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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用2 S" ?; Y- o) K8 ^, a
畫的 每間蓋的layer 也不一樣* q& `% o' K9 C2 q. [+ [" g
廠建好的 製程try過比較沒問題- {' }  @$ G, w5 [

& s* r% n1 ^" `. A自己寫一個spice  model  容值抓抓看
1 ~1 F! y7 X0 h6 g1 P
  D8 l) ?) j8 M* g, l) tMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,- o, f0 B+ ]  x  m# L4 o0 W
可能任何工艺都有这个cap,
2 c6 X$ b9 z" {" ?! x( L  X  A# u! j7 c/ f" x" t
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
6 [1 z8 z, m2 y- l; R8 f由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
8 V1 w% n/ x7 y% \6 W" oMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 $ I0 a: d0 I" l; q( S7 a

" s) B9 I8 N: o" F
1 E1 I! ~& `3 ]0 S) F6 y    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,$ O4 z1 n& ~# F% \% k9 W% e
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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