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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
  {% G" ~% S9 N畫的 每間蓋的layer 也不一樣: t) z6 Z9 d" J+ G7 F% n1 M
廠建好的 製程try過比較沒問題
0 y9 g7 M( q$ K+ }
  h: d- X7 l; P+ T" r1 J+ D/ C自己寫一個spice  model  容值抓抓看
  \: u* u+ Y9 O1 u# S$ W6 ~: D- c$ D" o) h+ h: }5 m
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
1 A: T: d/ c% ]' C; }# k可能任何工艺都有这个cap, / E  x; S; P7 O- L; e

  }4 c" J* b; A% [8 F/ s% J3 w, Y8 |7 c# dMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,& {  F/ D0 }8 F2 |# C
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
5 q+ C8 R0 _# x5 ?* a! k1 _2 bMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
" K# U. c/ z5 D+ J; E1 Q/ W% {$ u- h0 ~6 T; Y+ S2 ?

# w& w2 p& M: s. b, A( Y    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
' W; T- n: h; b9 ]9 L" ^    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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