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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用4 U  z+ v* a" h/ n* I
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
' V: Y6 a2 g1 p  L* Y2 v3 p廠建好的 製程try過比較沒問題' |: E" m! Z+ S# a
! M6 K: Z# u' ~
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
% k! n9 j$ [1 Q# J- v1 T2 t/ {- U4 `1 @8 R/ q7 K
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,; K/ n+ d, ]0 h/ R* G; Y
可能任何工艺都有这个cap,
5 E0 T$ ]5 P0 X
0 I4 R8 d4 l. e( BMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,  p9 R: T8 C& x+ _# Q
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
9 W1 {) j; X( DMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 & H+ u6 U4 R! o$ }' T8 ^/ b6 c

# \6 I0 I2 J* }  B7 _3 s4 s
" V$ H5 A6 g/ X. b    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
: V0 O5 j9 y8 l    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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