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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:# c) W# n% `% i6 T5 e H5 k
' r' v' O: r4 W, x0 jJob View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
# a$ \+ p4 n! W7 \, g因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK% T/ J# b* m( ?* H y
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK& B9 D- }0 R7 K* S. N/ ?6 [
我認知的步驟如下:
, l/ s0 [* I7 l4 N) Z+ t
3 m9 T. q3 S& P# f1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
* @; q9 h1 k$ t* z* b5 }, n+ e 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
& |: T" l F2 _0 @! d
, a4 {/ J( C1 Y2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)) E+ a% C7 L. g' E* b
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch1 V1 k! W* F+ J5 R
如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量! o. s- x# c: M- U3 I* O
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
9 Z2 `( J" P2 D; v E 在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
7 _+ ~! t4 e3 `9 ]3 x4 Q: U wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯2 ^6 @: ^: H- R) G* ~% ?$ e& o
+ x- ]( _* D* e! P3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift/ ~2 {* Q, v+ Q' P# p+ S
把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看2 E* X3 P* r0 D" _8 `, f
- j0 X- w1 C2 K k4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的% X% C& A: r& C7 U: e6 F8 R+ D& a
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5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc ( l( X; [' G$ i% K
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失' i: r9 |1 ^+ _; s% [7 \
$ L- ]2 m* D: I6 G( r% H/ w) b這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
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