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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用( u6 ?/ ?4 R% Q
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
  x' ]9 K8 g2 ~+ H廠建好的 製程try過比較沒問題
/ B8 c$ z. b- y9 P9 D) v# l0 d' T- g  M+ S% Z" r9 r, r4 E
自己寫一個spice  model  容值抓抓看8 a& o/ O6 L' h8 ?+ k

! ~: k; B; v* C7 T8 \8 [MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
# s" d& m) q. w* i6 K可能任何工艺都有这个cap, ' i2 r/ o. I. G5 {

+ @- ~% {' J2 o; g; QMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
3 ?, _  b  K8 `由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
5 \0 v# B3 x! L) MMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 $ N$ g# b; D9 f4 T
: P5 g0 Z6 ^- K9 T
4 j" m6 i) K7 D' |  h: Z
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,9 ~+ X. y  ~+ P
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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