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Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的
. F! [) a9 \. Z: j) ?因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
$ n1 ~* t0 q }6 n8 f; K/ e所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK
! h; L) F8 C/ C# X, z j* p+ |9 C我認知的步驟如下:8 x+ x% ^* \+ ~( ^# c
$ ~) z( \3 r P
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
$ L$ P# C0 T0 \0 X 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放." Q# @1 @2 ^7 A h: a
' j4 b7 K+ W- r% E- E, c2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)8 @7 p z7 z, z4 F2 p% s# k
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
5 ~2 ^; l8 s- T 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
5 i" U+ C, J4 ? 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
& j7 K! w" R' x2 P7 B6 M 在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的' v9 I" |0 m3 M9 A8 r
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
9 M, @! G' ~. o, X5 K4 q0 a. y. b% @, L; e# P0 ], O2 Q
3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift! t. B# X2 ^+ _- M
把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看
) ]3 g* B" e" l+ w
, |- F( S: [( d- {' U1 R! i4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的
- W. Y; l9 [. l& ?5 u& k* m" B- y2 Z5 d* o* d! @( f! i
5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc
( \: b( K% i+ ^5 B& n; }: p! o 為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失
( ~4 @7 v9 H, W2 @& G( z5 x: H% m a: c2 ~
這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.- y1 S4 f3 h! e5 L* }) b
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