有 froundy kit 就用 8 [' W( Q9 i$ C. V畫的 每間蓋的layer 也不一樣2 j8 O6 W }' K F
廠建好的 製程try過比較沒問題! M! {8 o; o" S ^0 L
" Q6 x% w$ x% v# Y
自己寫一個spice model 容值抓抓看+ M0 ]4 m. @8 T1 |! ^6 g2 y; P+ K
% z! M- z3 X/ M( tMOM 是tsmc的说法: metal oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap," O+ u4 Y0 Z$ Y. `( n4 i% s
可能任何工艺都有这个cap, 5 ^* k. t7 P2 _4 {: E" K1 g: c4 a. z+ M1 r
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap, # j7 e& T5 [, P- T1 a/ o! J由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成, logic工艺是不提供的,, \+ f3 F G0 @1 K+ w
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍