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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
% w# {: s! N$ C畫的 每間蓋的layer 也不一樣0 r: J$ d# X% o& R. w2 O
廠建好的 製程try過比較沒問題
# L5 l6 r, ?: e, m  _- r) n
- k- E5 I+ w0 z自己寫一個spice  model  容值抓抓看# \3 _) D, B0 a; G  q% Z3 J" |$ y
! r( N" _3 B# f
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,! }* a9 g( k" I3 N  e! ^
可能任何工艺都有这个cap,
( ?2 K! C6 J% N: w) C# m, D. n& {( e! H+ M# a& n6 W% e# S
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
7 v* K+ v8 u7 k& t+ o由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
0 G( \8 H7 E) W2 ^/ j) E9 UMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
1 R7 U6 b: A. f! [0 y' B3 z; T7 R! ?, [/ ?2 m+ Y

4 c# e$ }. ^) n; |% E    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,# y8 j  i5 t4 o9 B7 x  z
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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