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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用, ^# c. ^0 d+ _# b0 y
畫的 每間蓋的layer 也不一樣: l, ?% h% L: |: y; [
廠建好的 製程try過比較沒問題
# j) u; S; {9 s5 J  e
$ h2 i  {$ }" t' @7 }) i自己寫一個spice  model  容值抓抓看
7 h7 l3 D5 Z. s3 g- f& K" {0 _' p; W8 U8 u/ U/ I
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,$ {" e, Z* _3 J$ r# C! O; l; O
可能任何工艺都有这个cap, 0 b  c0 p1 b; y1 g
) i+ [8 Q9 |) S6 s& q
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,, a: `( r/ ~4 K: k% \
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,6 b  m! _9 t6 M' y
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
3 d# s  M/ {& H1 D
7 x: ?% I9 V1 _. z
* u& O0 K& i% C    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
/ l, V; q- k# k0 L1 J$ ?    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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