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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:7 J* ~1 D: l: ~8 d. i) G
! d; d7 c0 V0 p
Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
8 x: Q' ^# g* e因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
* V' D1 C" s! A所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK- \+ q! ?$ ^4 X3 A& r! t& a1 @
我認知的步驟如下:
% |* `$ k4 n+ V; z9 P( u& n( h3 A% s4 W1 w0 ?! q
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
$ t( g" O# ^3 q4 H! A! b* P( p* }$ b 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
! {# d! j& \3 ?# `) d. f
& M* J" r% u% t2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)' g7 }0 y2 _8 |9 o$ @# T# u
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch, G$ n3 h! G2 R l. C
如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量1 n, n4 a; v- z
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多). W9 w+ J5 d, {" H
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的1 G) B" @5 j7 K$ B7 }+ {9 ?7 q
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯, C$ s2 t0 c0 }4 U9 m
, F4 X0 V2 n/ m
3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift4 P/ l* I$ b/ C F K7 l" q
把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看0 ^, Z8 ?0 H6 k# o- P& o
/ {1 y7 G/ `" b( ~9 Q4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的) _3 u3 i* M0 m4 C% l; F! a
% ?2 Y& z6 B. T, S+ Z a1 _ b5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
9 i* w r [! k$ L, m5 M( Y 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失 |8 Q! G" q, f9 B$ {7 }
0 P" n$ e( P& ?8 x
這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
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YHCHANG |
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