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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用1 c) W8 y, W+ E0 C1 V% P5 p: ?
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
- b5 S, v9 T' C' t" p6 {4 b- {廠建好的 製程try過比較沒問題! @* o# ~) g( K8 j' f

: b/ a* }( c3 U5 G! [0 b3 y自己寫一個spice  model  容值抓抓看, ]2 U, |6 L: T( D+ V  F
! z. Z5 t. k& T4 l0 R% W8 L
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
9 l7 o' t* O9 m% L. u* g7 j4 b可能任何工艺都有这个cap,
+ w, t( t, P5 b! M! }. f) p" E- N
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
' k6 j$ F8 N! h由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
0 a, \% G7 {* q  K4 H( EMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 8 C$ e/ \" H9 b8 D2 `- ]
$ q. s7 o1 s6 G
0 h. a: b+ f  O/ H. O3 U) r6 [
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
9 H$ V( a" r* H  Z    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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