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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用3 a9 i9 c! M8 Y: j! j* f
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
# \9 D4 n6 S' u+ C( D, H廠建好的 製程try過比較沒問題
7 m1 x# V: |9 I! m. T/ P3 B5 `6 Y, o; v: e! w1 M
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
' N" l# e$ o; ^, D* S* r) I1 t2 K1 W4 j3 Z
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,8 O4 F& J9 O8 {7 U! Y
可能任何工艺都有这个cap,
& X9 Y$ J, t, ~& M2 P# M& ?& n6 p- _* E. U
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
* S* h5 G5 L& I0 J$ g! b0 H由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
- k- K+ P& d# X, g- i: e5 rMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
+ u4 P  F4 X6 b/ B5 x% ?! c& P9 N6 U# b7 d3 I* \7 `$ G
' l7 E0 O/ C+ i. r7 O1 m8 h
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,/ x+ X+ b% `- Y$ S
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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