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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用% d- F2 o( g! F1 b3 c
畫的 每間蓋的layer 也不一樣/ Q% V+ `2 `, n* O3 {' G
廠建好的 製程try過比較沒問題4 ]1 O, |+ R0 p7 n
1 M, l& ^9 K. x' m( D8 \
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
' w) a$ q8 y9 E% u- B( @7 R/ H3 q1 J. P
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap," h& O/ p, i% b. A3 ^
可能任何工艺都有这个cap, 4 L9 _9 @" c3 R3 z! u3 B
! o4 I: [2 Z" \6 x5 U# `+ `
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
0 u. @8 e3 r$ w: h! F% U/ q! R由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
( u1 I$ F0 k. L9 o; X/ NMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
$ w) }$ J/ G+ R/ k
4 y8 L" `# I$ R& @2 T7 J( b( G' v, z& ^2 n. p. d! B
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,! e, l+ L" u0 P6 [
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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