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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
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* \& G1 @4 \- t# V$ e* P% B4 rJob View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的6 o4 Q' B; X( Q& P
因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
& s; g& a( N4 R$ T9 D" u所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
! a# }: [; {* Z# I( X$ B% C我認知的步驟如下:
9 _- y& O0 v5 u* h9 H1 ]/ A# [5 r% k p
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少! U+ ^, X9 T% |( w1 r
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.- W4 ?" V& t! t7 {9 b/ N
) i6 x4 e1 O! u# ] A
2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)# F& i8 g; f) T) t/ U
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
7 z% S0 F! g' n: w 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量, {) f- F% [/ x- i
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
L# G$ j! _; z# }) m 在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
- m9 H! s$ S* s1 X0 m( U& f wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
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8 Z0 A4 j. J; p0 j; v3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift: y3 m, N" t2 Q, b
把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看
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9 u' I8 C$ n9 }% Z6 o7 K# c p' W4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
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5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc ! @+ D- y# T5 m& D
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
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這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
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