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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用# f8 c8 ?! b- p6 z8 n
畫的 每間蓋的layer 也不一樣! |6 q2 r, x5 v( o/ W
廠建好的 製程try過比較沒問題
! i' p1 ]/ }% C' p1 T' W2 Y1 h6 R8 v: \
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
  e9 `- v1 r# }2 K5 j9 i1 ~9 A) P6 }
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,# S7 t! T; J0 o2 e; q5 E8 P" c
可能任何工艺都有这个cap,
, Q, X0 T; |( G3 I9 {% v/ R7 e( L' t$ |& ?0 n- W
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
/ ?. Z  }( I' e6 |" f由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
6 Q. K* C6 H" C$ {# t, W* `MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
, Q! W; u! u6 A
7 }$ r$ `- N! z. R2 c7 P7 R9 C
7 [5 @! I4 ?- A8 t    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,4 O6 a, o, @9 l$ U
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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