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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用. V- W2 @" }5 a# B# x9 A
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
- g! [  f9 J! ^4 p, E廠建好的 製程try過比較沒問題# p7 G) ^0 y% R9 t

: d. f6 x9 j: b. R4 U" x) I  c自己寫一個spice  model  容值抓抓看
3 r0 c' }! u9 e4 N0 ~, A0 w) n  ^) A
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
) e6 i4 `( l$ d可能任何工艺都有这个cap,   c& Y* E& o2 ?0 o! [

7 }7 B& b1 }0 `6 V- H2 N# l8 KMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,- ]/ Z6 u0 L+ H1 q6 s$ r: M' L
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
) Q9 k: l) Y/ K: z. S/ i5 p% {MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 8 o$ H& \) X  E1 I
: p# X4 H& k! Y1 o, a0 k( z

# H5 u4 S4 M8 [( E6 L6 ]8 H; q    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
6 l! Q& c4 Y6 q9 r    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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