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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用2 S8 G* G, i8 O% a8 B& T+ p/ A
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
" @0 n4 j; Q, S5 Q# E! ~$ C$ ?廠建好的 製程try過比較沒問題, g- l' Q3 m- q1 _2 b1 K( x
% y: ~/ T. S: l& r; y' c- R0 q. j0 [% s
自己寫一個spice  model  容值抓抓看2 ~  S8 T+ J7 A/ X
/ u8 m% {( l$ Y8 ]2 [* v
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,5 |8 o( B* K7 r! P, a5 h1 Q) v: }
可能任何工艺都有这个cap,
! j% r9 ~; A# C3 P( [2 W  \6 ^/ @
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,7 J. l5 w, Y- a8 L4 x# m" }
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
6 e# ^, Y6 m" W% Y' W3 W8 f0 cMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
/ r  z; L* D  L7 }' H
8 U3 D' D4 Y6 v) j; J" L: O- H5 v5 Q, g9 A2 H* }/ d
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,( p+ |$ a) Q! ^; M1 @& p' u
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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