|
這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:2 i* Y& N( N; _( C
: n0 R0 N; \$ q1 ~Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
( S! _7 v: S: h0 u' ?, t1 G. ?因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK: B/ s& i; z# P% r
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK7 |- B" d6 T5 n+ ?/ H, D
我認知的步驟如下:7 j4 K& }" M9 p- H1 E1 n! D7 R
: z8 U/ u- d3 J! ?
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少( S3 w8 s% o7 _: G) B$ t2 F
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
. f0 U% p: U J1 m& d
/ J0 o$ x- u- ^" T9 [7 {- z2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)' I/ e0 D) G4 L$ |, L/ @+ d8 Y
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
3 ~* n& X. \7 O4 d. Z 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量" U# q9 X$ J& [
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)( I) e; f2 e+ b$ Q/ h: U# ~2 E+ R
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的0 z z6 o2 x+ H6 \, {
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯: Q i* C; O) e! n; l2 [0 b; G
$ B$ L0 Z0 c, `5 T' J8 z" \3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift g* D6 ?- }0 h% h
把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看
9 D4 k/ D8 V7 Y. O/ I4 [& h) @6 b$ H
4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
) _% H; }! W- V/ G- ^! V3 G
4 r2 D9 A% G( |5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc ' d! d! `& g" x3 v% A
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失8 D; e7 k4 @' M$ E1 y& E
4 C8 ?" I: ]' n6 z0 a" z: B這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
( P4 Z) ^4 x& }; x* t7 c
' S8 u4 b0 ~6 y YHCHANG |
|