MOM電容佈法

r2583614

有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???

l690527

有 froundy  kit 就用
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
廠建好的 製程try過比較沒問題

  n6 n3 u. m4 y. n8 |7 `$ Z# ?自己寫一個spice  model  容值抓抓看
5 }! x; T9 l" ]1 ?
$ i3 C, H$ [- Y- i4 hMOM 是tsmc的说法： metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap，
可能任何工艺都有这个cap，
  i4 f: ]) X0 L9 ?  n; |/ \1 D
& w' X  T$ R. r5 O* `MIM ： metal insulator metal， 这个在Analog、RF工艺里面才有，用来做 高精度的cap，
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成，  logic工艺是不提供的，
MIM的2层metal 特别厚， 一般是下面的好几倍甚至是10几倍

beverly_tseng

回復 1# r2583614
" {6 d$ y# J" j6 e. y0 d# h0 A* p7 B
" p& {+ G% u$ o! }# D/ z3 h% B4 M: x
- I9 e; b( a. ?  {$ S    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.