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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用: K3 v7 r( m, x7 W/ j/ }6 Y
畫的 每間蓋的layer 也不一樣+ S3 @1 n4 u" z4 \/ A4 E6 L
廠建好的 製程try過比較沒問題
  b0 c; ?! l0 y) _9 _* @
0 U/ {5 s, u  G3 J' x自己寫一個spice  model  容值抓抓看
& m' |- l$ t4 V$ D5 d- ]8 l3 w
8 h3 l, x' a9 l* j9 I2 vMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,1 c. P7 e. x, V' a9 R
可能任何工艺都有这个cap,
3 s. W& g! i% m; o2 l& m2 L, r. n, }( X) Y
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap," T# I  K8 }' }" A2 E- p/ |* J1 x
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,3 X* d1 I! N2 c. g2 C  @. ]
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 ) x2 G2 X' ^& Z; c$ }* y/ I! q

9 x* F1 S/ g9 b
) d& l0 z; t+ t- a    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,6 g1 M$ O: ]1 c: H4 A0 r
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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