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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
1 f2 O* A! O5 t3 j& {* d+ d9 `畫的 每間蓋的layer 也不一樣
7 S2 l9 ]: L3 r& E( m廠建好的 製程try過比較沒問題1 T* z, q: H! Z( x3 B1 I1 W# M2 O2 V
6 `: F0 Q9 e0 _! j2 E+ m! z  _0 a
自己寫一個spice  model  容值抓抓看% y% C3 G$ o- D1 E( g) z; }
* y7 S2 P6 L* s- v( @* n  \4 e5 S
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
" Y9 V2 E& Z8 Z3 n. n* u* C- H" _可能任何工艺都有这个cap,
% O9 E. [1 v4 A0 w% R
  s$ R7 V- Q/ H& pMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
. g3 H. F, A- L; T  g由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,* {2 l0 ~; [' M
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 % d) J5 @) k# ?$ \  h
2 D/ S; t) m1 i! d
* b( G3 y, e5 V0 ]% z$ p
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
8 }1 V9 f: A7 G9 Z* i5 A' B    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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