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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用( }* l4 n8 H) T; D& X8 I
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
/ Y9 Y5 z! ]# c9 V6 Y廠建好的 製程try過比較沒問題' e, w9 l; J$ Z7 U: \
1 @. f7 N# @" u$ \1 E
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
  ?9 k, V& S0 _/ Y- g, t. F) H! H% f; M
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,; F" J' ~4 N: \# z  `
可能任何工艺都有这个cap, ( U/ F3 T& [/ g4 s/ s
" Q' ^8 v# ], M0 q
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,, N) Q  }) ?: m) T- O. ~
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
1 [+ ?& h8 N- G( K. z4 r0 \! \MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 3 V: l8 K. P, _# T8 _" y; @2 h! f
! M2 l/ t- R, i2 m

1 B: [# l/ }, s1 G$ w! \2 g" a+ a    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
% J. M& Y1 ^/ p: N( y. I* ^    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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