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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用6 e3 C) [/ e  {0 X
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
# b8 O. b3 n! Z% c0 O0 G/ g. {- `廠建好的 製程try過比較沒問題8 F2 H: [+ [8 p! ^
+ R0 C* l/ A7 ]4 ?; y
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
: w; F7 B* e7 \2 ^9 F
' d# \. j0 l5 p2 I: K: s& \MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,9 q* l- s, m2 E* D) v
可能任何工艺都有这个cap,
5 X% w& _9 L9 D3 |* u
1 a6 X! _2 f7 q) L( vMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,# y* ~0 \) Q7 |5 {
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
: y3 F2 S6 U% H4 z& q' `1 @# bMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
8 p2 e0 n+ l' V" F" f
" x2 M; r' W- z4 U5 V" J- b* b1 N8 v- S1 e) v
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,: G5 n1 i1 p! f$ L! F' s
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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