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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
, v9 \8 N2 g+ ^" a# I+ P' o( x) c畫的 每間蓋的layer 也不一樣
! E5 ^, ~. X: O廠建好的 製程try過比較沒問題
6 T+ ^4 d- {' g$ q2 _# O
* [- u+ o; m0 [& U7 p; H! Y自己寫一個spice  model  容值抓抓看
* \; n. Y: R- r0 O- N# I
9 m0 P" L7 j/ {/ p# I* ZMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
5 h( N/ d8 g& F/ N4 H$ V! \/ B可能任何工艺都有这个cap, 5 E# J1 r( ]1 x" [1 F

& U  ?% e9 M+ G& ^4 W0 wMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
+ c/ g9 F& j, w* z+ f: M: }5 Q由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
1 F7 w) ^$ A1 B8 R6 NMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 8 h6 o, D5 ~' [3 z0 L: a/ M* G

; l2 h# O( g8 ?, @7 g5 O1 f  _6 Y% l4 [. q
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,, z4 J5 Z( Z& a) S7 e* _& D6 i5 `. A
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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