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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
: Y3 p. w2 G- t4 M) G畫的 每間蓋的layer 也不一樣5 s! f! J0 j, U. B3 l
廠建好的 製程try過比較沒問題% ?% h% t) a) C* x
' j$ B7 b8 a6 \' E
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
$ \) N+ N2 l# L4 x0 y1 B
. s, ?3 F! g& ~& O" b, H  ZMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
" N+ v! Z- E/ ?) _# A可能任何工艺都有这个cap,
* `. U! J. t" Q0 G" w) K' y5 `7 K- c# l; @& \# l9 ?
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
# G0 V8 j: R' X/ h: y由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,) d7 \' j7 M3 l( v; `. X0 p7 b
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 ! L6 L7 `! K" V4 f, m
& r1 j7 q6 k# j' {3 [% ?

( a) X9 j- s3 F& L9 W5 x  t    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
- E0 ?4 I1 H4 X" Y    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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