 a! w# |
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.* K& y5 i& {; G) }0 J
8 Z$ m. l6 d. V# H6 a2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)9 c+ a; @6 f9 O" F6 R t
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
1 s) m) S6 V. R* ]. v3 U 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量( k( S5 X5 ^( z
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)3 Q$ Q0 l$ [' L7 G% Z- b3 r
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的; h1 f) \$ B+ Q2 Y* P) a1 R a
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
' f" M" b7 r; X; y9 O) ]( i$ O. ?, B2 p! @( z: v8 k/ y
3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift& U( c- B# C% _+ Y
把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看, {( N( i% T$ v @
, V7 E( d! _/ b4 Z3 e( `) B4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的! b, r+ k1 o6 s# R4 }8 D
* {' u+ r' l" W! |" y
5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
8 _9 b5 F- l$ ?$ ^, } q1 W4 Y 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失" s6 T$ Q( E( l& y1 @) C# P
8 f+ D9 Q$ g3 |9 l# m' @
這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
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YHCHANG |
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