Chip123 科技應用創新平台

 找回密碼
 申請會員

QQ登錄

只需一步,快速開始

Login

用FB帳號登入

搜索
1 2 3 4
查看: 16219|回復: 2
打印 上一主題 下一主題

[問題求助] MOM電容佈法

  [複製鏈接]
跳轉到指定樓層
1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
分享到:  QQ好友和群QQ好友和群 QQ空間QQ空間 騰訊微博騰訊微博 騰訊朋友騰訊朋友
收藏收藏 分享分享 頂13 踩 分享分享
推薦
發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用, C: u7 v" d) P  u, _$ }
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
) S4 w' |6 X( n7 m; V廠建好的 製程try過比較沒問題
; Y) N# z! k/ A2 N' h
. W* j9 H5 Y+ h自己寫一個spice  model  容值抓抓看3 r0 b0 K- L0 E( N6 }( [; ?
! O5 r* `# f' _- W* |0 i
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
0 ^( V( R; P1 D8 g: L可能任何工艺都有这个cap, 5 w! N3 Q# J/ F1 Q& m& t4 ~
' w+ R4 V( G$ a: e; ^8 b$ H* l
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
# K4 {4 n9 u/ ^) }6 @. {: z由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,! I) X( n4 k) h; T8 G3 w' C3 K
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
回復 支持 1 反對 0

使用道具 舉報

2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
& f4 N$ F1 D0 x6 q, l9 [
1 N5 F" s: f( a# z9 t
4 h0 J; d; }# M. W( E1 a& w: X    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
* S  F5 q; u- x/ O; c: Z; S3 S    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
您需要登錄後才可以回帖 登錄 | 申請會員

本版積分規則

首頁|手機版|Chip123 科技應用創新平台 |新契機國際商機整合股份有限公司

GMT+8, 2024-12-9 02:01 AM , Processed in 0.160009 second(s), 19 queries .

Powered by Discuz! X3.2

© 2001-2013 Comsenz Inc.

快速回復 返回頂部 返回列表