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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用, h* I4 X! Y1 h6 l+ W; r& R# T
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
. t+ _& W/ T& ~. b7 V廠建好的 製程try過比較沒問題
: w7 t) e- ^  p# ]8 ^) w8 @& _
7 G/ Z3 H& ~/ ~" U6 ^5 A: Y自己寫一個spice  model  容值抓抓看
7 k5 a" q7 u0 A# A" _1 }( z" ]* h) `" X! e7 S5 d/ ]
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
+ e7 U- G2 n: A$ U可能任何工艺都有这个cap,
% l6 e" v7 Q# y. G  |
# B% a# S; Y7 f5 W- |8 ]MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
1 a5 I; A" e* _7 J由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
/ c4 t; k$ ^2 O" o9 e) t$ v+ j; iMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 : c; z/ M1 v% {& D; o2 S
+ a8 {, i! Z1 v& j) l

' I/ U$ ^  H6 G  Z! q& T    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
' V$ B7 X- k# t6 w8 m" p' c) W& t- ?    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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