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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
  D) e$ @! `. T- A) `. r畫的 每間蓋的layer 也不一樣" Q& F+ F% B! X
廠建好的 製程try過比較沒問題8 i  Q7 C$ ?% d/ {6 e
0 F  u9 i. U% i, a
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
% {& `2 m" w6 G* I5 x! O/ i" D& S6 W! m/ Z% x4 P  }
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,8 l9 @, g! J& ~1 o3 ?" @' ]
可能任何工艺都有这个cap, ! i1 k, u3 t# _0 A- s
" Q. o1 T  X) }& l
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
$ a' a! {+ Y/ A; }+ j由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
' J& G5 A- D1 c+ Q; UMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 % G9 T2 Z3 P$ I; V0 ]

+ i+ f7 P1 e1 @, \7 a
& Z' c% p& ~. g" h" Q4 J    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,4 `, A; o* R2 ~' ~1 w1 ?$ V
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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