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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
2 W% D# w# ~  A3 S8 b' u, Y畫的 每間蓋的layer 也不一樣! e# B3 T$ i  W' M
廠建好的 製程try過比較沒問題
: Q& b: `8 K4 |* s8 v: k: T0 ]2 h& a- x# F. n- H* _' y; f1 b' p
自己寫一個spice  model  容值抓抓看/ W  ~8 @; }7 k
- k- m3 V# s  w% j4 D9 O$ ?" j
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,9 \  l2 i+ z/ w% Y# ~
可能任何工艺都有这个cap,
* z1 F* w0 d, N
: p2 c- T* y% d' E7 x5 U' [1 z& HMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,  U4 T6 o3 m  s& ^% J' O" _
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,: h; e2 ~  X0 @8 X
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
- A5 H7 S) T* Q( N$ @5 d
9 H& K$ Z) z6 a& Y1 F6 U6 s- R7 p5 o; k6 l  ~0 g* K1 t" D
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
! ^3 Q' }6 B1 s* N, i: K    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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