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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:( |- B! G0 G9 F6 L0 b( X# Z
% z3 [' u' i* P bJob View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的6 ]( Y7 s$ n$ \
因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK5 X# q% M" u! Z& @! U
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK9 D) x. Q! S0 k
我認知的步驟如下:
2 f$ x8 M0 r4 m! X- m" t* x q. C* q! U/ R& Y/ N% y
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少8 ^. Z- u1 }8 l" W! m$ k$ z
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.& N- _% q6 w& {: g9 P. d6 I
* Q/ c4 Y' v8 I7 E3 J
2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)5 B+ q6 p5 ^5 C8 X0 N9 r9 N
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
' Q4 a/ k# S$ G4 v9 f& l 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量6 r/ u$ ~) i% V5 _
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
9 {" z% i9 @6 y: v7 O' a 在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的6 Y: `. G5 [' B6 ]6 t( i
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
6 A5 B. I, E6 P% R9 d
! r# C' j* O0 x4 W2 T. U" W& f3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
% S0 d+ F# n/ g+ v* c 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看8 o' C0 R7 s# a+ U1 c/ Q8 a
U. d& H% b, }* F; u9 t4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的1 h1 v0 h* i, q) S0 p1 H; |
8 H8 Y g9 T' p9 s8 I) }
5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc & j' T6 F6 J6 e, D
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失1 {- R3 e6 @+ T) ]
: N' G# U2 q0 M/ |
這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
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YHCHANG |
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