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LAYOUT JDV 注意事項

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1#
發表於 2008-4-3 09:14:53 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
越高階的製程,MASK BOOLEAN OPEARTION 越多" Z5 N" m+ V' }8 N
在這裡想要請問大家如何進行 LAYOUT MASK JDV8 T. s3 B" A: C+ E( o/ T
是不是可以分享一下作法給我參考呢?
$ \# ?' ?3 w0 F; N5 ^& Y7 s3 Q/ b
6 Z4 t1 U6 H3 ~6 ^' E* s7 [+ \當我遇到這些mask,我採用的方法是, 了解每個BOOLEAN OPEARION 的步驟及結果...再仔細的反覆檢查7 Q9 I1 U, O/ R1 `+ y4 Y
只是這樣的作法讓我花費很多時間在反覆檢查
9 J! s" G* B" ]5 b% a  H還在尋找正確又不耗時的工作方法...
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發表於 2008-4-8 00:43:08 | 只看該作者
這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
. V0 q5 y) v& }. ~  }  @7 \1 s2 ~) [6 ]# r
Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的* \$ \" K6 ~% U
因為不可能整顆IC 每個 Pitch  width  spacing 都CHECK
, C" C% W) [2 l所以只能用  隨機取樣的方式  做 CHECK* C2 U) L- h" \, n: `9 f
我認知的步驟如下:7 M  N7 E0 Y9 K& Y2 d2 h
& I; e1 t- k& W$ a
1.  Check  Version  Code  要確定  這層光罩  全部LAYER的 Version code都有出現,  如果有缺少
! `% I- X: i. g* U& }. ^& l; x0 O     就要跟FAB廠 comfirm  看看是不是本來就沒有放.3 p" a3 A/ e9 g* K6 s4 ^

0 w- F  T6 I5 v* H9 _2.  找一個 這層光罩  每個LAYER都有出現的地方  (為了便利性)
. k+ B0 Q" N+ V8 t$ }     如果這是個 OPC LAYER 就要找  環境類似或重複性很高的地方去量  X-axis 與 Y-axis的 Pitch
3 L. c, e! |8 E, t' T     如果不是OPC LAYOUT  就只要找  X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
, o% z9 T7 }; f4 k     選擇的 樣本數   越多  自然自己就會越心安   JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)" x. B4 v5 H2 S- y) l7 O
    在這邊要特別注意,  如果這層光罩  有  L1+L2+L3+L4    你要盡量去量   Layer與Layer有重疊或鄰近地方的5 n# M/ \) P6 }; @# y& a6 {  }
    wdith, spacing 或 Pitch  才能夠順便CHECK   光罩有沒有在做OR運算的時候出錯1 @( p  T9 f+ n& h4 @

  }' D/ h& {) y0 l3.   最後要確定 光罩有沒有  Shift1 ]* c2 g) H' \' X. p- q
      把之前VIEW過的 光罩拿出來疊   看看  width,spacing ,pitch有沒有跑掉,  X軸與Y軸都要看' @" J% @' s, m# ^+ m" S+ w
4 C# O  y# v) j  k) Y
4.   如果是改版的話,   就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
2 E1 `, @  F1 D6 \" |1 D' F+ H
* `/ y; b% f6 W5.   如果這層光罩  有很多不同類型的地方,  比如  ESD   IO Interface,  PAD,  Array, ....etc  * t" R7 [" D( o5 f- Z
      為了保險起見   最好每個地方都重複  2-3的步驟   以確保萬無一失( X8 Y& |7 H$ \/ v; V

- Q2 D8 Q7 ^6 n! {, ?這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方  也請其他好心的大大補充.
3 L' @* ~( q0 d
7 P9 P8 y+ G5 i$ l( Z4 S4 |                                                                                                                                YHCHANG
2#
發表於 2008-4-3 11:38:15 | 只看該作者
您好:
& e( J' i" z2 K# L; Z- N   關於JDV(JOB DESK VIEW),小弟從事LAYOUT一年多以來,JDV一直都是簡單帶過耶
, l8 `' F3 x5 ?7 {4 M基本上都是先確定CHIP的四個角有沒有SHIFT,如果沒有就在任意的挑幾個地方& |0 c+ z0 V9 l. u: u
看一下SIZE有沒有問題,就OK了 不過可能是公司制度跟自我要求吧....
# f1 K! O% D7 n- v2 z2 \4 G- D所以以上是我個人的經驗,實際的情況還是要依您公司為主,參考用% n' z3 G) Q2 W6 r

8 u5 z9 P! v: d- t  ?[ 本帖最後由 crystal_blue 於 2008-4-3 11:51 AM 編輯 ]
3#
發表於 2008-4-3 14:55:44 | 只看該作者
我的看法是耗費大量時間檢查是必須的,因為辛苦這麼久,花費個幾個小時到半天做JDV,如果能檢查出一個錯誤,那就值得了 .) e2 f+ w/ l$ x, n0 e
我曾經就在JDV步驟發現錯誤,而停止TAPEOUT動作 ,我那時只想,真是好險~~~~~
7 e& D+ k: h. E0 [( x; q- rMASK的布林跟MASK之間有沒有偏移這是一定要看的.我還會看有沒有SEALRING及切割道上有沒有異常,每一層LAYER一個一個打開看看整個晶片有無異常,畢竟作光罩要好多錢~~~~謹慎一點是必須的.
4#
發表於 2008-4-7 23:24:16 | 只看該作者
非常感謝大大的分享. r4 N2 h( D' Y
非常感謝大大的分享% Q5 \' G" Q  E! G
非常感謝大大的分享
6#
發表於 2008-5-29 15:38:50 | 只看該作者
謝謝各位前輩的經驗分享
7 [2 H6 l6 u$ y! ?5 s1 Pjob view真的是要細心的去作的
7#
發表於 2008-5-31 14:17:39 | 只看該作者
寫的蠻詳細的,現在在代工廠,雖然還沒有實際做過JDV,但看到一些較資深的工程師,在檢查時都蠻小心的,現在先注意檢查的技巧,希望以後有碰到時能得心應手點
8#
發表於 2024-3-31 17:41:33 | 只看該作者
成年人需要舒壓瀨5280366和TG是nini9595$ [4 y3 R# Z1 c6 l, S# D* [" e
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