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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
6 @. K9 }& h$ G2 G  }畫的 每間蓋的layer 也不一樣/ P6 Z' M  {; f; f$ C7 c
廠建好的 製程try過比較沒問題
$ z" s- e4 N/ k: Y7 a& m0 M9 x. l6 }# l' q
自己寫一個spice  model  容值抓抓看$ Y7 a, }' z& u1 f+ V

# A. c. ?! x' L2 ^7 H& W0 S6 OMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,+ `% C, w' M2 Z% \2 w6 ?
可能任何工艺都有这个cap,
& v3 c; l% u, d7 K( o
! H" E5 O, [( RMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
0 v1 N; r7 O! D2 `& Y& ^( \6 H由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,2 p8 }6 F$ k, a4 M& Z" t/ q1 `% [) W8 U
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
/ b$ C* r% _) ^
1 U( E( N) Z6 n6 ~! g7 k# @- K9 T1 y4 O6 g( o9 y! {
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
) ?# d7 ], c2 w; W6 J    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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