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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
9 c, E5 Y* n) W9 A8 t. j) T3 _
* `8 `8 ^# l6 d& l0 G+ @* ?4 h4 |# RJob View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的+ e5 K) C" |. u- }% Z: p
因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK3 M* |4 u: |& W4 q
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
) l# w; k9 } c7 y M6 Q; q' A% I我認知的步驟如下:( G% p/ q8 E3 J! V
0 Z3 @# k* B' [3 C
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少9 C- K$ l# D+ E# N
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
& R: o8 S4 f: W, L& A& a
2 w/ V% _: B8 c- q2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)7 C7 |, O; b8 e# S/ L
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
, i3 t+ }: M' V 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
* \& S* O* J0 A; E+ G5 e/ n2 B# T 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多); l8 R. z' d/ [- d
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的) x$ P/ T* ^8 j# g8 j& r
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
9 C+ h" C; t3 W ?. G) l4 V# j7 ?) W& M a2 m
3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift5 X) K u, {! _- Q, }- O: q; d
把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看
! j% e! O4 j0 [) F# ^' }# y7 D, a- f: r7 C1 a& n$ k F
4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的9 o% P& F7 I' I' T V1 X- L
) C0 ~& A9 @4 S5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
. u! j# P2 r5 Q; ?, S4 ~ 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
5 ]0 R) O R5 g% J; q5 e% b
1 v/ ?. W" ^8 N1 I這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
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