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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用6 @) K, d/ P+ L6 s. h; x1 m; d
畫的 每間蓋的layer 也不一樣3 n! d$ B0 p! |# Z
廠建好的 製程try過比較沒問題  Z' c/ Z7 i9 [; B& o& G6 ]
- T8 i$ W8 |! ^. Y% @
自己寫一個spice  model  容值抓抓看- t  |+ ^4 W3 y: _( [- }9 c
1 D* R# \+ M4 m! b, m
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
+ m# d! L' }$ B+ q. Q" G可能任何工艺都有这个cap, 1 r6 M- p* U- E+ g* e, J

+ h) [& m+ H8 D8 U2 l/ vMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
3 W4 L# x% z8 _1 ?. [由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的," b( Q1 u% o3 m
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 3 T" h, j, l& c! h* U

) T" n6 F4 |) |8 w" |" d
, s  ]' w" E- r3 m    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,' J& v! h( e! U# x/ Z: A
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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