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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
! Z+ I$ l& W3 L7 m  ]# T7 V畫的 每間蓋的layer 也不一樣
/ ?$ U# O4 C7 l/ a廠建好的 製程try過比較沒問題" x% T; h1 H, Z) t! k3 K

1 o! {* g9 {3 ~8 Y自己寫一個spice  model  容值抓抓看
; P$ A- V& D3 r- o3 B9 Z" H. m& s) E1 V3 p0 }, x8 w4 G
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
, e& d; z$ f9 y可能任何工艺都有这个cap, 9 L' t0 s) ?3 ~) Q. [9 O$ o
! s& N: L) i% K* S' J! C
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,) }# |0 ^- ]% O9 }
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
+ g* o$ m) E$ Z! G2 NMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 2 q' |+ u6 x  ~# P* y& S' C( B
8 |5 Q/ e" w* ?; T, r" B4 ^8 Q
4 r6 I, n% d7 r* S- s. ]
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
# X' z& H5 S. K8 Q& e( E  E    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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