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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用8 i5 q4 B+ @% f: _  R7 b  H  A
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
/ D2 u* q" {1 M8 j- }廠建好的 製程try過比較沒問題
! x/ i- ]. h- ^1 t: u% l  U, _9 F4 T' p% \. u( e
自己寫一個spice  model  容值抓抓看. ?* H+ p7 F$ b+ Z# C, W

# P; V! z/ T2 v5 Y4 P. DMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
* y! X: Z3 o( s& n) W1 a可能任何工艺都有这个cap, ( ]0 \2 J9 N/ ?1 A/ M1 h

1 F" n( C; e& [0 s, H( r6 X, F; iMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
( x: ^) O) Q  l( f由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,9 T# p" [. q7 N' X( S% _9 ?
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 7 x  Z+ c# C8 @; T- ?

8 N; s. {6 {; M4 ~3 c- b& k( s8 o( B7 C8 D3 k
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,. ?8 |! _% P7 a% k+ T
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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