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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
% G& a6 i* k: }# D* c畫的 每間蓋的layer 也不一樣
- ]$ ~- e: }2 i: k廠建好的 製程try過比較沒問題
4 Z+ g! T  q$ t9 o; u1 M7 ^& W! w1 k1 Q- _+ Z* Q" V7 p3 Y% d
自己寫一個spice  model  容值抓抓看2 y3 a3 A% i' _4 C

1 {& P7 D1 z/ i* i* \MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,8 o0 l/ X$ p& z! w9 ?0 c
可能任何工艺都有这个cap,
/ Z( ^* H# d: R0 V8 f! ?$ g4 R# i6 t9 C8 x. }$ b
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,' }4 L7 h9 @4 A# F+ R6 c' i0 B
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,! z9 X2 Z( f) D( I$ T7 V# T2 c. E" H
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 $ x. c: V. s: P$ z3 }) M% G2 P) z3 F

/ X1 W4 V* [+ u" H
* U2 t0 l( u: V    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
$ a) X8 G! s. G' j0 E3 k    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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