MOM電容佈法

r2583614

有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???

l690527

有 froundy  kit 就用
0 W+ J2 H9 P# E. f畫的 每間蓋的layer 也不一樣
% q# n, \2 H" r- Y  u2 M7 T9 w廠建好的 製程try過比較沒問題
6 W) s2 Z! P& r& Z( o7 T! H
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
1 s" |- p% M. m. ~
MOM 是tsmc的说法： metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap，
' Q- D0 S3 P" Q3 E% e3 B" i' i可能任何工艺都有这个cap，
: l! l) j+ e4 W! ~2 J
MIM ： metal insulator metal， 这个在Analog、RF工艺里面才有，用来做 高精度的cap，
0 v/ z7 T2 M# M, v( J  [由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成，  logic工艺是不提供的，
$ m8 T* H+ ~, CMIM的2层metal 特别厚， 一般是下面的好几倍甚至是10几倍

beverly_tseng

回復 1# r2583614
, R. `2 `* r) d5 G; B  d# Z4 I

& ^% ?) H2 z) g    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.