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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用3 L/ O& K- c( G! M+ P
畫的 每間蓋的layer 也不一樣% C2 c4 T$ u* f- i
廠建好的 製程try過比較沒問題; J! k, z0 E% l( Q! S% B. Z
2 [, Z' P: v6 A
自己寫一個spice  model  容值抓抓看/ z% Q9 `2 g3 ]/ F) w
( o# a. k; K9 i0 e! Z
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,4 G9 X; f* x2 q5 z0 T
可能任何工艺都有这个cap,   W6 [1 [  J! y5 _

" k( g* }' Y5 n7 {+ ]' ]/ Y" iMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,/ \- z9 a9 ?0 p) ?) x5 S2 _1 r
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
+ k2 I% }9 J0 L* g" }% y0 ^3 n8 OMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 # U/ t0 |3 j+ ~4 u

3 j& `  s" O0 n. |& w  {4 ^* o" A$ w
. k2 [7 m4 k0 N/ r2 j' R    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
$ |/ s9 j: s1 o& l' v    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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