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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
* J9 `% m Y, p; }4 h) N p' G* T" f$ v; B% W
Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
( \* K: m9 m9 _/ A" z- H( s因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
$ e4 I. F+ T' z所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
2 V) c, q5 q' j: \" n; [我認知的步驟如下:- @& c. k: {* y/ k
! Z4 U/ Z0 e8 t' m1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少3 e& v4 L1 B" Y3 Y( x3 B1 e
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
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1 N7 A8 d6 `2 X5 k% }2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)5 q t- l. F6 o w2 [3 Y
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
^$ q7 b: i2 e a# h# K: m0 V8 A: ? 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量4 S( V; e4 w# S& ~! s& T! D
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
3 H% N, k! F) O0 ]( a) k( O9 o3 | 在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
, ~' }/ i8 W) G+ l: V wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯0 a' \5 ?1 U; J$ @$ S
1 i& n' ]; C9 h5 b ?
3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift: o- }( C$ ^, u: @8 b6 {
把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看
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1 R! w& T2 U7 O; s2 I* [, R4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
5 x5 v4 t( D0 B f1 c* Z4 y$ l) |7 X! j9 v. j
5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
* a* {+ T; ?7 W# S 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失3 Y& b% G% T1 c5 l) G8 w! l
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這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.- {- [7 m& ]$ l6 S x. c
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YHCHANG |
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