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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用8 s2 ~0 R- z1 y7 x7 J. L3 ^
畫的 每間蓋的layer 也不一樣' {9 c* N! k& [7 v# e" X3 u
廠建好的 製程try過比較沒問題/ W) J# e; T/ J5 \& C6 r
& A) P0 u+ ^" r
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
2 J+ H8 H' X/ d/ ^) S1 ^6 f* C) K9 w& I5 Z; g. x7 H7 I, U5 s
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,2 v% U5 C$ E1 N: j
可能任何工艺都有这个cap,
. b! K8 I8 W1 l  r! t9 j3 M( z2 K  z. S: G$ A! t3 x
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,9 w  u7 j# \0 p5 v- _# d+ Q
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
- c7 ]) o% _5 }1 cMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
  n4 ^" X; [8 C( S* A7 J8 l2 Q4 I6 d

; O/ t* B, N( @    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,) v  x" L  M& c" r/ {' p
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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