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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:4 z/ a. _- k9 ]
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Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
! }" G5 r, _$ y因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK8 w: Q& C3 @6 K. G- ^8 Y
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
$ l% R w! w& R7 k我認知的步驟如下:' M- p9 F. h" t `1 U
3 F9 v, R k/ q5 B, H6 H
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
H, m8 r! h$ n! |6 c- q# |8 x+ j 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.0 J) ^5 g& m8 R& n+ H- h
`% _4 X' S: i7 H7 K2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)2 ]+ c: T# Y- V5 F2 F J' ?2 l5 W
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch* a' N7 q+ L. l: m4 K5 b, ?$ R p
如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
0 O( f% v# p% A5 f& A W" x 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)8 I O5 d0 b, q/ s2 [) J8 o
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的& d/ _: h' c, L* q/ K: p, v- a
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
. ^7 e0 ]. b. T$ ?5 V: ?9 B3 z. q) l. k3 o
3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
* _: C, _) Y8 Y4 j( r0 T9 S) i 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看* g" f6 ^6 ~& J! b! w
$ s0 a3 ^+ f7 t0 a" S5 c1 z u4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
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5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc " y! t3 H. j- G' c* c$ v
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
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9 o* i l; F# E' d4 p% K( {- T這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充./ }# r8 L' C! q, _9 G# i* E. T
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