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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用7 ~; I( d' I3 L# V/ [; b+ F
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
" ~; L' t" T5 G- Y. Q$ R廠建好的 製程try過比較沒問題
4 g. y2 G! {: J: @
: T: f# y  O5 L: r自己寫一個spice  model  容值抓抓看
% u+ S# Y: \8 }! H, R2 v
- ?" C$ }0 Z! PMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,3 ^1 m9 o# l2 q/ Z3 }1 U+ S, I5 K9 X, W
可能任何工艺都有这个cap, ' F+ P$ M+ w, v# f, u* {7 F6 V5 E1 a

4 \2 Y! a# a/ _% IMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
+ r8 ^- ?8 ^6 S1 p% \) Q8 L5 k6 ?( n由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,( o4 @& J" j  {3 c
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 " \0 c# n" L0 \+ N- R7 ]( R3 ]3 {

. ]" V6 a  m" W1 ]# L6 t( W( @& d! Q, ]* ?/ c0 t
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
5 Q: g! V% O$ E' }    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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