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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
! [* \' S+ Q: Q. c" a畫的 每間蓋的layer 也不一樣% {/ o" ^' U: i* t$ @, l2 h
廠建好的 製程try過比較沒問題
" |5 Y6 J8 s' c: n- A  w/ T( u3 j$ H& R4 V* M- Z
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
9 e9 `4 A" M0 j9 f+ L+ |2 \+ z0 b7 g6 R; d
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
5 h8 |+ ]4 R- E3 b* M) J1 I' _7 A% h可能任何工艺都有这个cap, " F' }4 d3 ~4 m) h4 V% O- E2 a3 X
+ j; E$ B, \9 Z* N
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
% Y. z! f( j; h5 a1 s! P由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
, {) k+ Z, k  h$ hMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
  ~$ N. B3 L! y& Q8 N# U4 t, s6 a$ l
, C- z9 m5 V8 P' H+ C  _# d
' {0 p. A, [; Y4 u* v* T2 v9 l    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,1 V0 L8 `2 E* f. H- Z
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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