Chip123 科技應用創新平台

 找回密碼
 申請會員

QQ登錄

只需一步,快速開始

Login

用FB帳號登入

搜索
1 2 3 4
查看: 16076|回復: 2
打印 上一主題 下一主題

[問題求助] MOM電容佈法

  [複製鏈接]
跳轉到指定樓層
1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
分享到:  QQ好友和群QQ好友和群 QQ空間QQ空間 騰訊微博騰訊微博 騰訊朋友騰訊朋友
收藏收藏 分享分享 頂13 踩 分享分享
推薦
發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
% [0 W& W5 J* R( f6 o: _- h畫的 每間蓋的layer 也不一樣/ L' V% w- Z8 f" {+ h# F0 j7 k
廠建好的 製程try過比較沒問題1 k" k" o" H8 N. a3 e  P

- g/ W- [, H! \6 J5 O  v3 N自己寫一個spice  model  容值抓抓看. V- X& j# ~5 O. c9 o+ }4 A
- |& y& u6 v- l  ?
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
+ `( W5 \. @3 F可能任何工艺都有这个cap,
  p! B0 i) w+ U0 m0 D+ ^1 I- R1 K
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
, z% [) [! x& ^3 o9 V6 q- j% Q由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,1 D0 \) o+ Z! ]* n! S
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
回復 支持 1 反對 0

使用道具 舉報

2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
$ j  p) L4 Y2 q* D* q2 }# K  m$ L  l! E/ }8 C0 A* n  `

( n3 I! _% F& ^* `/ A; b    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
$ S( s; x6 O3 F1 y& ?) R    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
您需要登錄後才可以回帖 登錄 | 申請會員

本版積分規則

首頁|手機版|Chip123 科技應用創新平台 |新契機國際商機整合股份有限公司

GMT+8, 2024-12-7 12:16 AM , Processed in 0.153009 second(s), 19 queries .

Powered by Discuz! X3.2

© 2001-2013 Comsenz Inc.

快速回復 返回頂部 返回列表