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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
: S2 Z+ o: F7 w" I* Y* {4 N  B畫的 每間蓋的layer 也不一樣
2 b4 }1 v4 b$ Y& p9 s+ F廠建好的 製程try過比較沒問題/ ~+ ~1 @. p+ t( M
2 f4 S0 \$ m' J
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
' z% \9 d7 U1 \! Q& D
( k% A$ c# y  Z# m8 kMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
0 K3 U4 v" e+ \8 _' W' {+ \; x" b6 L可能任何工艺都有这个cap, - h% p: _8 P( Y# a# P$ t
/ q# I5 g3 h0 n  v
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,+ V* x7 S7 [/ @/ k% j; J
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,) P4 W8 D5 @% t( G! y( K
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
, c7 T4 L: r8 M* P( O4 a
' h) z" |+ C/ o* ~9 V: L. Z. c
5 |& ?; M2 Y) I1 z0 u3 V8 o    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,( Z+ ]- i) J8 D# J& c6 \& y
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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