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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用- w6 e, G) _) b8 q5 ?0 ^
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
4 f# z7 J! B" d  Z$ l0 {( i+ h廠建好的 製程try過比較沒問題
/ B, _  x% O; K2 {  C) E; M& X( O- g/ ~# p: E0 ~
自己寫一個spice  model  容值抓抓看; c! h8 ]2 m+ w- O

3 G: _0 h' ^; w2 a% o) N$ T% EMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
8 T+ G" Q8 g0 O* D0 I- v! B可能任何工艺都有这个cap,
/ B. x7 Q: j; w5 \5 z& e  b: h3 Q2 a* k
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,6 t2 d" r' g5 x, e" i
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
7 {2 S" ~% _, T5 q/ ^) v$ jMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 7 C, @  @- |6 r$ `3 n

% O3 m- H# c" f' Y' A, f4 l" Z, ^& W$ m% e
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
3 X8 d0 H, X/ _" V! }* z% y9 P    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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