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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
+ u; m& [, ?" u1 ?
, v) z7 n4 B. F8 w, @Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
5 u4 o! k; q* y" e$ X# s8 l因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK' j+ N7 p# g4 {& z6 g- ~
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK y. U2 i8 G3 w3 l
我認知的步驟如下:7 R1 y8 ]& l; V) t9 I. }
2 M6 A! x+ y5 y1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
# ~) A8 `% a. E! W5 s 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
g; w* Z* c& t; g6 i
; T. O" {1 z7 c& ?$ p2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)
* o7 l" P* ^, `) [. Y% y 如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch/ M7 P/ e" F% u/ w% P
如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
* C9 P. r& x5 V/ ?6 s& L" \ 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
8 P) U+ h( j, G 在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的% Y9 L0 C( v. b# _ D; m
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
$ i3 U) r% M0 R5 S" \
9 D2 f# w+ w R+ l& z0 X8 w3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift5 |) l$ e1 }& f, J7 c6 m$ ^3 u' X
把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看' z- z) I, N" x; ]' E
7 X, o! p; o: E4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
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5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc 3 i6 x( _+ l8 f/ ?
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失: b& c$ {3 b3 T
, Z% K4 v% @0 h- Y8 v這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.4 o! k8 N; ?$ d. Y! |& f
$ q2 }% a8 |8 r! ?& C5 Q- s9 V YHCHANG |
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