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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
# ^) G5 Q& X& a4 q: s6 [畫的 每間蓋的layer 也不一樣& A' O( z( T7 H/ |/ Y* R% \3 C  M. {
廠建好的 製程try過比較沒問題
' a5 g- v" ^  C: g9 s- z* D5 u+ W
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
7 q/ X2 Z/ s& V- s4 y
" M2 P" B0 p: r; J! d0 T! rMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,( @5 E$ M3 u2 i" n9 {
可能任何工艺都有这个cap, 5 K& c' {- @6 A" m' L' A

/ s* T$ I) N1 ]# S4 Q* }! ?% ]# S4 o. nMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
- k9 v" h- J" B- j- J由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,7 s- Y7 W/ O3 L) F. q
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
9 J5 Q" T& t+ y: F. V6 |* A* z! Q: v$ h$ D* M2 [, v5 K% v: q0 e; G+ f( R( I

* l( N! d. N8 ~6 n8 @' `3 Y: ~    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,4 F- }) y% Q' _
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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