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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
  p6 @/ P2 z% a4 _# E% d" ^畫的 每間蓋的layer 也不一樣1 `& S1 v) K: y  b9 R5 A* j9 P
廠建好的 製程try過比較沒問題# t7 _" w& _% m9 K$ A2 q7 {* ]

; [" w# S! e1 G% K! h  b0 M自己寫一個spice  model  容值抓抓看5 k5 C+ b9 Q( }. m
$ Q8 ?7 A5 T4 L- F
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,' h& t- O5 V1 W6 w  \
可能任何工艺都有这个cap, ) `& b/ Z% v9 D3 V4 _

0 }; K# J9 _  P6 ?: f* eMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,/ Q; _1 V8 Q3 g  [8 d# k
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
$ t" A& J0 z" Q8 u  s5 h9 r! bMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
" k* \# T) ~1 u) Y. k( ?. W- U9 u, p' Z+ x8 _

) N# U& X% d1 M9 i( x# \9 z    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
9 {/ Y- _2 b+ E9 A+ X& J; s    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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