|
這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
! Q) [& F1 m' |. r6 e! h, u8 B8 O2 ~" a" p0 t
Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
: y; ?, W' f4 q7 \* k因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
" |) }: V- ]- E1 R所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
! O# o6 ?! z% d4 c我認知的步驟如下:7 m$ n7 }2 A; w& S& H
' p# ^# ]- e- S* X: A2 o1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
# A. N) e8 i4 F* b" M1 ] 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.# o* X$ T2 B' Q; y
% f A5 x! Z1 N! L2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)
/ }; t9 V4 W) g: H& Z 如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch% P, x: j: V1 E0 G6 m
如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量& c: G! e" z3 }& L4 v2 J) c
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)& T+ q7 }5 P0 \" O) W/ N2 h6 F
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的( y3 X. \: R; ]+ `+ V
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
7 t) e+ ]" T( ]7 ]( k3 Z! @/ v' ~) J* P
3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift4 a/ R3 I8 s: o! z2 @3 E8 }1 S+ _
把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看2 ]- U+ h4 B1 d/ f: s, M+ S- C
0 _9 o# E- k- n T5 {! n
4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的9 s, L. F/ i1 M9 L1 O% s' c! J1 ?
. E) E" j/ O2 z% V6 T' _5 P5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
$ o( j4 ~2 v7 B 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失2 A1 [- E8 J, J% g. S
$ o6 F a3 @+ n% }9 t" G9 I
這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
' [: P$ t, u$ c* Z! W/ Z" Z7 ]/ Q7 j5 Q
YHCHANG |
|