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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:" w1 j( o) B# f1 L. A) i1 _
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Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
- s6 t- E1 g2 ?5 w因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
: ?1 f$ C& g: W0 t5 ?2 {所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
) `" a$ T8 ]6 e- z4 A7 j我認知的步驟如下:
- T- e; z* s$ V' O# [' o9 h5 T" q& b; u* K1 q; K: O5 L) G
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
Z8 e/ n; h9 O; R# q0 b# z 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.2 F; }- P2 B7 q4 [6 s0 G
}% L2 B/ N6 a2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)6 M) K a, b; E z" n* K6 M' m
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
2 ]2 l) ~. k% } 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量* H; |' j/ X% X- \4 G4 U
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多); R9 a& d1 d* E& ?' A7 \% Z
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
3 U! R4 n- I6 z! ]5 H$ e& { wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
. T# O% f: F( u
- t, l" n# {0 ]0 S3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
* G# \- _# B+ t6 H! | 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看# C) ^" V! R$ ~+ Q$ @& A) u3 A3 u( s
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4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的' A( {, r# m$ |
5 C# I, U" U% E* p5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc - } n2 m3 O. B# E. L# K
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
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這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.! d5 j: V# h* k. {6 y E4 a5 M
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