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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用. g0 \; Z! u4 E* E+ U' A8 b
畫的 每間蓋的layer 也不一樣4 N6 Q% ?7 {: U" Z0 P5 T
廠建好的 製程try過比較沒問題
& D# X1 q1 s5 N! v8 P, `9 C7 Q
# v0 o) [# A; W9 ~. E' t- m自己寫一個spice  model  容值抓抓看) f5 g1 h: @5 N: V$ e4 h
3 A2 N2 h& ?6 e% c* Q
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
7 Q' m4 m* U6 C0 K/ S& d# ~可能任何工艺都有这个cap, 9 f& Y5 C% O' |+ D. Y$ `7 j
) w9 [5 Q: W! r* W/ {! t
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,0 m8 J' P( u. R$ U* u
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,! t, g0 h0 |1 w' g
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 ! V2 b- B2 x- y
1 a$ `9 L* W9 r
6 |7 a$ k3 p( G8 Q# [1 t* N
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,, t, m8 S. ^( l8 |4 ]6 ^
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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