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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
$ ~3 y- ^9 d) l- {! o2 n" z, i畫的 每間蓋的layer 也不一樣
  o' `! O5 E/ _! i廠建好的 製程try過比較沒問題: z, s+ s# x& g, d1 r' |5 [6 F6 b
) _9 n, e2 F$ {( K
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
+ B7 n( x! A: w- A
! f- j' p, I6 cMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
2 o/ j( V8 f4 ^( l可能任何工艺都有这个cap,
" I- @0 `( I- b7 W/ U+ H. [
' n4 d: T" [5 H4 t3 i, O8 ^' c5 D6 e! U$ ]9 hMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
1 y& e) p' W& M由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
. c$ \0 k0 P! e! I* O  V3 oMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
. m% K9 s. t* ?# D/ l4 U5 G9 p9 t# ?3 Y* d4 N, J5 H
9 l! E/ X$ ]$ a! v9 J
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,1 [9 Y. E; Q# l! r
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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