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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
( b% {1 t3 e, y0 L2 ^4 f1 R) `; B+ d畫的 每間蓋的layer 也不一樣0 Y0 \# A0 E' J% T3 L( k
廠建好的 製程try過比較沒問題/ ~, [6 q2 g3 t( W4 H' i
" [) {9 a+ r  _
自己寫一個spice  model  容值抓抓看& o: y; L8 H- u6 U1 L

7 {8 R( H3 _& ]3 [' nMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
% w/ E4 S' j9 S; }9 u6 a1 g  B可能任何工艺都有这个cap,
% {9 B6 l: N% I8 u. X% J
! p) {: B3 x/ i6 rMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,9 v- V; [; ], N8 K- c' y
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
% \$ P7 ^" i. ~3 Z$ rMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 : [0 M1 ~, |% R) k# I" y

6 Z" N6 j6 s8 N/ C" @9 a2 b0 r/ R, g( M) t" h
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,, o7 b9 e) n( U1 G/ S) n, v  l
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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