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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
" K$ U9 s( C0 `: Y) I畫的 每間蓋的layer 也不一樣8 V, J) F7 F! l+ O
廠建好的 製程try過比較沒問題0 k0 [# Q: X) i" P( s+ ?9 F2 u
4 x" f2 ~# e9 S# s; l" X& t
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
( a& u* Y. u. z& ^7 L2 X" s7 ~1 V& W! S: i( {9 F$ Q# `+ V0 s
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
1 f' u. p  Y9 I可能任何工艺都有这个cap, 2 F3 ?( e/ I0 k  |

$ T- U3 v# V: v. C& zMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
! M2 `! x8 q6 q9 X2 V由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
: H. `% L8 m! E% \3 }# UMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 8 d$ ^  \0 g" ^5 ]( ?5 _

4 ~! u" U7 H3 W" ~- O# N* B3 x( C7 e  E
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,/ P9 _" m; u- s7 m* ~  G3 {. Y
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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