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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用% \. |# J7 o) O+ P' s+ Q: t
畫的 每間蓋的layer 也不一樣' r/ E- Y8 b; E$ _
廠建好的 製程try過比較沒問題2 j3 k6 d/ g2 U+ m' v8 J1 V

, F2 V: e9 ]3 f. [* m2 K自己寫一個spice  model  容值抓抓看# _' b) g9 ?" e$ @8 A1 G
5 j! N* S- S7 c4 N& D$ m  C8 ]5 p
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,. h- W, V/ [  i# I4 m
可能任何工艺都有这个cap,
% }3 q  B1 Z5 n, g* v  k
) I  [5 q2 \4 g9 R, e: z+ p' BMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
: \" I; r0 Z* z$ p1 ~! f由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,0 ?5 Z' I# r- I* q. z- N
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 : V* S7 P9 ~3 M: V. j
/ a/ Z. I& P( D

2 S: }& O* K: j% a$ L1 p4 x    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,$ N0 P2 }5 [( a$ _1 d% ^
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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