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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:3 C6 B9 L' v1 V$ M* L0 m
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Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
$ s2 x* ~4 H1 s因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK$ |; F) h8 a' _2 Q( R* B( t
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK- T p: Z! R7 n9 m! F5 f
我認知的步驟如下:
3 `' x: m, d7 a9 g; t$ L% s, x6 S1 u7 h6 \/ x9 t
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少5 r# R# r9 J1 j, s& U9 @
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放., M8 S+ ^+ f2 R' ]) W7 M
. f: N" Y5 u+ ^: I g6 {2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)
- N% B3 y( y& [5 H- [4 X 如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
7 R. y% k0 u# u1 K5 Q. Y 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量* l! Z% K" |7 B3 y2 G! ]
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)/ }$ Y2 u. I7 X0 i l* w
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
, e* Z. p. [; f7 f wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯7 \% a% i) G' D7 m" h! K
6 p7 w/ E7 B( E6 _0 z' o9 n3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
" O3 u) H0 Y! {" G! O4 O- R7 ~ 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看: p* H& P+ @0 T
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4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的7 _! L h: y6 Z$ }3 y
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5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc ' d2 j1 Y7 A/ p P% W% q
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
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這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
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YHCHANG |
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