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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用6 ]/ V) H: P% F1 [* d- F
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
& [( G7 w! ^9 a廠建好的 製程try過比較沒問題
1 q0 o" P. \  x. @; ^0 G6 ~  `5 H( w
: Q& Q( q4 ~" P. o2 x自己寫一個spice  model  容值抓抓看
$ S6 d5 ^4 _# k
2 b+ L  l: D5 WMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,& k" t$ |$ C, H
可能任何工艺都有这个cap,
+ V- `5 ]$ J7 Z9 R
6 j+ p; W( I3 Y* jMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,# X2 c# j5 C/ Q' K
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
' r. b' Q4 I3 SMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 9 b. n- O3 G/ P$ [& A' u
# r5 e0 |6 @# r7 o. K

5 O+ y9 ~, S3 e    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,* O, V, G" ?/ L8 i
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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