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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
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Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
- G a& \" H B5 P l6 q因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK$ W- l T( u6 s# n; G7 \
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK/ D( N3 P% O# ]5 ` }; D
我認知的步驟如下:6 i# ^7 i6 ^3 j/ ~& E7 t
4 \, I8 K% P( t! _+ Z% [1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
1 e1 Q' `% I+ W3 w* A7 G) {7 h 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
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/ M' ]" I9 L L+ V& Y% o2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)& G# k8 N+ m% H
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
4 |8 G7 D2 }/ B 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量' f' k$ [3 N6 O( `/ d' R+ r d
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)$ M/ j0 J6 z) h `
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
9 W# ^. ^1 u0 | r4 g8 | wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯7 r d" B* z& u7 j4 ?
' l" E: @3 |1 B+ @: ~3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
' k, l- i3 V' V6 x8 g! w; I 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看
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" f# Q( G7 U1 w+ r0 p* X7 w4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
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5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc 6 U# g; D* M0 E- ~0 m H
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失# C7 W& q t! X5 R8 }$ x
6 G' y8 E. w c這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.' g7 R, V$ X& v. u
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