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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:7 b, [8 X! h6 j
& h' ?0 Y, B3 F3 pJob View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
# t8 {3 ]* F+ O2 y9 E6 @$ k& I因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK' h; d* {& B- t& ~; b; b1 H2 I9 v
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK- r6 @8 R9 S" x G" \) |* e
我認知的步驟如下:
# \) s$ k/ G( P0 n) ]; {
) Z/ V7 V* n5 ^# _( V1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少6 a6 a1 j: e+ `+ k
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.$ L9 {$ Y, [$ f/ F9 A" l
* d' ]6 M3 Y6 k7 V2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)
/ ]2 R3 H2 h# C# `/ t4 z7 f 如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
1 C% t- q0 V9 K* t 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
+ f( ^4 y q% x% w( P- e 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多), \' ~. Z, W+ c! _9 @5 {2 w+ f; Q
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的6 k1 [$ y' n8 }( X! @0 k
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
: u, W# f$ i0 \6 j- F& R* c( m. p" h8 L# C; U# J
3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
# r& ^2 Q; G6 [ 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看; r4 p3 W0 Y; w# `! C( X
2 c) u! t6 r# E, T4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
, d6 v8 Y# m* e& K! [ g- |/ K% u0 S$ A9 ?. a
5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc % ?, x# S5 f: M$ o+ Q+ M
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失* B, x6 s( `: S! ?5 n
8 t) G8 n# C- i& P- K& C3 w這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.% H; u! X! F% O8 `7 k3 G
* _) ]3 l( f d( N( P" {' x: S7 Y YHCHANG |
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