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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用& R8 G! T. `. j+ K
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
8 d2 S3 t1 C- _! I2 b% n% T廠建好的 製程try過比較沒問題$ n9 n  |! H0 b3 y9 F5 M

" M. l6 Q6 D5 R3 e+ d; L% P2 o% S自己寫一個spice  model  容值抓抓看
# \4 F' `; B, o9 h( S9 [! K2 y& M$ F0 k. {4 a
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
1 S" G4 U) d4 Q! j: g可能任何工艺都有这个cap,   \- r; o" x5 g/ }! F9 O4 b
3 Q- h, s* x+ n3 Q& }
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
3 y  [! Y4 q( y) L- K, f4 c6 A由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的," P5 Q: ?$ k! v  e+ [% d  f0 f
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 ! m- M2 G1 [. \

+ K, w2 ?$ F" L+ P
" R. x" ]# c1 I) w/ t9 s+ t    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
' z. Y/ R6 k/ ^- s" E6 y& {    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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