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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:0 n- u3 V, K% y8 J; H7 r: C8 u/ J* o
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Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
( f {$ C& Y0 N因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK7 T; e. q# f2 K6 c# p* o
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
; ^; W8 K) B/ Q9 p* P7 P6 J! c我認知的步驟如下:9 p5 w9 S5 k T. L1 z5 I/ p
, Y0 s! ?8 X( v) @
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
/ r- }7 U D, i9 d4 n, k 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
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2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)
8 ` F$ D, N1 b5 R1 p2 d( u 如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
4 ~7 a7 }; m3 E8 T& J7 U1 v7 k$ |/ } 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
$ s a S7 G6 ]* i& N 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
: d4 Q' ^0 W5 x) @- z4 i1 e+ U2 L 在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的; o: M8 ?' l. H5 p% l4 |3 t1 ]/ O8 T
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯2 H' `, D! ?+ K- L
4 z# @9 Y4 J# t+ \# z: w: C3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift0 v+ \5 ~1 n! v/ `
把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看- U! ]1 z( q9 r/ \# X+ z6 z
. s/ c$ y) m7 Z5 z, X2 c4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
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$ B7 |3 n9 y$ I7 g5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc # _3 u) Y; j0 B8 d! L7 Z: R
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失3 z6 d+ b" p* j/ S' q2 r7 a, X
' c: L2 t& F) E; i這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.0 _' \( ]! K+ I* v0 a, p
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