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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
" l' G, G% i1 J0 Q畫的 每間蓋的layer 也不一樣- q4 ^9 A5 u4 _: |4 q6 [  `
廠建好的 製程try過比較沒問題
" R5 x$ W$ u2 [% g+ b# f, T0 p% X+ _: Y2 G* r! N
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
0 d# }3 S. P9 x, M5 {) z3 {
! k8 i* Q1 y; c& m" a. lMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
; T+ R; o* n4 P可能任何工艺都有这个cap, : n, \- J5 r; Z0 o, }7 e, X
6 ?2 W6 [" N$ c
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,2 y* `2 t0 x) d# t$ Z
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
  E* f2 A3 _3 F; A: PMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
. T% f$ K& A$ g  y7 c$ E! X
# H# R1 c5 Y' L6 _$ r/ x
; A$ u( [- ?$ K; Q6 C    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
" c1 F5 y7 u  P$ _4 T0 c( \    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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