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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用- d% Z1 V' o& ?
畫的 每間蓋的layer 也不一樣& @# U& a4 `7 A2 Z5 Y
廠建好的 製程try過比較沒問題
6 S4 v, Q8 W$ l
( q7 Q3 X- A. Z' O* w自己寫一個spice  model  容值抓抓看- N! k+ O' }5 B

5 y3 p2 i) p, xMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,# v0 {8 `6 Z. N7 G8 p+ K' k
可能任何工艺都有这个cap,
( O  k& m* O" _. w2 f- ]5 n3 O) V" X$ w4 ~, k" M
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
9 @  y6 s: k1 V9 s由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,3 b+ {3 H% S1 I
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
+ ~( j% A) _, y' ?
  {% _* Q) g( M' a7 Q+ g1 X# S4 Y3 r" Q. S/ m9 `
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,0 D- g% e. @- I' B1 y- h8 L
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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