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LAYOUT JDV 注意事項

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1#
發表於 2008-4-3 09:14:53 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
越高階的製程,MASK BOOLEAN OPEARTION 越多. T4 A0 Y* K& L6 d! V( o: R" _9 y
在這裡想要請問大家如何進行 LAYOUT MASK JDV+ I, r4 q3 ^( s% A5 i* x4 G5 ~
是不是可以分享一下作法給我參考呢?
% O( D# d4 j1 c1 b# A8 H; s% o) x+ c6 w5 |
當我遇到這些mask,我採用的方法是, 了解每個BOOLEAN OPEARION 的步驟及結果...再仔細的反覆檢查
* k* b) l0 g. N! |* B8 V1 R# q0 D只是這樣的作法讓我花費很多時間在反覆檢查
9 j2 |3 G6 ~5 e! r* o還在尋找正確又不耗時的工作方法...
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發表於 2008-4-8 00:43:08 | 只看該作者
這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
& I' L3 H) ~' f2 t" _& t8 W. L- I; X7 u1 L' e
Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
- I5 b! z: H9 `% f4 Q* |" U1 h4 t因為不可能整顆IC 每個 Pitch  width  spacing 都CHECK( J) B( w8 n# ^" O0 w% O4 Z2 @
所以只能用  隨機取樣的方式  做 CHECK. y+ h0 g' E  j$ X
我認知的步驟如下:
; K3 N2 W: e9 O2 w2 G. L8 s. \2 p" n
1.  Check  Version  Code  要確定  這層光罩  全部LAYER的 Version code都有出現,  如果有缺少0 r8 ~/ B3 D  |  X
     就要跟FAB廠 comfirm  看看是不是本來就沒有放.6 _0 e1 m9 z4 ^6 \* p

. F# L: S# e$ \. Q6 ]2.  找一個 這層光罩  每個LAYER都有出現的地方  (為了便利性)6 @: O! N) t3 t' I2 s( v" O4 @. [
     如果這是個 OPC LAYER 就要找  環境類似或重複性很高的地方去量  X-axis 與 Y-axis的 Pitch
" a( z' ?. C' ?2 ^( d. i! \     如果不是OPC LAYOUT  就只要找  X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量' S3 y3 B, o. x' L$ d0 C
     選擇的 樣本數   越多  自然自己就會越心安   JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
/ w; N% O! S# z! D    在這邊要特別注意,  如果這層光罩  有  L1+L2+L3+L4    你要盡量去量   Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
$ f0 n  |9 w2 s* x  C    wdith, spacing 或 Pitch  才能夠順便CHECK   光罩有沒有在做OR運算的時候出錯! r! I  O0 `) t7 X* ~. D
( m+ u$ S/ y7 N6 Y) j* f3 z1 l
3.   最後要確定 光罩有沒有  Shift; K* h+ [% i& z) y. S
      把之前VIEW過的 光罩拿出來疊   看看  width,spacing ,pitch有沒有跑掉,  X軸與Y軸都要看
! _5 J* B7 }1 z# M# C% ~* p# k' z4 y% Y1 g4 e7 W8 h
4.   如果是改版的話,   就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
9 h9 z$ g4 g% s1 s+ Z/ d
$ h+ I: k. N+ M7 U5.   如果這層光罩  有很多不同類型的地方,  比如  ESD   IO Interface,  PAD,  Array, ....etc  * P; X2 b( P# ^5 H' L; D, Q
      為了保險起見   最好每個地方都重複  2-3的步驟   以確保萬無一失0 X/ t9 O  i0 w# @

* _2 i( R9 P# {7 K4 p1 E這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方  也請其他好心的大大補充.+ e6 M( C9 H2 X+ f  ]
- U" k0 ^1 ^7 Q; q/ ]
                                                                                                                                YHCHANG
2#
發表於 2008-4-3 11:38:15 | 只看該作者
您好:& ?& q5 r( W& X3 R; M6 b
   關於JDV(JOB DESK VIEW),小弟從事LAYOUT一年多以來,JDV一直都是簡單帶過耶
# p* y# K& R# g: A/ T& I基本上都是先確定CHIP的四個角有沒有SHIFT,如果沒有就在任意的挑幾個地方3 ?4 ?5 a, J' S& `6 ?
看一下SIZE有沒有問題,就OK了 不過可能是公司制度跟自我要求吧..../ I! N2 E* ]& s
所以以上是我個人的經驗,實際的情況還是要依您公司為主,參考用
/ z/ c3 m) u0 ?" u( k9 D: `* Z, ^4 B' ?  g" b6 V! K4 ]
[ 本帖最後由 crystal_blue 於 2008-4-3 11:51 AM 編輯 ]
3#
發表於 2008-4-3 14:55:44 | 只看該作者
我的看法是耗費大量時間檢查是必須的,因為辛苦這麼久,花費個幾個小時到半天做JDV,如果能檢查出一個錯誤,那就值得了 .
$ t  ^! ^4 Q7 f5 V4 V我曾經就在JDV步驟發現錯誤,而停止TAPEOUT動作 ,我那時只想,真是好險~~~~~( K0 s7 s0 B! ]( t/ ^7 [
MASK的布林跟MASK之間有沒有偏移這是一定要看的.我還會看有沒有SEALRING及切割道上有沒有異常,每一層LAYER一個一個打開看看整個晶片有無異常,畢竟作光罩要好多錢~~~~謹慎一點是必須的.
4#
發表於 2008-4-7 23:24:16 | 只看該作者
非常感謝大大的分享
! i) ?, k1 X5 C) R, |0 ]非常感謝大大的分享1 B1 I5 O6 [; V, j; ^
非常感謝大大的分享
6#
發表於 2008-5-29 15:38:50 | 只看該作者
謝謝各位前輩的經驗分享
& V- d/ p8 t& s6 a$ }job view真的是要細心的去作的
7#
發表於 2008-5-31 14:17:39 | 只看該作者
寫的蠻詳細的,現在在代工廠,雖然還沒有實際做過JDV,但看到一些較資深的工程師,在檢查時都蠻小心的,現在先注意檢查的技巧,希望以後有碰到時能得心應手點
8#
發表於 2024-3-31 17:41:33 | 只看該作者
成年人需要舒壓瀨5280366和TG是nini95956 V0 u9 i5 H4 a  `/ B5 ~  ]
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