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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
6 V* k+ b* A" U# O) y  \  h畫的 每間蓋的layer 也不一樣8 }& r$ c  p( F% B6 W
廠建好的 製程try過比較沒問題
0 X# ?. f6 N+ q! W3 t
& I* {/ t1 d* `( Z  x$ ]/ g  ?' P自己寫一個spice  model  容值抓抓看
. K/ t  f' X" O8 g- c$ k" d
. S# O- f% g7 d  [; MMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,9 t  @4 k  [1 Z  Q
可能任何工艺都有这个cap,
1 ?- s; ~2 Y  c$ W; l9 w; c
8 S  B1 Q/ x; UMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
/ \2 V; ]  ~* P' f( d* D; g由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,9 d8 d) r0 K. Z0 h/ S' S
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
- ~8 d" v+ e! x, k% e' B$ f( G8 {% Z3 k: {6 `" Z# ]) R# o

7 P5 @; R7 M  z& z5 u! Y5 \1 R+ z( o    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
4 v, A1 F8 h8 r1 `9 Z' D$ j3 B* d0 F    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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