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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用. ?* l6 U! U  I  O  G4 U. [) y9 F6 b3 Y# @
畫的 每間蓋的layer 也不一樣  p$ J* y% |4 f8 M1 E
廠建好的 製程try過比較沒問題
7 S' M! o4 G# o! p2 G/ z; s- w7 |) t2 U
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
- r. D/ X4 w8 |# X# u9 w
( e/ Q0 O5 b% YMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,; d% Q0 @8 `* w% c+ _
可能任何工艺都有这个cap, ) R1 R3 g# _5 g
  s/ O* s0 B8 y* l/ K
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,# n# j3 n5 R* ?! _1 J1 J
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,# I) _4 \$ a0 L  S3 Q( h# T
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 . H1 f4 c9 \4 V6 F7 `0 h
, x" M+ v' a8 f, Z9 f# X

& O: P+ S& }9 }: ]8 h$ o  T    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
' \2 r) [; a8 ^0 A, R/ o9 a    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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