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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
* \/ Y! r9 u% |* y畫的 每間蓋的layer 也不一樣, _: F* Q/ }6 r
廠建好的 製程try過比較沒問題# M5 Y5 D# F7 S, S% I- D. B0 w

* Y* t! J- T# T  b0 k! I自己寫一個spice  model  容值抓抓看7 Q4 ]- p( d4 n/ ^
' @2 i: l* [& k% p+ T6 t
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
! o# q7 Z* g! E$ G' o5 k7 T可能任何工艺都有这个cap,
: ?7 q$ w- a& a1 _6 ]3 F. ^
8 ], e! p4 ^/ D# b- r5 @MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,2 N- ^* n* C; I
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
, s6 R2 r: M* fMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
6 c7 M# v3 h, y. t$ Z
  h* j5 B, e$ P% X; V/ i0 b* x* G# Z2 {" ?" J6 e, v6 p
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,8 V0 Z4 B8 S! Z, \  v
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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