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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用4 z+ R: G- U: ~. p, i3 b
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
  n0 p# L  Q+ P( _- w廠建好的 製程try過比較沒問題
8 ]2 t$ _8 ^/ t$ k8 v0 I# c+ B3 r  F* H) q) e
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
$ b$ e, x% t8 a. H% Z$ V& o, n' t" K4 z  W/ x( w1 w
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,6 O3 e2 r" G3 L& m" l, ]
可能任何工艺都有这个cap, ' b1 }8 r8 S2 K) E0 i/ O( E& b6 j

2 s6 s+ A0 P/ L8 B  P2 MMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
8 L6 M1 J; W3 a. d( \9 {由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
3 p( ?8 x: d1 N$ I& n6 NMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 3 _* `/ F7 D! r2 O6 r
. O" [) g( n+ X( O( I% \

( s$ Z# D  p% P$ I, X) _0 i4 u    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,. e7 P0 \7 P1 z: b) J) `
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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