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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:" P* m' E1 E1 [8 p0 R. q
- g: N$ B3 X8 r& L3 VJob View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的; \0 f6 z, i; H. K F
因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK n# W2 S7 W" @5 \
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
) h( T2 K( P& P" r, j8 y z我認知的步驟如下:, d3 W1 U# s2 E' w" f, |# n1 g
8 h* [! W% I" o6 O/ O
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少$ \% }9 ~) r3 k- [$ }
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.1 j/ A# z) l8 _5 M( C& I4 _6 }
; }) |* I4 v/ P/ H& U1 V6 n
2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)2 m4 \! o- W2 w% j1 b! q0 K
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
/ G9 q+ g& S& @9 p& Z1 P 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
: ^" }2 {9 ~: q/ ? 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)6 G+ D' }/ V$ I+ q4 T! c
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的+ |& D' M( C0 E7 C: [
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
3 a& E3 k! R8 S6 H) D5 a. v6 b% l" f
" d: H8 j9 q1 l& U% u3 Y3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
% V* R& j0 V0 [$ |% W 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看
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( Z; E& {) t' ]! i9 n4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的$ m' u1 @% r4 u: Q; z
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5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
- K$ c; [* @3 L' P( l 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失- f4 K2 B; g9 Y$ n6 m9 r; _% G7 J; R
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這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
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