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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
, x5 {6 O$ l' V4 f1 F- N畫的 每間蓋的layer 也不一樣
' U4 _1 Y* n$ I* k" ^3 e) u廠建好的 製程try過比較沒問題$ E8 D; |: d- g% @2 V

* h$ M4 k! N4 X4 t) m7 i3 T0 k& ?; C自己寫一個spice  model  容值抓抓看4 J" @4 X1 H* M6 o- Q) e1 Z1 O

0 Q3 x' E6 }( @* s# s# W4 }6 xMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,0 L2 \# P/ p2 x. R$ J  D, }; h
可能任何工艺都有这个cap, 5 h7 j  j9 w) j
$ T; t. _5 ^- e8 ~2 H  X8 L7 T
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
5 u) |6 C4 t' E. S, ?% l6 p由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,9 r& {8 s" E9 h1 X& z6 ]
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
2 Q# K/ F" Q* D+ B8 c# f3 s/ W. D- L7 J# Q( m( _

6 ]7 H  H9 @4 o/ T' Q- @; L+ m    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
1 D0 X9 t) H( W3 Z9 i    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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