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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
' [, ^* Q2 M& e- \) u畫的 每間蓋的layer 也不一樣, H- U, |% T& ~  ]- \( V0 k, J' U
廠建好的 製程try過比較沒問題1 {: m4 L# r6 q( @3 M" g9 g

! K6 q5 M4 l0 R0 _7 ~自己寫一個spice  model  容值抓抓看1 C5 A  f1 Y: J, L5 S- {$ [

; c1 r5 R' k  d! c- N3 P0 jMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,$ r8 o; @: ^3 T1 O
可能任何工艺都有这个cap,
1 R1 |1 ~! ~9 ^5 Y' A5 V3 z' G4 s) N/ j3 e* Z' u. l' ]/ h
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
6 `5 e% c; L2 p9 G8 X由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,9 O9 v; s; m, t% o$ N0 g1 I' m1 r
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 . c# j$ ]* P) `$ A! h- w' g
) ~& a2 c$ ]. V) `# y* u
" o7 a6 s/ [3 \7 d
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,* Q9 I7 G* m) }) S/ ^( X
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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