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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
9 v0 Q. M, K1 E. c畫的 每間蓋的layer 也不一樣
4 u' }* ^' ^/ Y, }$ G( Y- {6 E  o廠建好的 製程try過比較沒問題9 H- R( }; ]2 D7 L* r
& w* b0 g( C& J
自己寫一個spice  model  容值抓抓看% c' _( J& P7 v, V
  y$ h& U9 q1 a3 w8 [; X! X
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,- l( V$ y- z+ T( D' T( ?6 s
可能任何工艺都有这个cap,
8 m" A0 |* W* s& J- W; y! d. k! {( W
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,* J: B  {+ c% ~$ U, K: }
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
' \& C' k- |: ]% FMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 1 ~7 T! \" W$ n( M* {3 g
* E$ n' f1 W( f4 b5 Q, A& ~" Z

( }- d8 W5 M" t! P% K# Y! A    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
+ X; |6 C9 }- ~# I2 `9 e    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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