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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用3 f! W" T% ~* z" u0 L; S
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
% R0 B; ~0 B5 G3 K" ]廠建好的 製程try過比較沒問題
/ M1 H/ M! i: s3 u6 m5 ~/ k9 \3 y; R+ f. x  W, Y
自己寫一個spice  model  容值抓抓看* g$ R6 _" m  P' p: M# m

3 S; w; U, l7 U+ K5 @5 v8 WMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,, M+ [0 I8 }* y% z7 {$ l
可能任何工艺都有这个cap,
: Q9 j, f. @  s. d
& K) D9 H& j. S' ?+ CMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
0 I$ b2 {' M8 g" ~4 l6 f7 l由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
+ `" G& G4 ?" k3 G9 S7 `, xMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 $ }+ E" M- `: ^5 X9 |8 C

2 f. o: m$ Z: h" r6 Y3 ?) k% l
# u$ z  _7 r: M/ S5 A    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
2 U5 d/ ?7 Y  p- A. p: V( ~    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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