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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用0 B8 K# `% z9 i# m+ M: \$ F" [3 p3 A
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
0 j5 p8 Z/ A! }7 o廠建好的 製程try過比較沒問題/ G5 C- ^5 }& Q7 r+ y

- W$ R( G: ?. y6 t  p自己寫一個spice  model  容值抓抓看8 Z7 C5 w  I; {2 @$ G" L

8 B4 v- _( h! P1 S' f( pMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,6 U- i9 T# y8 D5 W9 ]8 c% _
可能任何工艺都有这个cap,
+ h: c4 v2 t0 l8 p& r$ X- j2 e" S/ D6 G8 X4 t
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
9 H3 f( U3 ^' b! b# y由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
5 N! @$ R/ @6 @6 lMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
4 P0 ^. _8 N- g1 C  R' r5 r7 r& U9 `3 n2 z3 p9 R

7 @/ b. v  S- S' p  x    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
0 f/ h. I  @$ i5 v$ @( \    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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