Chip123 科技應用創新平台

 找回密碼
 申請會員

QQ登錄

只需一步,快速開始

Login

用FB帳號登入

搜索
1 2 3 4
查看: 16314|回復: 2
打印 上一主題 下一主題

[問題求助] MOM電容佈法

  [複製鏈接]
跳轉到指定樓層
1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
分享到:  QQ好友和群QQ好友和群 QQ空間QQ空間 騰訊微博騰訊微博 騰訊朋友騰訊朋友
收藏收藏 分享分享 頂13 踩 分享分享
推薦
發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用+ V8 y% B; P5 P, m& n) V
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
1 J. K, y; E& K* z5 J% b廠建好的 製程try過比較沒問題
8 b2 O  I" i6 Y: P7 h' _' g
  x7 ~8 S& d! N5 d自己寫一個spice  model  容值抓抓看
9 o; C  P) M) Q- I
+ P1 M. w* v1 k/ C9 E8 MMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
+ b+ q6 p0 M, h8 }1 D. d  M" O可能任何工艺都有这个cap,
. R. \5 I/ t; W) J. @6 W/ _, v8 U0 z  Y( E
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
6 ^( C( B6 x) ~+ n7 T! r, A由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,/ x4 R& e# T0 {* L3 R2 y
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
回復 支持 1 反對 0

使用道具 舉報

2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 # h7 o: `# y# {9 m) e; R3 u; E
7 T$ ~+ H" L# m3 g. Q- J; U

/ R0 ^+ C9 l) E, c# w$ \    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,/ K9 ~/ n/ G# @; M8 z2 k
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
您需要登錄後才可以回帖 登錄 | 申請會員

本版積分規則

首頁|手機版|Chip123 科技應用創新平台 |新契機國際商機整合股份有限公司

GMT+8, 2024-12-10 11:15 AM , Processed in 0.160009 second(s), 19 queries .

Powered by Discuz! X3.2

© 2001-2013 Comsenz Inc.

快速回復 返回頂部 返回列表