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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
- u  a( }9 ~% L9 d5 k畫的 每間蓋的layer 也不一樣6 _! O, r; x& i0 v2 I
廠建好的 製程try過比較沒問題" L, T; f' W) F9 s; o( p3 {

5 F' T% p5 ^" X4 a2 C自己寫一個spice  model  容值抓抓看& \- v' o0 N) R* W0 Q

9 w3 N5 H, _; @+ {, dMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,) |( B- a1 V$ i2 P) i( ^
可能任何工艺都有这个cap,
# w+ V4 d; U6 v8 G" o) E- X5 e5 p  z9 D3 R
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
) _' y6 ~. h: D由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的," E  `- v& F: C' k- l# l: S
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
/ g2 [& Q* R8 w! A9 ], L% M4 q* J, L& }* V3 B8 k4 L

( r' E3 K6 w( Q) b    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
2 c% a$ R( i3 k    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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