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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:3 C$ s. a" b% h h# L$ o! d" {
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Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的! j% I8 [! l* S+ z' f
因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
4 R+ `- H) t: ^7 O; S( E; G所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
0 K& t' W% W9 z. s4 o我認知的步驟如下:
: m2 l1 M% }* W0 D( u+ A1 ?( F* @
* [) T) H( `& E6 |0 H1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
. Y5 s [. F5 U1 } 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.; C E4 o( O% O8 N4 p" M
6 f, j- y7 q& \
2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性); s* g- ~, T# x: i: T9 i
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
, b8 ~! B0 Q' G/ J6 d" z 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
- J- e2 P6 f& w) T' R 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多). G n9 Z9 u2 \8 L* Z
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
0 _/ Y L8 H/ y1 D. S) d wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
: X/ o+ a3 [8 A" g2 v
1 c) Q- v8 C7 R$ A" R( o3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift/ A2 l4 M; H/ Z" B; j: d. D
把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看
( C c: F& C& G; l8 W. X$ b$ v" q8 g( T7 I0 u
4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
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9 E8 @3 d9 R. W- J7 m7 `5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc 6 S: ~% H* P) J: g* Y1 ?2 M
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
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! r2 d8 q0 g7 c; S% j: `/ L8 O" ^! j這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
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