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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
/ d3 m3 r3 L& b畫的 每間蓋的layer 也不一樣4 y4 M0 C) {/ N3 {0 }1 P
廠建好的 製程try過比較沒問題% Q# m7 F! D: S3 @/ v, Y0 C8 x7 B. p' @

3 A2 Q* h6 E+ W3 F8 p, i$ q1 \自己寫一個spice  model  容值抓抓看, x) i& U9 Z" b$ @
+ u2 z9 D# j2 D1 I8 D
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
: `3 t. _% k* }( W) t% {' k可能任何工艺都有这个cap, ( e* p) p5 O( b' k- \- x

2 E8 y6 O. Q+ H9 s4 jMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,* n* f3 Q" X6 y$ u/ ~9 ]# [
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,  q2 i2 [" g+ G$ h8 @( ^2 t
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
  j& Z9 W0 b; ]4 b( w3 w
! m0 [! q- p+ h4 A
3 N  K2 u% L# ?) Y: c  v; m- D    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
5 U( [) G4 }$ e/ t: ?% t0 g    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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