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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
3 u# K( H# {: X7 Y( I; o3 w! |畫的 每間蓋的layer 也不一樣6 _& x9 ?3 X8 y) T; a% p
廠建好的 製程try過比較沒問題" Z/ N+ u$ }$ E: t8 A

; d! @5 ?+ g* f3 g3 u自己寫一個spice  model  容值抓抓看; s1 Y" c% Y3 r/ ?
- |8 n3 I" [1 e, b
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,' @5 e+ G6 e0 W8 H+ i8 s8 E; p; d& y
可能任何工艺都有这个cap,
& ?. n7 f! `0 ~( ~( w3 v  i2 J( a. l3 U( |! r: g
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
$ N$ p4 G- k7 F( k6 c3 |* q由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,' ^) ~7 K6 D. e1 \: [7 r" y
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 + f. g% F8 _5 l5 s5 r
$ l% `# I0 L! M8 J$ _: S

4 C4 ]  Y7 A8 E" h% V1 K& m    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
# N0 I$ A; _0 T9 f( j% V! g) g# N    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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