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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
6 P0 a  m+ e; [) z4 ^' B$ p畫的 每間蓋的layer 也不一樣
0 G& i7 s0 _( A6 R7 Y9 a/ @; W+ k9 n廠建好的 製程try過比較沒問題6 G/ F% ?. x; h9 x+ Y
8 u( n3 Z& w* M: q; A5 r. l! D0 }: Z, a
自己寫一個spice  model  容值抓抓看, C/ {+ \$ k; `* ?( S
3 |* \# Y; A3 W( K4 U6 k# V3 i1 I* G+ p
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
, U% `# {9 m" U3 b; @2 F可能任何工艺都有这个cap, : j: T6 h6 {$ J& o' Q# n# f
5 K" C" w- j; l6 R5 [
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
9 X! N+ }" ~# \1 N$ i由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
& U$ r0 D' o8 oMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
0 M$ r$ B4 {% \- C! ^2 {) O4 ~' S4 R5 ?

# `) R" U) G7 T+ T4 I5 |. z- z; \    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
; v' y6 ?* z1 U# S    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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