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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
8 n* y" e! p0 s: P畫的 每間蓋的layer 也不一樣
7 ^; i( }0 m& j3 E# B! y廠建好的 製程try過比較沒問題, l% L8 D( F' `  u
+ O; `/ k) X: `: U' `! f
自己寫一個spice  model  容值抓抓看. T& p0 g8 @# J6 l

; m- O9 C' G+ k: W+ tMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,- v" z/ Q: N6 W! ~' W" v
可能任何工艺都有这个cap,
5 q, l+ ^) U+ I* a; I2 E
9 L0 D6 G" b& z: A2 }MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
1 v, U1 `8 W7 b- y# J2 o1 p由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,( q6 _" Z" O4 b9 M
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 , V) v/ E# D, \+ }5 i. x: Z
9 s7 Y3 q. u" m% j

. C8 T9 z! _, W" Y: k: P8 _    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,7 y- t2 \, ?! [$ a6 \
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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