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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用4 R5 Q9 Y/ ]% u" q
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
3 w- `4 J! x8 g廠建好的 製程try過比較沒問題
& M8 H% f! u, \0 m/ L! n9 V2 O, J& D4 X9 i. u, b7 ^! ?7 ^
自己寫一個spice  model  容值抓抓看' Y) G4 E. |( T, w8 [  _! d
' r0 x, e1 v: m7 h9 H
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
' H/ u9 g& W8 y3 o1 E可能任何工艺都有这个cap, ( E: X8 t9 H5 N, e. H
6 j# t9 i$ U. |& ]8 s
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,. e' A2 u& }) T
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
) m! g; I0 G1 i7 N% q3 xMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
) ~0 G; Y' s/ w( k% B' R
) ~, q1 Z8 M* j- p' F
9 }+ b( X# X( Z    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,1 j; b  f7 R5 `/ P
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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