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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用) ^# P' K3 h3 k
畫的 每間蓋的layer 也不一樣' J6 l% e5 C* @# W; h+ y0 @' K5 ^
廠建好的 製程try過比較沒問題
0 ~0 U8 L# W4 e7 j) Z3 B% ^% v9 F# m6 D8 N0 ^
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
2 d  D" v/ y4 \% A. m% V: a1 \3 I- v# C( L( R& \% x3 Z
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,& K0 W1 y4 h( _! w& A
可能任何工艺都有这个cap, ! m: U) C2 T6 `- n6 i* o* T
6 d/ H0 @% @' j2 O* S
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,7 h& r8 P% S! h& C+ X
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
$ p8 S! W% i% O3 ~MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 5 \. ?$ P/ x* Z1 c# _+ m4 e. Q
2 ?$ _( N6 \3 r- }
+ o( _: X* d: O* }
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,' f3 I# N( l3 [" C0 @
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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