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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用* l! V4 n0 T$ X$ b7 B) R/ f3 E
畫的 每間蓋的layer 也不一樣) R, Q( m6 k& J+ s+ f' U
廠建好的 製程try過比較沒問題/ w; G4 Z! y$ _+ A' [$ C) B

& V- V6 q3 o  D0 W自己寫一個spice  model  容值抓抓看
% H) P0 L8 Q' f8 h9 N3 g9 I' v5 h7 n) h% c# [
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
/ O. ?$ e( o3 e( u& T" l  M2 Q可能任何工艺都有这个cap,
' n5 U1 X3 }- V6 I* g
$ ^; a4 q* l0 o/ q' vMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,+ q/ B, e8 s8 N  o( {$ P
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,  t3 ]4 b( A  c) E0 S2 M  Y+ U
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 & ?' x# y* _8 G, F' I8 R
( ?% ?9 P* y2 z6 @* {
9 t$ \% d1 N/ W8 ?% o
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,/ f& T& J7 a# F( j8 d- x
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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