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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
) _# O% `4 Q4 O7 D0 p. o
+ {/ f8 ] P4 y4 }Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
. D- K8 F9 w2 t因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK; T% @% K$ ~% X$ L; d
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK1 U, j: P) z: C# o' k" A
我認知的步驟如下:
4 x$ ?2 R2 i4 r$ p. X4 t/ e. f
4 o5 E' _- Y8 R+ T3 @1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
. E. D$ G5 J! e5 M9 J4 N 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
" \# J7 @7 e8 \! H. J% n5 c. H" p+ f5 Y; |
2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)
; Y- v. o* W6 V& g* o 如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
- b+ G. P2 _. s. I; H( A- V: U 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量. h' b, j# c5 U
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
9 q' _7 Q4 K7 E4 W2 M 在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
6 C+ o1 E5 {5 O# E/ w wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
6 D# r% y t V% ^; M. C) U
7 q0 i8 _7 t7 H1 R: B' n3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
4 r. q2 t- m% k5 t 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看# \. j; ?1 f$ U1 ^! h- U# x
( H7 v- h; e( ^5 P" t
4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的0 }8 N* B2 I' x Z
2 o+ I- ?5 Z/ r# Q8 x- V; N+ j7 ?5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc 3 r7 Q3 G7 f( `# p% z: r/ l) n9 s5 v
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失2 ^8 _3 h) F$ g( @
& H* p) s7 A( h& G, @這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.* M8 r7 F/ R$ ~2 E# Y3 u' q
5 i: v9 B3 r7 T+ x- V/ L: c. j
YHCHANG |
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