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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用1 G- T6 _1 _. l' N, C
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
& P: ^9 k. P$ n. x1 f9 Y廠建好的 製程try過比較沒問題; s# g4 e/ e- p
- P: A' ~7 u1 f+ O% C7 T: ^
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
  B0 P2 Q) U5 l/ t) V
5 T; w: a0 o; f0 w9 C! dMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
" v! C) m( U; j' k" S0 o; X* J9 }6 `可能任何工艺都有这个cap,
9 v, N! P( i' p2 z
9 \, b9 i; `5 B& XMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,+ p# n/ o# F* {; P
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,8 G0 z2 Q, r/ A3 n: u
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
& }- T+ N. K9 i. y: j+ V; W4 N* a' T/ J5 b
9 A: I  S& j) v, c$ J
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,0 M0 c8 \3 P& D3 p0 y; c3 q0 O; F! u
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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