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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:* @7 T& p# a6 d1 X
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Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
3 D# E4 | }' i% c) H/ f因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
) L9 U5 s1 w% ]! W" s, q所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK2 ?/ W( R% ]3 K7 ~% Y2 n
我認知的步驟如下:+ u2 ?% l5 k7 p
* d N5 q! `/ d$ x8 Y1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
2 i* R) j3 w/ m f7 i8 v7 }1 Y 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
# H: F6 B2 I& Z, z+ C( o2 h' Q6 C# J" H. |5 g
2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)
2 L3 n/ P4 N- s( s5 Z8 O& [ 如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
: `# v4 m H1 b* l( W 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量; o0 a1 |5 o7 m8 Y. g
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多), E0 r& a+ @6 b2 i4 b
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
+ r! \2 p) Y6 Y ^ wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
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3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
- Q5 K$ N' E( n. q2 r$ B$ a 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看0 C: V8 ~3 {! s: a; y0 {
0 @5 ]. p* b% `3 B1 R- {4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
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5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
* z% w+ Q/ H6 l! T 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
* i: ~3 n2 x! t8 o; S$ Y) ]/ k9 e1 x g) B" _7 f, Z/ ~
這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
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