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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
2 s5 F, k8 @; F. Q8 ?
9 u2 I$ s3 {# tJob View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的) K5 i$ r& T* K7 b& K4 ]8 G0 y
因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK u4 `/ u) X6 D$ A$ d
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK8 ]" E9 ?. B/ S0 v' ~% a: d: i% N/ P
我認知的步驟如下:
7 y7 |: L( \+ ^/ ]. G0 |( y) S8 I, j2 |
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少! n: W- n4 e$ a6 o
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
- ~' |4 r. e, m9 b' d1 a. ^' f0 Z( Y5 t0 w: i. d% Z1 w
2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)6 d. ~0 s# S7 {0 Q) W% ]2 p+ B
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
+ E: t1 _# Z/ d* f/ C 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
4 ]) o; H: j. b/ i 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
8 e4 |0 x8 I: p! ~" W0 U; \ 在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的( |% I) } X6 G L$ O
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
# p2 v( S$ f0 R# Z/ S; H, R/ i0 C7 a7 W, `
3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift) i1 e' m* ?' v5 T, A
把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看
8 i, A7 e2 s8 O9 \, o
9 G+ w2 a' T+ ~3 Z8 g$ t* [7 G4 I4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
. e) ]) I. V* Q! j" s8 @! j" q+ I1 G0 n% o
5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc % A4 v, L+ A# ?$ ?" b
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
# K. O& P" m! T( V( J/ P0 X* Q. G, G4 v8 a: F) b1 t1 I. L7 C
這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.1 }7 \& C5 N0 s' L' L
: _2 D7 g2 L3 q* h4 v2 Y
YHCHANG |
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