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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
; t0 R) i; [& P4 b
8 j( s) P3 x- r1 j+ ~& VJob View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的0 E; h# ]/ r0 V9 x; W$ L
因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
2 l" o% z% N1 d% ?) o, l9 P- n/ N所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
8 g# B% }0 l" c& r% W/ G _) ]我認知的步驟如下:
+ o! l$ [0 ~& G9 g/ `& F; a. m( j
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少# j) J. l( s/ P0 C( m. l( Y
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.3 `) F8 x" Q7 t
- l! \ |9 V* R2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)
: {7 r! \6 B, O. e! w: {1 O# M 如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch* H) o/ P0 m9 k. }7 m# G
如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量) P& m: A3 ~' Q0 L
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
; S7 Q7 n/ W3 L 在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
1 b: |1 W( l% O9 j5 q0 j wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯* ?( m, x. e# |
, [5 B9 c5 _3 Y% w/ f7 {
3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
: s0 O! H0 }/ { 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看/ n3 l4 D3 |/ a, x
. Y# B+ D; W! b$ m
4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的* v E. |9 P' v
* A: W! U+ c" _; n. a
5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
! e" k0 V. `+ n' G 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失+ k9 Y( E u# e( L! M
% U, l/ v6 a" V& T$ o# l這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.( D$ }" O( I) N% N
* S0 X- a$ }# |: ?! ] YHCHANG |
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