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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用% z( _: B" Z+ r& b/ j
畫的 每間蓋的layer 也不一樣. k" ?) m, F3 G# e3 k4 S, c9 k
廠建好的 製程try過比較沒問題+ ?' w$ Q2 j) S9 c" @4 \+ j# i/ A
% N8 H1 e0 }# p% P+ e* F! i
自己寫一個spice  model  容值抓抓看1 O$ b* Y# @& y& o
1 f, Q2 s; A% f- X* j! M
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
# {1 J: @9 ^/ G. S! U' i" ?& p可能任何工艺都有这个cap, & ]" E2 R$ M' S3 f5 f' [
% a7 s7 b$ x( Y$ n& l8 D8 P. ?6 o
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
( k! K' N2 y& p3 V  C0 m: D: M1 d; Z$ i由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,& e# D$ }" W! P# Q4 M3 z
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 ) J& @4 i" @7 e& N, y' o
7 |! }& }/ @4 N* Q3 T& T7 ]. R
: a* k; S" @( a/ W6 {
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,% O8 L0 ^- j  s# l
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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