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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用* `$ g3 n+ P2 n1 Z
畫的 每間蓋的layer 也不一樣' F8 G5 S* n# M8 ~# K5 G
廠建好的 製程try過比較沒問題
8 I, u" e( {9 `1 V5 W( P
7 S0 P: M( I. N% h  Q3 a. |自己寫一個spice  model  容值抓抓看4 z: V; F' \0 i) ~4 a
' P8 S' y$ P  m
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
5 T7 r$ x0 t+ V' |2 K) X可能任何工艺都有这个cap,
/ w' `0 k$ k, c  A; n3 m
$ ~, o" ^9 l/ i( i. V& h4 A: l2 g: IMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,) z$ y+ v; f8 V& e% U3 E
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
; |6 f! p/ o% y! NMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
* Q# F* q, y8 K4 N- \/ u. H
( W2 b" X" w' K5 \. @3 d8 H/ e. K+ _3 M) j2 M  H0 p, ^0 h4 A
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,3 Y$ r1 X9 U5 O* U
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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