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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:" S3 O( a9 F! l: g
( M# Z# @) _* {: H# Q$ Z# @) [
Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的: H8 d( x* O) Q! c$ ~
因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK* l$ b9 F" t0 I: w
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK: w! D( W8 j+ q1 c2 |
我認知的步驟如下: T& r* P4 e1 W+ p2 W
l4 g# C6 K% H3 T+ g u1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
) s3 l7 ?/ H& y 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.9 c4 u) ]2 V" b {7 f
0 O$ j+ n: L7 t6 u1 W) w0 }2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)6 A0 o# Y$ g4 \7 O
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
3 f+ f9 |9 ]7 b! B 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
, h$ s: c3 L' ~3 B) D- ?& a 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)0 T9 M% Y5 v) M# @, b4 @
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的% t; V E, b. g# k# o" _2 h+ g
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
# M0 Q% q& n, `+ t$ S5 o+ b7 c
3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift8 x2 e1 F9 v4 w) j
把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看
3 B& r! P! Q- X6 e! r
( B2 C% Q5 m _* j- w4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的* t l, k- l1 C# \. j) H; ]& h
8 ~- f g, n% _% k! P9 A$ ~2 _5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc / H' x4 i" I2 }4 P. F; B
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
{% H3 u8 z7 I2 x2 ?
+ H1 s: p( |, S: ` `這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.; ^7 u5 t) [! o+ k, }( [
3 o% r- S+ K6 } YHCHANG |
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