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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
, A& S$ _8 m' ?$ Q1 ?2 `( ?; ~0 j畫的 每間蓋的layer 也不一樣
( S; M: w* B5 I$ X" p廠建好的 製程try過比較沒問題/ c4 X: A( x  \: r) Z
4 G' z: I) {) g# F8 Y- K* m
自己寫一個spice  model  容值抓抓看* N* V  i7 u+ Y

( v6 Z  g" Q# vMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,4 |0 Q# ~) {6 A- Q6 c, {, H
可能任何工艺都有这个cap,
' L2 b- C) i9 o2 `  [7 x
1 n) z! x) j+ w. |& M: j% rMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
% i- p, x3 F8 U3 M' j( _* K, k由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,( H7 u5 U; e2 o* q
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 ! M4 ]: B/ ^1 c+ T
3 U* i$ o# [+ {( v& h$ j& Y3 g8 Q

! P' Q3 k$ l% P1 \' \# L    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
* }! z* Y' q' l( W3 j/ w    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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