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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用/ N4 i  `7 n# B) ]2 R6 ?9 d
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
3 n6 m7 y3 I# C廠建好的 製程try過比較沒問題
* G5 d/ N. W" `3 B- `+ `
! L, C4 H' j% a! W, B自己寫一個spice  model  容值抓抓看
" A7 |, L4 e6 d' @9 _; U* o/ C
; Q8 K% Q" T' |: @! ~! ]MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
& z+ k" p/ {9 O1 D! H' ?! |: Y可能任何工艺都有这个cap,
4 P% @1 a' d/ I9 |( s7 _/ M! w
4 p% B! g5 B3 \7 uMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,$ M) O# ?7 V0 o4 l
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
) Q+ `6 U2 P% X$ ^( T0 ^0 [/ VMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 1 m' C/ t! C- \6 H1 ^
4 H6 E0 w) P9 v( @
7 R4 R2 F/ E% G% V* N" l$ H
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,' r  j, E: v0 H' C
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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