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LAYOUT JDV 注意事項

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1#
發表於 2008-4-3 09:14:53 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
越高階的製程,MASK BOOLEAN OPEARTION 越多  P3 o5 x- m& ~2 D8 B9 g( {+ I
在這裡想要請問大家如何進行 LAYOUT MASK JDV! i* ~$ v/ l) ~3 \$ }! d5 V0 U
是不是可以分享一下作法給我參考呢?
& h& j- B& k7 d/ e! a1 u; |8 ~- Q1 T: ]
當我遇到這些mask,我採用的方法是, 了解每個BOOLEAN OPEARION 的步驟及結果...再仔細的反覆檢查
1 Y: P# \! \: M( K只是這樣的作法讓我花費很多時間在反覆檢查6 G9 r1 H% ]0 L
還在尋找正確又不耗時的工作方法...
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發表於 2008-4-8 00:43:08 | 只看該作者
這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:- B" i3 y  s' w5 O& r# w0 E
. j! M5 T% {' Z  }3 p3 ~6 [
Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
. R6 ~7 d! F: @& x' d- @因為不可能整顆IC 每個 Pitch  width  spacing 都CHECK2 z( P: s5 |0 h6 v; s5 d- _1 u/ c
所以只能用  隨機取樣的方式  做 CHECK" [3 j" t' _) J
我認知的步驟如下:; Q7 S& [' S5 S7 ?9 S! L
$ F0 R! X4 a7 p7 p0 A$ ^, l( g) h4 h
1.  Check  Version  Code  要確定  這層光罩  全部LAYER的 Version code都有出現,  如果有缺少0 K) l  s3 K* e# V6 W
     就要跟FAB廠 comfirm  看看是不是本來就沒有放.
2 u* w( z+ B  v+ x* ]+ d/ x; N; I" S3 x3 Q. F$ ?, g
2.  找一個 這層光罩  每個LAYER都有出現的地方  (為了便利性)6 _4 o7 y" y, v8 W
     如果這是個 OPC LAYER 就要找  環境類似或重複性很高的地方去量  X-axis 與 Y-axis的 Pitch2 V. ?) \4 ^- _4 h/ ^
     如果不是OPC LAYOUT  就只要找  X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量3 f% R, f+ t2 ^) E
     選擇的 樣本數   越多  自然自己就會越心安   JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)+ T; X# m) f0 _, _( V
    在這邊要特別注意,  如果這層光罩  有  L1+L2+L3+L4    你要盡量去量   Layer與Layer有重疊或鄰近地方的/ v5 K4 T; }! H* j8 F! Z- ^
    wdith, spacing 或 Pitch  才能夠順便CHECK   光罩有沒有在做OR運算的時候出錯4 M; x  z6 u5 T/ D/ M

0 R! s7 j7 j# L8 i* a# p/ E3.   最後要確定 光罩有沒有  Shift
* E8 B" f# b$ d# g      把之前VIEW過的 光罩拿出來疊   看看  width,spacing ,pitch有沒有跑掉,  X軸與Y軸都要看# @/ B) i* j6 i: r  ^

7 |. D6 s" `" D4.   如果是改版的話,   就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
4 ]" w# @: x, a% A, q  P0 n# i9 h; Y& K, P' f+ D1 w: G
5.   如果這層光罩  有很多不同類型的地方,  比如  ESD   IO Interface,  PAD,  Array, ....etc  
( u, j( l& P5 a      為了保險起見   最好每個地方都重複  2-3的步驟   以確保萬無一失& S9 T1 j( E; S7 X: k6 J
( c3 C6 J2 z8 G
這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方  也請其他好心的大大補充.
" X9 \" o  D) j. V- G4 }9 t
* j! D% f) d8 R3 k" X8 N. \                                                                                                                                YHCHANG
2#
發表於 2008-4-3 11:38:15 | 只看該作者
您好:4 l; x1 j" \$ O- r9 U) B! |
   關於JDV(JOB DESK VIEW),小弟從事LAYOUT一年多以來,JDV一直都是簡單帶過耶 * Y- o1 Y6 x! h  W1 R# [1 [, n# l% w
基本上都是先確定CHIP的四個角有沒有SHIFT,如果沒有就在任意的挑幾個地方! h+ p5 E: V$ ^' w3 Q! v1 T! Q) U$ M
看一下SIZE有沒有問題,就OK了 不過可能是公司制度跟自我要求吧....
# n  W6 h7 F" G1 f2 ~  T所以以上是我個人的經驗,實際的情況還是要依您公司為主,參考用
! E8 N0 _# n. T+ O) L4 g" P3 W9 Q. D. E* T5 T6 q8 A
[ 本帖最後由 crystal_blue 於 2008-4-3 11:51 AM 編輯 ]
3#
發表於 2008-4-3 14:55:44 | 只看該作者
我的看法是耗費大量時間檢查是必須的,因為辛苦這麼久,花費個幾個小時到半天做JDV,如果能檢查出一個錯誤,那就值得了 .# a; c% l( v/ Z3 Q- u% q: Q: a! W
我曾經就在JDV步驟發現錯誤,而停止TAPEOUT動作 ,我那時只想,真是好險~~~~~
- F3 d! t, x. ]* Q7 iMASK的布林跟MASK之間有沒有偏移這是一定要看的.我還會看有沒有SEALRING及切割道上有沒有異常,每一層LAYER一個一個打開看看整個晶片有無異常,畢竟作光罩要好多錢~~~~謹慎一點是必須的.
4#
發表於 2008-4-7 23:24:16 | 只看該作者
非常感謝大大的分享
; U$ j' m2 b  U2 v. T$ t: [非常感謝大大的分享
, A' u' |0 `* W0 o7 D% O3 Q6 [8 L非常感謝大大的分享
6#
發表於 2008-5-29 15:38:50 | 只看該作者
謝謝各位前輩的經驗分享
9 T, K9 r: Z$ a' G8 }job view真的是要細心的去作的
7#
發表於 2008-5-31 14:17:39 | 只看該作者
寫的蠻詳細的,現在在代工廠,雖然還沒有實際做過JDV,但看到一些較資深的工程師,在檢查時都蠻小心的,現在先注意檢查的技巧,希望以後有碰到時能得心應手點
8#
發表於 2024-3-31 17:41:33 | 只看該作者
成年人需要舒壓瀨5280366和TG是nini95951 W$ Q0 t; W1 H# }* c% y! {. X
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