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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
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Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的$ C8 F' ?( m/ r
因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK' r7 o( B7 N3 _2 j: B4 I; ~5 M
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
E& J9 z/ N& b- x2 G" l# w我認知的步驟如下:# I# I7 U" h* m! g5 S
* [2 P# E% K' |0 `' R
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
0 p2 G; m# O$ _# F5 E* ]0 z$ Q' \ 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
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& G: k0 Q! {0 L" V" a6 }' k2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性): S' T4 s2 k9 E( Y% v
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
1 D8 G1 T- F$ d! R l 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
% V- d# u D+ ?$ Q2 C0 O 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)$ W1 @9 K+ h9 G4 W: r* P' k
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
6 W! m7 Y' t5 C wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯& b2 e- h$ H" l1 K x% g5 T, e9 b
$ m3 ]: G+ R+ S3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
8 Z# r- p9 |; P7 h0 Q3 s7 [+ b/ a 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看6 l! T$ h D; b' @
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4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
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5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc 7 l% b' k8 Y% |
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
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這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.( @- q0 B/ e& s$ S. f
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