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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
) P) P; P# g4 z4 g; c1 ?; `9 H: d$ K# E- j1 G
Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
5 f3 [& `/ W! m- i4 |因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
0 Z0 l6 P0 R( @2 i# w2 Q1 Y所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK' p9 w! j& \* ]
我認知的步驟如下:: i2 I1 H+ q- [6 t$ _7 L4 `
# h5 }7 f/ S, x+ j0 m
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少' N m+ V; B. L! F+ g) u
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
2 G1 {1 D$ t7 {% N" q& @
# K' l2 P4 [1 L( t1 h2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)' H( d# {! p: C% d5 j. S! U
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch5 t" I6 t( u5 l2 Q
如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量! l7 | _' h0 p. z1 m0 M* K
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
6 O0 A. ]2 f% e5 j8 [: _ 在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
2 f, h# K: {7 W wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
. B% q# C3 ~; F+ t% Q5 ~* a* T0 r( `
3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
9 a* d: ]! u: p+ g: ~* L' n 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看
! i6 v+ `3 C9 k
& K2 i6 u) b3 U& _, q4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
: |% ~) V6 V* l* P8 W* q8 Q" R3 k# j2 C7 e$ u% i( D5 Q
5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc ( Y5 ]6 l! S5 U" ^
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
. u! q N/ q( @ m
( c, Q/ T. g$ E( `+ H8 E這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.2 _) o" z% i, G' `
0 B) }8 e% @. [0 a6 ~) z. y! u YHCHANG |
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狗仔卡
發表於 2008-4-3 09:14:53
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發表於 2008-4-3 11:38:15
不過可能是公司制度跟自我要求吧....
c: a3 b- B0 i# N/ {% H2 Q' M4 x