Chip123 科技應用創新平台

 找回密碼
 申請會員

QQ登錄

只需一步,快速開始

Login

用FB帳號登入

搜索
1 2 3 4
查看: 16038|回復: 2
打印 上一主題 下一主題

[問題求助] MOM電容佈法

  [複製鏈接]
跳轉到指定樓層
1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
分享到:  QQ好友和群QQ好友和群 QQ空間QQ空間 騰訊微博騰訊微博 騰訊朋友騰訊朋友
收藏收藏 分享分享 頂13 踩 分享分享
推薦
發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用; B  P8 j' q# l1 u0 V& ^; P
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
0 c. a2 a+ C: l. T& G$ \2 Q- r$ V- g廠建好的 製程try過比較沒問題- a/ b8 ]3 N  g0 w: V5 e' t- O& V; o, v
/ ^+ l1 y9 r+ O# D& n9 O
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
2 u% E: Q9 D. d6 B8 L( l
1 }3 I$ l3 D& n! H- V3 g/ D$ OMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
! U. s. r: l* {1 d( p, U; X可能任何工艺都有这个cap,
5 w3 l/ r1 p, [1 L! ]( P  t! Z2 p& m' ?9 n7 E8 G! S" i
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
* i$ e! _( U5 l5 w  _: ~* i由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,, N7 h8 A: F/ ]
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
回復 支持 1 反對 0

使用道具 舉報

2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 & m; g4 d/ @$ q- B, q  W0 q
2 o( z5 L1 y; T1 L- c

; ~, ^7 ?! x" `9 D    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
4 @; q1 C6 h& J% `' V/ Z9 l; |    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
您需要登錄後才可以回帖 登錄 | 申請會員

本版積分規則

首頁|手機版|Chip123 科技應用創新平台 |新契機國際商機整合股份有限公司

GMT+8, 2024-12-6 12:09 PM , Processed in 0.136008 second(s), 19 queries .

Powered by Discuz! X3.2

© 2001-2013 Comsenz Inc.

快速回復 返回頂部 返回列表