Chip123 科技應用創新平台

 找回密碼
 申請會員

QQ登錄

只需一步,快速開始

Login

用FB帳號登入

搜索
1 2 3 4
查看: 16087|回復: 2
打印 上一主題 下一主題

[問題求助] MOM電容佈法

  [複製鏈接]
跳轉到指定樓層
1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
分享到:  QQ好友和群QQ好友和群 QQ空間QQ空間 騰訊微博騰訊微博 騰訊朋友騰訊朋友
收藏收藏 分享分享 頂13 踩 分享分享
推薦
發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
3 u7 q* X- e+ ?6 C( i: n! G5 C8 @: L畫的 每間蓋的layer 也不一樣6 T0 }/ ]7 Z8 Z) k' [' t  i
廠建好的 製程try過比較沒問題
8 b. U$ S0 M( S6 L. n5 C/ S8 P  |( q( C  Z/ B3 P
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
$ h9 ^4 O0 N" V0 g' B9 M8 q0 A
; `0 x- q, K! Z: |$ |1 gMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
  e3 O+ t; I9 |# n) x" S3 C7 _可能任何工艺都有这个cap, % {/ ~- v; j8 \4 n' w$ X

0 G' d, D" A* t" @3 S7 V; G7 i9 TMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
* u4 u5 _+ G$ |8 j9 |5 B$ F% W6 J由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
& n/ ~7 c# P8 q- \MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
回復 支持 1 反對 0

使用道具 舉報

2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 + @+ d+ M0 ^' P
% E. r; r7 I9 ?/ Q5 J. u4 s

/ A0 _9 C, u1 U5 X# J) E$ V6 E    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
) G& W; ~& O, f% o4 V$ `4 ^5 J    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
您需要登錄後才可以回帖 登錄 | 申請會員

本版積分規則

首頁|手機版|Chip123 科技應用創新平台 |新契機國際商機整合股份有限公司

GMT+8, 2024-12-7 03:55 AM , Processed in 0.160009 second(s), 19 queries .

Powered by Discuz! X3.2

© 2001-2013 Comsenz Inc.

快速回復 返回頂部 返回列表