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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用0 O( S* f6 ?8 R$ i. |( U! _+ C
畫的 每間蓋的layer 也不一樣) E# p8 |/ C1 M. L7 D
廠建好的 製程try過比較沒問題3 J3 p3 i6 m1 ]' [5 I) S
1 g, C+ g1 m+ F; w
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
8 r: }$ K5 W  Q* b* n
# _' C1 u+ W; q& D- d8 lMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,* [" T( K& \* d' a# Z# y  H% Z  ~
可能任何工艺都有这个cap,
1 [% t: P: c& T5 z: ]4 J/ L( i  ^
1 b1 H9 `+ j  JMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,8 ?7 }  n. V9 h( Y4 {/ M4 B
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,$ c( F3 l" F" G0 e6 D7 B
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 , h1 O: K; w& a" C$ i9 @7 u

$ O' j) q: F2 v5 S5 p# m$ r& Q# t. B- `* K% X* j/ S. N! P3 k
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
) ^/ Q0 J3 V: G    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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