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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
8 g' f" O! _4 a+ q# @. J6 d畫的 每間蓋的layer 也不一樣
$ {8 w8 b/ R, F# f廠建好的 製程try過比較沒問題
# X3 e* F" n4 d: x4 ^( Y# @& W8 A( @& o3 W7 D" m- L" f$ X
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
2 ~, U1 F* M6 x% E4 I. t4 F# [7 a9 [/ G) ]
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
  r) A( z8 |" _" `& s) p可能任何工艺都有这个cap,
# Q# O* {* e  [8 W/ ]" `* y
8 h  s& I% Z' z  R; `' v/ j8 O" gMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,  P2 S+ M2 d3 H5 `2 l! `, K
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
" g* ~' P" E, w6 O8 f+ S3 h/ I0 G& aMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 ! U. k* D# b1 I& ^& C9 n7 S

5 m- S4 j. c. S# m
$ x" b) Y/ C$ z1 W% }+ ]1 h# z    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,* I" v4 T3 O: s+ z; I6 ^! J) k
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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