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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用4 f3 f" Q% L) ?, t9 ?1 c
畫的 每間蓋的layer 也不一樣) w0 o5 p/ ]" X
廠建好的 製程try過比較沒問題* k  A# {# t' D' [2 [4 f1 L
" R5 g1 \1 ^( h
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
( ?2 i. W! O* i  s+ {4 ?% Z- S! w: T8 s. u' l4 J
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
6 j( q7 p1 a$ v) Q可能任何工艺都有这个cap, 9 W$ p, C6 n/ w; X( _8 e

# v" v) a) ~: R1 [+ xMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
0 v- _/ B3 |4 p9 o' n! S' O' S由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
, S$ i6 {+ G1 E+ \& {MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
2 j* Q# L* ^9 L. C" ~9 [9 I
, X, B6 D3 A" q$ \! A
6 U# N1 x, e+ J" s% I. P& Y4 e    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
2 g% @* h- N0 U( S/ e8 R  m8 _; v8 g    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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