Chip123 科技應用創新平台

 找回密碼
 申請會員

QQ登錄

只需一步,快速開始

Login

用FB帳號登入

搜索
1 2 3 4
查看: 16205|回復: 2
打印 上一主題 下一主題

[問題求助] MOM電容佈法

  [複製鏈接]
跳轉到指定樓層
1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
分享到:  QQ好友和群QQ好友和群 QQ空間QQ空間 騰訊微博騰訊微博 騰訊朋友騰訊朋友
收藏收藏 分享分享 頂13 踩 分享分享
推薦
發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用# M( [2 W' a6 P& S5 U
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
1 H6 E, v( N- [/ X3 D; _+ t廠建好的 製程try過比較沒問題$ q7 U6 |2 ~* p. V

( p( T  w& }" a, n8 |- j- O自己寫一個spice  model  容值抓抓看
+ D* ]6 l" g1 S! y9 O* f( e. d* Y7 w/ Q9 u  _1 O, h: J  U% W
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,! a/ ~6 H. W( K6 x
可能任何工艺都有这个cap, + H  O) A, ?& V/ x

  Q+ O% U4 Z- d% S1 DMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
5 C. Q0 w7 V; s* O& _8 x6 L  G2 K由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,5 T: X/ ?9 x! z: l
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
回復 支持 1 反對 0

使用道具 舉報

2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
4 ?$ Y* i: _) J$ |3 L7 P( z; n% M7 W' d: F# H! b) ]( D/ ]# y
6 [6 n! q- A1 G! V* r7 i
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
( o+ B3 x7 F& |& s+ S, x    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
您需要登錄後才可以回帖 登錄 | 申請會員

本版積分規則

首頁|手機版|Chip123 科技應用創新平台 |新契機國際商機整合股份有限公司

GMT+8, 2024-12-8 08:05 PM , Processed in 0.157009 second(s), 19 queries .

Powered by Discuz! X3.2

© 2001-2013 Comsenz Inc.

快速回復 返回頂部 返回列表