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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用- W4 ]6 E  s1 [- y& N% W5 X
畫的 每間蓋的layer 也不一樣1 h6 a6 h5 ~/ S2 f
廠建好的 製程try過比較沒問題5 M; I3 W9 l  n

! M2 ], q* A/ F- D* Z" _自己寫一個spice  model  容值抓抓看
1 b  r8 [- W# B7 ]4 g  ^  i8 Z" V; ^
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,$ q" S* J" T, ~# C# g, W4 e8 j
可能任何工艺都有这个cap, . |6 s$ G& U0 Y4 z9 A
$ p7 _' C- [! {% C* [( y" y
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
9 {9 b% u2 W7 @. z- N0 b9 L* `' @由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
5 `9 s  H8 x! h6 `$ s6 |' C9 WMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 / N) h7 Y7 T! T0 b( h

7 f  i$ H4 P) Y+ ~+ ]* ?, H: F0 ^  @9 V
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
; \& N+ K' A7 P    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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