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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用( l9 ]7 ]( W% G8 L8 [
畫的 每間蓋的layer 也不一樣% {/ }5 A$ Q  z& ~
廠建好的 製程try過比較沒問題
4 p5 Z1 i5 q3 I/ A* T" O
& D: w. d' q3 ^+ q2 V. n自己寫一個spice  model  容值抓抓看
+ T! g. \' b' U  F0 y5 J! C  N* L
& A1 _, |% f' f1 s2 f: f6 }MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
9 s" v* B1 ~6 u# ~. N/ y) [0 o+ B可能任何工艺都有这个cap,
  P4 H% I/ ~$ t/ U# w$ S
# Q# x: i$ ?) [# G6 N8 `4 W! ~! P/ pMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
1 q$ L: X% b$ I  K+ ~# V1 ?6 y由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
( i8 L) L; q3 D0 q; H. OMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 7 d0 l- ^3 F) E2 [, A
( |* H( R0 ?& W5 O

. V4 T3 c: k: A4 Z    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,- X+ s/ l; R" m! n* A& Q
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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