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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
' ?4 h( p+ |( s1 K0 W' m7 v' q* p8 M
Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
# [$ R) D6 l8 e- o* J, D) r因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
0 w0 }3 {( P* e所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
: X' n9 N+ \/ F- @我認知的步驟如下:
" a$ D6 S/ U# n1 l0 T1 Q" _
) f h" b5 x0 V% r6 K4 h1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少/ W; i7 p/ r. |
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
1 E7 Y/ [9 C" O a3 h$ ]0 x' S# E3 N5 c7 X
2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)5 W( }; G6 f( q1 I" }4 o
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
/ o! u5 j" d& e' c! N 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量: O3 A. O5 ]' Y O9 k# H& M0 v
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)2 ~+ n1 O1 {, f6 Z
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
) Z1 K- ?. j* H" q3 I5 Q% c4 c wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯) j8 _ S0 r- u9 ?
! z9 u0 [/ ?! `& q& h4 V( j4 J G3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift' o8 g9 U8 y9 \. N
把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看
, E4 `5 I A: a W( ~. J
! B0 L1 @+ f% A: K% N4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的6 g6 j3 t5 y: j' P$ z
$ Z" X4 j ]; M# e5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc , l" T* Z) U: x6 a6 s0 X0 v5 Q3 w- E
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失/ c' u, ^/ ^7 D W) s5 O
0 m$ _2 ^$ l9 j. l! x, t- J1 x" f
這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
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YHCHANG |
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