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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
# Z  I$ v/ q$ R( ^畫的 每間蓋的layer 也不一樣7 z. s$ E4 {8 Z; @# c
廠建好的 製程try過比較沒問題
! G8 b9 W6 H0 ~. Q4 t  I$ t
5 h  M' ~; t1 X- k( {7 a# F自己寫一個spice  model  容值抓抓看
( _* \5 F( X. y3 {4 V* b0 B
5 k% j6 i9 l6 U& NMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,% f! [: ?' B6 o* N5 h+ v/ n
可能任何工艺都有这个cap,
# m& \' f2 X' g1 n+ d5 c! S1 {+ t/ Z- W2 c/ q( [
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
1 B" {1 ~1 F1 x9 Z% Z% n由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,  l  M% A- w1 N; v: T
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
$ @- w2 m# ^% y7 T( q( ~& t" _$ l% C1 H. R

4 @6 c# A6 _3 p* P    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
4 e: ~  S) n- K( Y9 C; d    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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