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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
. e2 V8 a8 @$ e( C5 o
! A I9 @* z* SJob View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
+ v3 e' A4 v4 O) ~5 T' U) `' ]因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
( V: P7 z: n' O# j0 e所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK/ u9 }' i0 Q+ f
我認知的步驟如下:5 z8 k& v5 `( c
) q) p& t4 i& c8 }2 R! o4 K
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
3 h: t, R3 ]; k! Q 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
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' K; l5 E& J% @1 g2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)9 ^/ ^) `! a& ~2 S; B5 c2 U" j
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch* Z; O7 I r* j* u' W* [& F
如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
0 h6 d* w. m* O: C4 `* [9 J5 _ 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)5 @1 y' i' w) P+ u& X
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
0 {9 L) Q' `3 ]1 @7 B; e wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
% z7 n5 ]5 e) V+ D4 \# `& p y3 R1 M2 M, g' U9 H6 {0 s
3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
0 @* b6 O, e3 y* F! {1 Z8 u: } 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看
0 C: x" h# Z1 S& _/ d2 J5 ? ?% S4 ?/ S/ [1 O% A- N/ H4 P* K
4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
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5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
! q, ~3 e' _8 H$ S N2 l 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
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" R$ z/ z! }( X, n這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.7 T9 ^. }1 c3 q8 p. J* \! B3 w: y
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