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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:9 f/ U# X- j W1 t
! {* h/ w" ~/ w0 T- vJob View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的" P7 u; q: n$ ?% H6 ?* G; X* H
因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
: B0 a, s$ \" j5 A所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
( Y2 [, S/ P- V7 m: f( V我認知的步驟如下:
( I+ f7 ^4 Y5 |7 f0 I- w7 A- ~8 \& o1 e
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
0 _8 P! e4 |) w" }3 L' `# f 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
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$ _1 I, T4 h& r+ o2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)! ~. v. L) {/ g% h4 ^3 V7 G# G+ o
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
0 {/ D9 _$ A/ t. i0 j U: a& x 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
( w h5 k. {. E7 r! h! u 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
8 \( f. k/ D5 P4 I8 E 在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的$ n! f, B+ L: O! S
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯: M! @3 m7 ] {; U
( Y% q% k: L) v- _8 V' L" a W) z3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
& U5 T8 f2 {+ t7 r/ C9 e+ B 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看
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7 z. D( T } D$ r4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的: w$ z$ S0 ?# G5 A. f: k
) h# o" V1 n8 Y. k' m1 D( p s, o
5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
; x$ T, V7 \" m$ Q) ?, y 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
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這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.7 i2 _" X8 h! F! }, z- w5 X! ^* _* z
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