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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:' m2 p j3 y& e5 M1 D
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Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
/ L4 i# S" M- j! h因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK: D/ d: x# M; A0 ?. @4 W
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK% H: x P; x, T }1 t
我認知的步驟如下:
% ~8 E' ` C0 D4 T/ ~/ u& ]2 k/ n* H1 v! @9 {' m' s: R
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
1 k4 w" ~" D" |6 N" ]3 ^& C) Q% [9 ^ 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
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' ^& C$ v3 q* O0 t @2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)& {: k6 @) [! b8 j' G, F
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch( D/ a4 [, X5 C, c1 E' D
如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量' s% Q" K, v7 c7 Q( f
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
, v8 z$ P7 B' c% Y L+ T) F8 d2 ^: m 在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的3 u5 G- L' b6 L7 H4 J- i
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯; _1 N- v+ K! f8 Y- f% x, E
2 o* [: F- [( K+ D' @4 v3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift5 O, H! n+ n5 J$ X; k9 g! ^# S# R
把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看5 c: r/ @; v' ~9 S* P
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4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
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' E$ i! W* T/ r, Q# N5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
5 [) C1 ]9 Y& S 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失$ Z: Q) F$ y$ R, j
7 X8 G; |9 y8 V _這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
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