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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用) Y* D) a2 |5 m: P" ^$ [1 o+ Q
畫的 每間蓋的layer 也不一樣! z% J% t3 C) s& c. n
廠建好的 製程try過比較沒問題
% C5 t5 Z9 R- i8 Z( J
- P1 v3 F+ Z$ X* a  [# e自己寫一個spice  model  容值抓抓看
. f4 ~6 a* w6 {) E& d- a: C# e! _% n% j- }
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,2 M0 I" {6 l7 Z
可能任何工艺都有这个cap,
3 x/ t% ?7 f. e
# Q, y4 |6 Q$ s1 uMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
- t+ O: ?3 Y) j+ ^2 N* }由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
9 D" s" w' u2 r( o+ UMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 9 ^* a9 y. Y# T: x1 ]- {

0 t6 n8 x$ T  W% |6 T: Y0 r6 ]3 d1 G% ~6 \5 o9 x& M# V$ y
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,$ o6 U. z/ q4 q4 w3 M; B/ J
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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