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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
. Z4 U8 w& [! m; g& e畫的 每間蓋的layer 也不一樣, B0 c/ u6 C( Z
廠建好的 製程try過比較沒問題( \1 v' R) F7 y$ K+ E) n$ |1 E4 W

5 c' ^( u; m, v! d自己寫一個spice  model  容值抓抓看
7 d( j! \1 m6 m. _
! q6 f2 ~) M* H# b/ j# SMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
* B# b5 Z& y$ N- e; y' f0 b0 W+ ]可能任何工艺都有这个cap, 1 u( W9 R2 Q4 e# Y4 L% N

; _3 K# p& v/ Y+ y+ P9 dMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,! [' B- Q2 T) e8 j2 v
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
! Y5 O2 F5 t5 w, F% O0 e- y* i& h4 KMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
' g# O/ g5 x' [3 J  \/ e
" ^. a) ~9 |1 G1 Z5 B
/ x/ @$ c! W; A3 R    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,- h( y* G7 x" N: w' n6 ^$ G
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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