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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用: M4 ]6 ?! r" x9 G9 {+ X7 s
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
8 x! ^. b* [, q  j6 J7 Z廠建好的 製程try過比較沒問題
. @6 y0 n7 h4 c' t9 Y1 |" A: ~7 \6 K, {
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
1 S9 S+ _2 c( d9 j8 r+ g) v9 S
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
: \$ Y" r/ w' n  _. D可能任何工艺都有这个cap, 3 D* t" Z! K( Y6 ~- o
+ X7 f/ }  E$ g/ N+ T" l6 w
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
7 \) ^' {2 x9 C1 O+ T4 }; m( K" g由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
9 ?; K) y8 @$ L! @( I( @1 {. yMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 + C7 U0 l2 O4 V: _- q& V7 c6 S6 m4 i/ g

% H5 l. y3 |3 d, _9 X; a/ `& }1 q" G
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,& ^6 y. R- f5 D6 X+ s
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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