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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用# O  ^; |) K, E$ |, I
畫的 每間蓋的layer 也不一樣, f% k6 n& r0 p7 K3 p$ X2 h) ^1 Z
廠建好的 製程try過比較沒問題3 F% {3 u3 U. Q

$ v. i* m. ~) ^- J9 W自己寫一個spice  model  容值抓抓看
2 U, K' ?2 p- o( Y5 k# r; e9 F/ B* q' C
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
! a' t$ Z: z  I1 l可能任何工艺都有这个cap,
! P2 S9 P- q7 J( n' }* r
3 ~  C7 U6 z( V, dMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,8 d- r, y% Z% |- q2 n# _" [
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,3 v5 a' [/ Z. ^9 R/ l" h9 D8 Q
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
1 x3 H8 L+ G2 u0 l' X
$ z- h! \, n0 l. H) |" Q* \* p) h7 j- q$ w6 C1 x! H9 @
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
+ m$ b* U9 O1 K+ F( s! D) l    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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