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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:5 P% D$ l1 ]: q
; ?$ W, P7 j& E1 |Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的1 C* s/ M) r6 ?) H T k
因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK1 a$ F1 z6 d9 r. ~
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
4 g/ b3 ?% {: v我認知的步驟如下:
/ R% x2 u9 A1 b: J+ l6 b- b2 l4 n0 v3 K8 j/ f$ `/ |$ p. O6 e
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少& E/ ^- f H; u8 O0 A" p
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
) Y4 ]7 n4 X" ?* S4 x: [: R6 P( u& j8 ?* Y- C! O+ N6 H
2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)
, P; E1 e5 ?/ x" \ 如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
/ ^! M. ? M0 Z 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
3 S& @) C! f5 V! E- p 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)* @' w' K9 u7 [
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的0 I" @) z. C; d
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯; b% l% I1 F0 ~* o5 B
9 b2 _: ~5 m2 G" A6 m3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
7 s0 }8 l' `$ D8 g 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看
* ^/ ~3 R, J8 B% c D$ q
, |& v* r: O5 R1 A& s' T4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
2 J! E8 B4 Q% l# v+ E5 r
8 a* C/ h; X3 ]( K5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
$ F: M6 \: L7 n7 K( b 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
6 _( K( m; S4 a% C- P8 [& \- ]5 x8 G( }8 i. l
這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.7 j: N k0 j G: J+ w: }
& I, O' L5 j. r3 r% \! j. }
YHCHANG |
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