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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用6 d9 n! ?) @. K; f" G. Q4 ^0 M
畫的 每間蓋的layer 也不一樣% s8 y/ ~, `3 `  \
廠建好的 製程try過比較沒問題
" U: ^# e; k/ w& P" I, s4 t* P! z& N1 Y) x# r3 n7 x9 ^" M' \4 K) t
自己寫一個spice  model  容值抓抓看. u7 W8 a1 b% A; g

9 n5 o2 u) b8 j* i6 S/ j( L0 C9 yMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,, Y' @$ W; u' h; k# l, r2 f
可能任何工艺都有这个cap,
' i0 m7 D4 C) b% K+ }2 v
! ^; v( Y# X4 x2 N- FMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
7 x- u5 z! j: n5 l! W1 g% c; z. H2 E由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
3 K3 }; A$ q% VMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 / g1 K- F, F! \  @$ w; a
% w7 e5 r- ^2 [# x
. b* n: p$ ?# g0 U$ H  I* U* d8 o
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,! I& A2 F/ F( z0 P, O* g
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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