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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
! C6 E2 i) c; J* h# K. P畫的 每間蓋的layer 也不一樣
# v5 s# I& a" {. c# c: u4 [廠建好的 製程try過比較沒問題) ]5 O. w& g/ ~- X  C4 O4 r# P

$ [% r3 m1 q- N  A; p% T自己寫一個spice  model  容值抓抓看. p  J2 `5 O# G
% D' V2 g% W0 Z6 H6 H
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
% [9 {+ L6 Z7 S/ I" o8 \可能任何工艺都有这个cap,
( ^$ Z) N! w% f  D/ D4 c/ A! \+ H9 t
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
8 J, e8 B+ H2 l) j, q: f8 K由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
9 p" m" m/ p3 O. P+ T: TMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
" ~+ g$ |% V9 t; e- `- a7 ?
3 R! `1 i8 p3 w9 x
2 u: R* K, S/ W' n! E    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
9 U, K) y7 R" ^! a. r9 D    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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