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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用6 C9 w$ [5 [, Z
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
3 W+ Z" M* e8 q. h廠建好的 製程try過比較沒問題* v, n3 _! n4 z: Q
0 `' d( p- |: ^. f
自己寫一個spice  model  容值抓抓看. E4 k" _; J: ^9 R3 {
7 G6 L; u0 {- w( D+ c
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
1 c" h: y, s: m可能任何工艺都有这个cap,
) @8 o4 g# s& m3 V: S% y4 O# G3 U0 \/ K/ d) G( i$ S
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
% m, N/ m7 C4 ^' Q由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
5 c% d3 k. V" N  b8 ]MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 $ y7 |" Y4 z5 {: b/ {0 k& y3 w* ~

5 u! g5 q, {- ?5 v; J5 {1 N( D. k2 t  _$ X' P  r# Y
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
$ N+ s0 s9 x' H9 Y  L    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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