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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用" r. S: Q: R/ W! U" j3 F2 {
畫的 每間蓋的layer 也不一樣6 T$ ^  P* d& q& d- I1 G* a, `/ s
廠建好的 製程try過比較沒問題4 @6 _( r6 F+ T

( C5 h+ n5 O5 P9 p9 q0 n自己寫一個spice  model  容值抓抓看
4 v1 s. E1 ]4 U% v5 E- v+ [) @! y+ Y8 {+ E" H9 `9 j
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
. T7 d# q3 H. X! W可能任何工艺都有这个cap,
' \/ R4 F( L, L: |  [9 [5 c8 o4 i8 @
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,- d8 I; i2 y6 ]& d
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,& i- v' G0 x0 x5 z! V
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
4 U5 H" h  L5 j0 }) O  a
- _" m, z/ V2 t1 U  ?! ^1 q/ Y% a" N$ a' [) ]
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,4 d& g( q& r' @
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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