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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
5 u: z" \) ~) ?# C% _畫的 每間蓋的layer 也不一樣7 L) R8 _. S& Q% ^# j: h
廠建好的 製程try過比較沒問題
% f7 m1 A4 s8 ?. }9 N
) c8 ~- u7 L; K* R自己寫一個spice  model  容值抓抓看
5 f  t1 N/ ]8 A+ B9 |- [
, D4 b' ^. J" \0 K9 IMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,, G/ V7 {0 ]1 X) O- y7 y* t
可能任何工艺都有这个cap,
% R+ G) [8 P% y2 ?6 d2 O. `+ P
& w8 {; o8 x. A4 @0 b. B- \MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
8 l0 H  O6 ]; Q8 U8 }: J由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
3 O3 S- `* c0 t1 }5 ]; \8 Y/ ~, |MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 ; e1 u' ]5 T# z5 `" l% |

4 b& p1 ]+ M) E1 I, |; k5 ]/ \# M3 h, i& C* ~, \
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,# s/ w4 p7 n0 [9 v, o0 f; V1 b; D
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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