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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
6 J* [* F" s5 Y0 T+ _1 P( \0 `畫的 每間蓋的layer 也不一樣; n. j8 q4 f4 d3 z
廠建好的 製程try過比較沒問題
$ ~2 \+ U# G( m
3 v7 K& r( q) v2 Z0 l" `8 X9 F自己寫一個spice  model  容值抓抓看
8 T, _1 T- _' e- b; p8 m
* q* k0 I1 X4 v+ U  |MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
9 v9 f% H% }1 V# y( l; z可能任何工艺都有这个cap,
9 V/ P4 w; H( L1 h( J0 \8 C
6 G2 Z5 X6 r2 q( s/ E! b* J& zMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
& [+ h9 N5 Y$ Q由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
7 r7 c$ N5 _- TMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
, I& W6 J1 M, ]/ o" s9 j' A$ O( C. z

5 u. i6 W; @( f8 j5 j1 ]: g1 L    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,4 L) y! p" R* b9 x+ h
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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