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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
( E/ ~7 Q" {7 E c) T/ y
) D' o& R6 K2 L" u! d6 ^3 l- iJob View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
% x: G g$ A t1 l0 v4 ]因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
0 X# Q1 Z' j4 @# V; W" U所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
% P* ?% d, v* x, s我認知的步驟如下:/ \1 ^+ R" Y- M, V% c
! R1 \ z( H6 A3 z9 V1 I0 g$ r1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少2 r7 F; | ?$ G3 ]. N! J n- r6 E
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.5 l% j% \4 T9 o" R
- |+ E+ x& L% L) X: ~
2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)! l- r, i4 m% w- j$ ?* l
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
$ t: H: D* t! P5 z! X% t7 r 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
2 ], U& t& i2 _6 |3 x/ C 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)! c5 d# g- q$ k' A
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
6 D% l: \/ O. P: \9 N* ` wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
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3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift2 L' {8 M& _: s' P2 i$ Y7 o/ Y/ T
把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看- R6 e4 q% g( {* h0 N+ n
2 q: K5 K% K! `4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
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3 ? p* ^6 N O7 o% z u5 i6 i5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
4 t/ H; y" J! a/ N" O# T- b 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
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) D O+ `5 f9 \6 w8 `這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.2 ]" ]- Q! }* B/ P8 S! Z; p9 m
, g2 _* B( E! R& S- F# e) c YHCHANG |
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