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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:/ q# `; c9 E& f5 y# K+ _
$ a1 ^" J c. I+ {: O, _/ ZJob View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
' D7 x9 A$ K: H6 c i6 s" j" O因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
5 ]6 F7 I/ Q1 L& j( o1 f! }) }- i所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
: _% v1 B( u9 K) L$ Y我認知的步驟如下:. S2 z4 a1 A8 E
3 p# d3 r9 d; u) @7 O' j# Y/ ^
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
" v* @+ g7 v. m4 v V 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
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2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)
3 F$ G# X- m: p" k! ~( ~ 如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch6 b' |1 T( d! u# w7 z
如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
3 `4 d) h( {0 E 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
! u5 S3 r# z; k: G; P2 s1 T 在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的* \5 i B& O! \" Q5 c
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
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- s! }( Q) B6 Y3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift- n# v# G5 K5 _) }
把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看" l e2 _, f$ p- b2 s' n. Y
7 S' W/ y3 Q, v+ J% g4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
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5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
8 e. Y f8 `" @6 B6 p5 g1 x 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
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8 y2 s# K5 ~% J9 N: }# O* X這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
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4 m: u; v( e- \ YHCHANG |
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