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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用: u# E7 _& ?. T7 O2 O! M
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
' O- d: M; n; N( a2 L# P- W2 v3 `; i廠建好的 製程try過比較沒問題5 U) b. U% R, ~0 P, f) `

4 `/ Z2 ]9 i$ `+ K6 U& Q; W, C: ]9 {自己寫一個spice  model  容值抓抓看; i! U1 q/ j9 M% K! S/ _) E

" o+ ]" T4 m' k" K1 h8 uMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
& ^- d  G/ Y2 \& W可能任何工艺都有这个cap, 6 R( ^  W" j5 V) s

! K( |  }+ i( f& W& W) q+ a; F/ _MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,: w1 c* X! g0 F3 n3 C6 d" `" a
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
/ b1 w, [6 H3 yMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 8 @1 i6 g: K2 s1 L

" S2 ~6 Q1 P, {8 A0 T+ h  G) h6 M; H
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,5 I* z/ h' P0 n1 a" O, r
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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