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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
) z# {% Z% r4 {畫的 每間蓋的layer 也不一樣0 D9 P/ B. G+ w. f# Q: f
廠建好的 製程try過比較沒問題* w' \2 X  z' u5 O- b  ?! B
. ~  t8 e* t( C' l
自己寫一個spice  model  容值抓抓看' q: k, J, h" a  l* [7 L: R
& X! n& V  V3 i4 V: }* j
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
+ N: b& I" Q; }$ r1 n可能任何工艺都有这个cap,
. G4 }0 {/ T# ~" Z8 o/ i7 b  B* @1 S4 z" [0 I! L" d7 h
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,  a1 z- A4 r% P# u9 L
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
8 ?' y6 c& \( ?6 o! oMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
- k+ V# p& V# p' o6 n9 S
/ Y. L7 y2 [& d
6 p# F8 o8 L  r1 T* n# P    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,% C* _8 B4 ?$ R5 x  C
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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