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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用! F# }/ u4 M( d: O" C1 P% c
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
6 e) Y# W  Z; b3 H0 C8 ?: N6 v廠建好的 製程try過比較沒問題0 \$ {. p( @0 b* l. D: \" a6 t# i9 ^( |
& D. V% E# @  B, E: A
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
! f+ W4 a, L. g; R1 {- s% i# X- Y3 G) W
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,; s9 N! I  |9 L
可能任何工艺都有这个cap, 1 g: r* h( ?/ z+ _# j
+ c0 m# A: q, k4 u
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
, Q  t: I2 |* `2 S# l- Q由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
$ ?( n) V3 u5 [. L% Q( H. m- A3 H% LMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
5 \+ x+ P9 V7 L3 J5 R" _& ?, G. g0 M5 `& E' i

+ S  j: s: L9 w  w  A% B5 M) D* {, |    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,7 c8 A) W+ E4 S$ S3 U! l$ a
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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