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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
* T: a8 t5 t5 \( S8 E7 x畫的 每間蓋的layer 也不一樣
; S+ O% a6 U; O* G廠建好的 製程try過比較沒問題
; K+ F- }+ W3 Y# E2 C- n# a  a( |! \, g& l/ c: a& e
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
, U5 Y" p$ z! |5 }* ^: F
1 f/ x7 {* {. V( K( X$ E0 MMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,; X) t6 R/ A' `& h& w
可能任何工艺都有这个cap,
. P6 e6 K/ j' `, X6 d% {; H& p! `
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
0 S9 r. B5 f9 k; m/ p& A- F. N  I  O! W由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,! o; e8 }. {3 U
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
( i+ A! b7 o; B2 t% P1 d" A$ R* M6 d) Q, @

" j7 t" b/ w$ ?3 b6 ?    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,! Y7 b; d8 K9 y
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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