Chip123 科技應用創新平台

 找回密碼
 申請會員

QQ登錄

只需一步,快速開始

Login

用FB帳號登入

搜索
1 2 3 4
查看: 16231|回復: 2
打印 上一主題 下一主題

[問題求助] MOM電容佈法

  [複製鏈接]
跳轉到指定樓層
1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
分享到:  QQ好友和群QQ好友和群 QQ空間QQ空間 騰訊微博騰訊微博 騰訊朋友騰訊朋友
收藏收藏 分享分享 頂13 踩 分享分享
推薦
發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用. r) T6 e% z# }0 R# S0 t- {
畫的 每間蓋的layer 也不一樣% b4 ~  P4 `% y7 Z
廠建好的 製程try過比較沒問題
/ r- y9 a5 T8 ^; e. F( k! h! a! E/ x+ t+ F4 B/ w4 L; _3 c2 e. v  O
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
/ ~$ f) ^# `! W6 v' F5 D
! `: z) Y0 v4 c( [7 @4 GMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,6 U# u% k# O3 @
可能任何工艺都有这个cap, 5 y+ u( n/ Z8 e  k0 S9 |6 r/ h6 N! z
, g/ a  s, v0 ]! c+ k
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,, r- Y0 L! Y3 E
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
/ Z4 E# G% b# I0 S& [MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
回復 支持 1 反對 0

使用道具 舉報

2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 ) \9 U/ O& ^, T. ?3 e4 X$ |9 m( g
* ^* f- h* C* k4 b4 i4 M' p& e; C

, S3 s0 Q7 l. z" K3 x1 m' T    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
3 u" b$ P% y# U; E; d& L    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
您需要登錄後才可以回帖 登錄 | 申請會員

本版積分規則

首頁|手機版|Chip123 科技應用創新平台 |新契機國際商機整合股份有限公司

GMT+8, 2024-12-9 06:27 AM , Processed in 0.166009 second(s), 19 queries .

Powered by Discuz! X3.2

© 2001-2013 Comsenz Inc.

快速回復 返回頂部 返回列表