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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
$ {. [( A0 A4 B+ \1 ^2 Y+ W: S) Z畫的 每間蓋的layer 也不一樣7 w# ~$ B# C0 w5 g* m
廠建好的 製程try過比較沒問題8 a4 {" q9 x0 P1 ]+ `* R# S

0 x+ a2 R* h% M自己寫一個spice  model  容值抓抓看
6 ]& \# `" ~. i+ {/ `) T: g, V5 y( n( \, c; O6 ^4 |
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
7 P# a  J! t* K! H; I: s& f! P可能任何工艺都有这个cap, - s: q  x: \! y3 W+ E5 u4 D6 H
7 _0 Z0 h+ I" Q! ]3 z1 v
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,  [# F# [8 a4 i; K. J
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
; b, W2 A( Y& w* y- kMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
6 j  n: l. @: }  b- N3 q+ R
; n, ?- c! e" z) R8 X. }$ k  g5 |! r+ B2 E. k; ?
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
7 o0 D: G: @9 {; d    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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