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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
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Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的* h% J: R9 y- e2 f5 z! s6 k
因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK% L4 ]7 d+ m6 Y8 Y' y( l
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
. v( p7 c1 x0 m4 o" A# Q, c我認知的步驟如下:
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1 ?' u! R1 h: L7 g: J* X- M& A1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
; C9 K5 _; z0 L% {! A 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
) B5 a4 {" F" Y: m8 S! y. M# r, ?& q
! r( ]+ A) U3 F4 V2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)
8 [+ n2 z) d7 o( A, ~8 o' \4 _/ g0 m 如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch! E0 |$ ?4 w. Y) ^$ E0 O
如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
6 p4 G3 y* i& _. E 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)4 o( `; V# C! ?. I8 m# V7 [- J
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的; }$ M- |2 o; M
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
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3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
" I4 {) e' Z/ c6 Q4 b% w: k% y 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看1 u+ i& t+ e i# O
* C7 s& v4 [5 p: v' P4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
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5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc & ^8 v: T& Y+ K& x5 c$ g& L z
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
) W. g. L/ n5 q3 D% Q. r$ I) Q
; b- M/ r* V( }8 r這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充. }6 n5 \3 o- \9 L# `# b& Y+ U4 V0 ~
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YHCHANG |
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