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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
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Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的2 r- q) Z; `+ Y' Y0 z7 g8 B
因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
7 s1 V3 M& j2 r6 P; O" P所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
O( k7 L9 @$ P6 |& X我認知的步驟如下:' R7 J+ w7 j& m3 y# D
8 j T9 S* ]( A+ ]
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
: Q2 g+ O" v* Q' C3 o3 B+ u 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放./ i, V) T# H2 M- {" B- ~
* k/ Y* e' B% q! U" @1 Q# A' o# `
2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)" ?2 r) u# s9 P1 l2 n) o8 r( g
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
; N d: r/ T, w. N0 u" h9 O0 t2 q: X 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
! |, Z% i- |; E+ @( Z* b" c/ }3 I 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)" ^5 J( o0 X# ] l' o9 Z
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
' G' v$ f( g, Q5 N0 ~ wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯6 u/ A$ u8 P5 M
0 Y! f4 Q! X; n/ _7 T& r% H3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
: y5 G# U' H3 ?2 v% ` 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看+ V6 ?5 D, N% b# W* [$ g
% b: R$ i0 D/ Q* m9 |4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
7 v# c: X# q7 N1 v( V4 n/ e. s/ C9 \( _% v
5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
7 Q4 b$ g& o H/ X. I7 a 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失4 C! g- c; F1 O
- A) _/ I, p. e: x
這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充./ L: x3 H6 p9 u: H7 s# H/ m2 ~, l
" Z, ~+ @' j) o8 e YHCHANG |
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