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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
1 x- e- L, D' J7 r3 J畫的 每間蓋的layer 也不一樣8 {, W' D4 G; D5 }4 A
廠建好的 製程try過比較沒問題
! z; j2 Z+ c  a7 [$ j& C8 h6 b
9 X5 k; O- L! c3 A自己寫一個spice  model  容值抓抓看
0 U; x5 m' i2 M6 Y* r* q! x
+ R+ K3 M9 d+ y  p& d; |$ v3 vMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
9 f1 ]2 f3 }+ o0 L# @3 }, g) u可能任何工艺都有这个cap,
0 e$ V/ f: ]# V5 m4 @) Z) }- J% q3 ~% v  j, f5 m/ [: w
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
# B, t) m, {* s% {( g由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,, C" r; M& t) b! P( x
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
, V; G( X0 Q8 u; N: F* O
# w3 e7 V6 Y) P5 w5 ?, k! L2 H' @0 I; x
+ p( L$ T0 }* b9 v1 A    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
) M" j8 `: H" I7 }, Z. i( S/ A    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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