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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
' z- r* N/ l3 x# w8 M8 l
- ]. Q) O; ?1 m+ y% g# xJob View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
3 x' O! |3 T+ |4 H3 r# Z因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK3 l$ ~. N0 _0 j# h% c
所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
+ N b* O! v& G+ U2 B g+ y# [我認知的步驟如下:# Q; [ Q9 x' I/ t" N( G0 o! ]
R* r' y" |$ M" t
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少% M9 m+ T1 [( Q( y
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
# Z7 w9 h/ @$ Y6 |$ V9 w' O- `* g# r7 o5 z' _8 B2 Y* J$ J
2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)) J9 p& C) H; R& v+ d
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
4 t# r7 ]! J$ y 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量+ p: H& f% o) L+ q
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)7 a) O# g1 D5 D6 J
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
8 A+ [% h7 x3 ] wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯2 l: R6 w' S) C" U/ e4 i/ b1 r( c
0 a$ }* `, p- d
3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
" L/ K9 U5 m" \3 B 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看
+ Q, E3 H2 { r# }& N
+ r- |( i9 s" |0 e0 N- H4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的* K, L4 r& n* P+ K( ^9 V& q6 Z% N
. P o$ {' Z; q; H
5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc 4 j; M$ F( H2 m, _4 o& d) b
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失8 |; z4 Q' W. [9 f# {, D3 S8 j* \
4 O; x7 c7 G# ^' ?) `8 y這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.
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YHCHANG |
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