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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
. x0 C, W- t3 y7 Z畫的 每間蓋的layer 也不一樣
9 N5 B) L) I0 _廠建好的 製程try過比較沒問題
6 i8 U% ^0 k% Z: s- {  b7 d- t% m1 I8 a3 O. ]% F
自己寫一個spice  model  容值抓抓看8 q* o. s+ ]( W) J7 P: ~# U
, m4 T7 _7 w! c, A' `3 ?
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
, W% d$ a' I, ~* y; U可能任何工艺都有这个cap,
8 v0 |3 {# u/ `2 D" h0 s1 Q# h$ v' X4 O3 z# p
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,% Q( C5 F7 S8 y9 n; k3 h$ {
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,9 k% K' T5 J3 F
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 # `7 I+ T" k2 U) I, t8 L+ A
. p, k: m6 @3 z5 d+ r) J7 d! o
: Z! F- t$ X/ R
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,* Z0 `- |8 A3 p! B2 C$ ^* j  V7 X
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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