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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:2 z/ r" ?" |/ y' c g- F
, v& g5 s6 D! N, y1 H" e! |0 ]$ y% UJob View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
+ R9 [. k K7 H) L7 r0 i因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK9 z1 Y( [; U0 M
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
. V9 R# L% `" z: [" w$ ~我認知的步驟如下:0 C- C, l: s9 d
& N, P) i+ V" x) @5 B" G A4 U% E: L
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
a+ a- J6 o, K7 @ 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放., Q3 w( D) W @
" z; o0 q% W" v( b7 I8 O
2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)
6 A3 P" M4 |0 ]. T4 B* S 如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch% I) }$ T I- s8 t% C8 r
如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量 ]; m4 J2 J* P- B
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)( v0 l+ l7 g/ x% d5 U& M3 A, |# e
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的& ^' @4 m( i& g
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
/ n0 [! ^+ p) X
. f* G, G. ~1 |& q. e# ?: u3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift4 a/ ^' X1 @: C
把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看
0 d0 h6 l6 h% S |9 e* ?
6 v7 d' Q9 i! K/ v* s! G/ |4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的' m0 p/ N4 k' r; @
) p( {0 f: T9 m Y5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
- _/ z. U. o3 J) R" I) j 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
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這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
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YHCHANG |
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