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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用4 c% n3 n2 L5 b: W4 L* I9 k
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
4 k' v& Y; ^- `) O% W1 y廠建好的 製程try過比較沒問題
! v6 q5 ^1 F. m
4 t: n4 m) b9 D( U9 w+ t自己寫一個spice  model  容值抓抓看9 j( i. S+ C7 l8 l

7 B" \1 Y, i- c5 n& M8 WMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
  ~/ v8 |3 J! Z$ ?; J可能任何工艺都有这个cap, ) P. Z7 j4 ~1 i
1 ^! ]. @' z  d6 D- v: v
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
: G% M6 s) i, d, m由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
; K0 r) z# x% }8 p0 W# mMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
* e7 f- H2 m  \2 r% W+ {& s% n0 Z) P" s4 f  M' W/ V
' W. G" U6 q, j6 @0 u  b* B; S3 K% h3 k* ]
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
  M% }9 _% O" E6 r9 e& T5 e    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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