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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用4 b" t) a) n4 n: a7 r; U
畫的 每間蓋的layer 也不一樣; k/ k4 E! H$ e6 B: d
廠建好的 製程try過比較沒問題
  O) P  F% D: a  D( T/ S* U$ e' n9 f8 }' F) Z
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
' B8 y( a0 V5 H4 M1 V5 Y
$ A( @0 T$ O2 X9 sMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,9 E, ~2 U: a6 Z# i
可能任何工艺都有这个cap,
# ]. [3 S2 [8 C8 S' R# P
& ~! l6 {' g8 n5 qMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,9 s, Y$ A8 i, n+ ^" A8 y2 v+ j  f/ i
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,3 y/ f4 ]3 ]; D+ v# P3 u0 k3 ^
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 & \0 O; T8 t0 }% q

/ y# U+ v# J2 B' e# }% x6 p) ?+ }$ {# f* _7 v4 h
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
4 Z' i8 ]0 i! G. s    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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