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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
; c& G% x, L5 |  v3 f: D畫的 每間蓋的layer 也不一樣
: Q% R* `# B" W- x廠建好的 製程try過比較沒問題* v1 W7 W  X* F. @
9 ]6 c* C7 W# b  }3 p% s
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
9 z$ g$ J: r2 F6 ~3 G9 y
+ V3 C5 t6 z$ z- ~% m" wMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,. [" L( y1 P( N- ^) V+ X! j
可能任何工艺都有这个cap,
# M( e- |/ l9 W. i% q
2 {1 z2 F5 y2 MMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,2 P# R" u3 E' ^9 Z' a1 n5 g
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,8 W- |7 I: f6 w$ L7 ~5 s* |, R9 c5 |
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 9 U7 f4 t( u- C1 q& l0 U
3 `0 Z* G  F: i' }, s! L2 ^' ~9 a& }
" C8 S; T( r: h6 y
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
* z) a/ V9 ?3 I) o1 R    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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