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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
. V0 q5 y) v& }. ~ } @7 \1 s2 ~) [6 ]# r
Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的* \$ \" K6 ~% U
因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
, C" C% W) [2 l所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK* C2 U) L- h" \, n: `9 f
我認知的步驟如下:7 M N7 E0 Y9 K& Y2 d2 h
& I; e1 t- k& W$ a
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
! `% I- X: i. g* U& }. ^& l; x0 O 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.3 p" a3 A/ e9 g* K6 s4 ^
0 w- F T6 I5 v* H9 _2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)
. k+ B0 Q" N+ V8 t$ } 如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
3 L. c, e! |8 E, t' T 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
, o% z9 T7 }; f4 k 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)" x. B4 v5 H2 S- y) l7 O
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的5 n# M/ \) P6 }; @# y& a6 { }
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯1 @( p T9 f+ n& h4 @
}' D/ h& {) y0 l3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift1 ]* c2 g) H' \' X. p- q
把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看' @" J% @' s, m# ^+ m" S+ w
4 C# O y# v) j k) Y
4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
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* `/ y; b% f6 W5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc * t" R7 [" D( o5 f- Z
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失( X8 Y& |7 H$ \/ v; V
- Q2 D8 Q7 ^6 n! {, ?這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
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