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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:$ ]/ ]9 J$ p# v9 W6 E
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Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
3 f. u( c2 L8 T5 J. r' b因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK9 y! t" _4 L6 ]- l
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK) a% O. [" t4 V9 ]
我認知的步驟如下:1 ?+ T4 ~! p# X C
7 J: s- q; r. f2 j) B
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少3 ^" S& i, v4 a: f
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.5 _: {, k3 ?, C) h# y- T
6 o" U1 s" ?, d$ Q+ }; g [6 M+ A
2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)7 w9 z$ [; d# h0 c* |
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch6 K% J4 J2 t+ E [* j
如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
) s9 B! |7 N% Q8 I 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
# h; V3 L+ z; L, u 在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
7 @0 R0 U: @+ k wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯0 S0 z* u5 Q& L7 U
: @& _, I7 f5 R8 ]$ G1 O. O3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
' T" H2 [. E# N" B6 o' ]+ w9 v 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看$ x8 v3 g5 W3 ?+ v/ P
/ o% n6 f3 e8 i) J# E. \2 Q4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的6 H% s2 r- b" `6 ]3 v% K
3 _6 O7 x2 G0 G$ v" L
5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
+ B$ {/ X2 t/ o2 \) v 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失& _1 n) c8 i3 b$ W$ i1 G
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這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.# t# R/ b' S% @( T
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