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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用  _1 P) U. ]% w$ [: r4 P
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
7 S$ A- Y' N+ [. |廠建好的 製程try過比較沒問題
) @( q$ o$ o+ f; ~) R! D0 J5 O& x( @% |# E* W3 }2 y" S! a+ c: x
自己寫一個spice  model  容值抓抓看9 u2 G; s4 [! B% t* U2 X, g
" t" K4 Y6 k5 ^6 ]9 s' m4 H
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,, W9 j2 K; M# d7 a/ J
可能任何工艺都有这个cap, # L; ]' x1 c% K/ [
# G) V1 _8 e) b# |3 q' c/ |
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,- ^' E. F9 k5 m5 o2 u, r. `; |
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,( o2 {$ c* E7 |6 p% @. G& Q
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 - l. X; M2 {9 t, d- N( h0 r
1 k  |7 r- ~; H3 k' ]
% f8 k+ U, _- y/ Y
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
& X, V; e+ y0 K0 I6 D    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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