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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
9 r( ?, @* X$ X' d% d畫的 每間蓋的layer 也不一樣* _1 \  S; A7 i  C
廠建好的 製程try過比較沒問題
% P1 z2 l& O0 s4 \
/ b0 P4 y. L$ W/ `. @. f) R+ Q( u% I自己寫一個spice  model  容值抓抓看7 _6 u3 s6 N0 n$ `4 g( ]

4 v. a/ e- c3 ^) `# R7 o0 r0 YMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,/ d$ G: _$ E- u% V( r
可能任何工艺都有这个cap,
2 B, o9 {1 w' C: H2 I  I; n1 R3 z+ I9 ]3 L; i, Y
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
2 }( i( P1 T& W: ?5 q8 |+ n( J7 c由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,1 @$ U; F' I$ |
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 ! ^5 h8 g: ~. d7 d

4 b, H/ r; J& B2 j1 V! p* a7 Y) u; N, M7 v& |" S8 k
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
0 n$ U; r9 w- K: \    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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