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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用; z3 @0 q+ K: e3 }: q1 e" M; R
畫的 每間蓋的layer 也不一樣/ h/ h1 C& \% {3 {& C$ M
廠建好的 製程try過比較沒問題6 d4 f2 ], S( b( l! S9 H  H1 V
, ~. q% ?% B7 [3 i& n5 u
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
+ t+ L; b* x: l' r' P* r. I& }# ~' r( ^* Z8 M( r/ E
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,9 R- K, R- V+ J0 |! x
可能任何工艺都有这个cap,
# {$ M0 J, i* S8 _  ]! g( X
, U4 B7 T: \' j- l5 _MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,: t2 b" Z7 y5 ?
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,4 E" X% R3 J& O( b' M$ u
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
8 K) ?! P* P1 r4 O6 X) e3 Q1 j1 z0 H* v/ w: E' d" p

1 ]: I0 a% X- n  D' f; l    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
8 F! ~, L+ G7 S6 K& u5 ?. m3 v    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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