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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用1 J, i( L! {/ c! ]1 U, A
畫的 每間蓋的layer 也不一樣1 e3 Q& r7 f  F
廠建好的 製程try過比較沒問題0 ^3 @' F% v0 d6 w* m1 x

/ d2 X$ S& j( p; g自己寫一個spice  model  容值抓抓看
* b, q/ @$ L, T7 m2 W
8 K6 G0 l2 Q2 t/ F6 \0 AMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,6 ?) b- ?7 i* F0 P) q8 E
可能任何工艺都有这个cap, % c2 C* _9 t/ i6 s+ t) J

# C  u6 \' K; u, h' uMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,4 z9 w8 I# ~1 U: n  {6 Y# Z
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,. M  U4 x) C, T
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
4 u9 v  j# v: ~1 l/ u1 X, |
0 Q5 p! ^) r1 ~& d1 T
$ p( @$ L( P% ^" Y    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
( D& A5 {  u' T6 f& h8 g, \    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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