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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用. E+ V" I9 R6 P5 c/ b
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
* ?. E3 t! A1 d7 ?廠建好的 製程try過比較沒問題" @0 e6 A& a  ?3 d

* N5 m: h0 b, _3 Y3 |自己寫一個spice  model  容值抓抓看
5 \! A/ L& B' n. p8 X+ F# _. m; U' J
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,: p9 L3 ?0 H' ], k  \9 c( A
可能任何工艺都有这个cap,
9 X# n% V' _: i+ T  ]' s- H' [
( b% o% [9 X( n" d, TMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
" v" g- j/ q, Z4 g7 r由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
9 N) b4 f0 M. i3 \MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 . t6 z1 s, L) \& m' W
6 E: n# x+ `  [5 k+ U

, K8 K! n9 {: ?- X7 M( C    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
3 G" @1 R' j2 K' h7 T* N& ?# ^    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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