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LAYOUT JDV 注意事項

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1#
發表於 2008-4-3 09:14:53 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
越高階的製程,MASK BOOLEAN OPEARTION 越多4 l, y+ t0 g' d" S% T# q  R
在這裡想要請問大家如何進行 LAYOUT MASK JDV+ W8 G+ z. a! V) v. P% |# @$ Z  u4 l
是不是可以分享一下作法給我參考呢?* @* K: Y& z: H- U# K
# T! [9 N& v- i: z: s
當我遇到這些mask,我採用的方法是, 了解每個BOOLEAN OPEARION 的步驟及結果...再仔細的反覆檢查
/ c8 i6 l) M5 `1 X% q只是這樣的作法讓我花費很多時間在反覆檢查" B: t/ f: d! f) ]- L
還在尋找正確又不耗時的工作方法...
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推薦
發表於 2008-4-8 00:43:08 | 只看該作者
這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:( Q5 F) V7 `- g
" g4 I' Y0 ]9 ^# V; ?) G3 k/ N$ E
Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的, V8 l+ @$ C2 E- q
因為不可能整顆IC 每個 Pitch  width  spacing 都CHECK
7 M$ b8 v  f! @5 h  x所以只能用  隨機取樣的方式  做 CHECK$ E! h3 \& M: k4 v2 {. s
我認知的步驟如下:4 p6 L) M: W, [9 {3 `6 h5 X

8 |. ]0 a0 z1 y, C5 r  p1.  Check  Version  Code  要確定  這層光罩  全部LAYER的 Version code都有出現,  如果有缺少
0 g/ G5 M$ A7 o6 T. a0 J     就要跟FAB廠 comfirm  看看是不是本來就沒有放.
& G' ?( x0 z, D* C/ Y! L/ y& L1 l' @  v/ \& {1 ?6 H4 A
2.  找一個 這層光罩  每個LAYER都有出現的地方  (為了便利性)
& E/ Z8 J" O7 [2 n     如果這是個 OPC LAYER 就要找  環境類似或重複性很高的地方去量  X-axis 與 Y-axis的 Pitch5 n1 x/ Z. [+ i; C
     如果不是OPC LAYOUT  就只要找  X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量; s1 u8 b" B9 J
     選擇的 樣本數   越多  自然自己就會越心安   JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
9 c0 V4 _" S- t# D4 ?    在這邊要特別注意,  如果這層光罩  有  L1+L2+L3+L4    你要盡量去量   Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
2 R9 M* Y- r, L    wdith, spacing 或 Pitch  才能夠順便CHECK   光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
8 ]% O/ c8 h3 \: y+ }" Y5 u5 D- Q
+ w3 u; I% I9 e3.   最後要確定 光罩有沒有  Shift8 J! _$ s9 Y0 T/ R
      把之前VIEW過的 光罩拿出來疊   看看  width,spacing ,pitch有沒有跑掉,  X軸與Y軸都要看
; g0 d+ X" z; l/ W. t% T8 o3 A( d% X+ [- ^- [( I$ b% r. h
4.   如果是改版的話,   就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
  g0 i2 J/ ~; |' p0 `3 B) C) j/ {; I* T, r! D
5.   如果這層光罩  有很多不同類型的地方,  比如  ESD   IO Interface,  PAD,  Array, ....etc  
5 M- S! }/ l; H$ {( |0 h8 H      為了保險起見   最好每個地方都重複  2-3的步驟   以確保萬無一失2 S' v5 k. `' P+ N; c/ M
6 [6 A; D9 t% }
這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方  也請其他好心的大大補充.
' m3 b& H+ d% j; o2 l! M% R  G' c$ A' x7 ]/ y7 G- h
                                                                                                                                YHCHANG
2#
發表於 2008-4-3 11:38:15 | 只看該作者
您好:% z. y( O! B( O( B& W/ |' M
   關於JDV(JOB DESK VIEW),小弟從事LAYOUT一年多以來,JDV一直都是簡單帶過耶 9 p: D: Q8 m  v. S
基本上都是先確定CHIP的四個角有沒有SHIFT,如果沒有就在任意的挑幾個地方  X; B& n5 X/ k0 W2 w
看一下SIZE有沒有問題,就OK了 不過可能是公司制度跟自我要求吧....
- d: \+ H1 _: R; S$ [& \  \所以以上是我個人的經驗,實際的情況還是要依您公司為主,參考用1 E# V8 D! ]  d7 p+ R& l0 H$ \1 P8 w7 [

! F# |) K5 a3 J* G7 h" W[ 本帖最後由 crystal_blue 於 2008-4-3 11:51 AM 編輯 ]
3#
發表於 2008-4-3 14:55:44 | 只看該作者
我的看法是耗費大量時間檢查是必須的,因為辛苦這麼久,花費個幾個小時到半天做JDV,如果能檢查出一個錯誤,那就值得了 .
8 F9 W6 v. y& h& R, `$ L1 z$ y0 ~我曾經就在JDV步驟發現錯誤,而停止TAPEOUT動作 ,我那時只想,真是好險~~~~~' e3 \; k  c3 |
MASK的布林跟MASK之間有沒有偏移這是一定要看的.我還會看有沒有SEALRING及切割道上有沒有異常,每一層LAYER一個一個打開看看整個晶片有無異常,畢竟作光罩要好多錢~~~~謹慎一點是必須的.
4#
發表於 2008-4-7 23:24:16 | 只看該作者
非常感謝大大的分享
0 W* M4 c9 h1 q; ?. ^4 _; w非常感謝大大的分享
& E& i7 ]5 w  P7 l  @) ?7 @非常感謝大大的分享
6#
發表於 2008-5-29 15:38:50 | 只看該作者
謝謝各位前輩的經驗分享
% B. M0 |% ?! l5 T% L; ?job view真的是要細心的去作的
7#
發表於 2008-5-31 14:17:39 | 只看該作者
寫的蠻詳細的,現在在代工廠,雖然還沒有實際做過JDV,但看到一些較資深的工程師,在檢查時都蠻小心的,現在先注意檢查的技巧,希望以後有碰到時能得心應手點
8#
發表於 2024-3-31 17:41:33 | 只看該作者
成年人需要舒壓瀨5280366和TG是nini9595
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