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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
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; a8 J0 z- Z. t, {+ h% m9 VJob View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的9 _- b$ P8 r# T5 ` J2 n
因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
5 |0 ^9 v5 X8 ?) r# N所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
! T% N1 {. Z0 c8 Q+ H' r我認知的步驟如下:+ R5 g7 h: o; H3 @: g2 k! \
+ }+ _. k; T- \3 L, D( L$ o$ [1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
2 s9 L2 E9 O- n0 ]! x 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.6 k8 Y: n+ H$ i0 s" w7 B ^$ }/ `( a- f
# w. j3 S' W; u
2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)
* C% y' M% \; f5 l0 D0 ~9 l 如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch5 H$ s( p$ m1 R
如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量8 x' N7 T5 O! A4 {
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)2 {" o' N: ]2 o1 Y2 p
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
: X: x2 y& m. T. n, j- v2 x wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯0 t' Y5 _' m( f. e; t$ R3 w# ?; X/ t
$ O) X, T# k7 j T
3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift2 ]$ m8 q6 M1 O
把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看
' L1 c; V( A6 g4 I
7 S* p4 [8 A' C( l- O& M4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的. Q+ V! m6 T5 v3 J
X2 h3 l. z- X9 }0 c
5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc 2 w& I5 G/ U) u7 Y! `' l, s
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失/ M" l% k+ u2 ?9 `
0 b3 l" c4 J0 g' F
這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.4 z. f1 b1 h* g! I. h+ {4 c! _! l
5 V; I4 X+ Q+ o9 D9 S5 _
YHCHANG |
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