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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用4 Q8 n( q3 o. {; B% s
畫的 每間蓋的layer 也不一樣4 Y) N  M, s3 _
廠建好的 製程try過比較沒問題7 \2 C0 t" b; H8 t- c$ b: d/ ^
: d6 `# ^0 Y6 N! z% Z
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
' b# O) l7 r2 b+ e/ O4 A* X, v, Z0 Y3 Q' V* [
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
* M0 }6 ~* ?$ g& G( s; v, P可能任何工艺都有这个cap,
; T; G" K& J1 A) P3 c( r) p; t$ f: @" q. p4 V+ J; F4 o
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,% E- K0 C4 g' w
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
$ [8 t  f3 D" h" W! TMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 ! v9 T% G" N6 P* z6 R, y- G
5 A4 H& @, v! w; w8 D7 _7 ?. z2 b: m
( k# g. H5 N( ^- e
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
; m- @, r8 z6 T3 N; P$ U7 V    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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