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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
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7 s Y- e+ Y5 B; J' O" NJob View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
, J2 j% o6 ]7 w& {) d. q因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
, E7 E1 A" P( k所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
# Y U- h4 t. q d% G& X) y我認知的步驟如下:
7 D; ~- A0 J+ ]9 m& N; [; k% \
' U0 v7 Q' ~' g" }) |6 V1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少+ e! p( |/ U% V$ b. D/ U# \
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
$ ?7 t; k W* n6 M1 t! A- h, M/ J; v6 \+ r
2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)
8 t& [4 Q; T! w 如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
: c; X% _/ T$ t0 ~& C 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
! m! z2 y( e' `! U0 _! M 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)4 s/ D, [ G+ I# H/ }" X3 r5 W
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的, b* ^2 y0 Y* N% D4 {" {
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
4 e# J3 ~* l$ J/ m$ K$ W+ N
( S) l. l8 G8 u6 W3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
1 b+ \; R" ?0 e b' B9 n& ~ 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看
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4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的3 q {) T2 r$ K; k3 c
8 m* b- O8 G8 s, ~5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
$ S- s# R$ y) x, O9 Q 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
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這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充. ~- e, d4 l, _+ [
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