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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用7 |# o  B6 ]. b; q% u
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
- v8 e' W2 x* ~廠建好的 製程try過比較沒問題
# Z2 c8 b( M( }8 x4 c1 X. K  o) z
0 b9 N* y4 L6 q自己寫一個spice  model  容值抓抓看$ Y5 I8 K. z$ @# l/ B+ w3 b

1 p% q' E2 R+ k$ m% VMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,. {) {# o; ]" w; \/ h
可能任何工艺都有这个cap,   X- G1 C) b: M: H* R( F

1 F3 i6 O" u7 X/ \7 K, a% \$ B6 eMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
# i5 I- e8 `. `- z8 A  w由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
3 }" V6 v9 H- w. Q. uMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 3 @% M( u- R% ?9 f, }( R

' q2 K4 ?; D0 {8 W- r. n( j
0 a- s, z: c9 T* Z# Z2 U9 @- i    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
$ x; P* w, U  m9 W& a* _    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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