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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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推薦
發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
, K" Y$ b9 ~3 R畫的 每間蓋的layer 也不一樣
. }  }! {. u* Y! r& _2 b廠建好的 製程try過比較沒問題
9 w1 x8 U8 h( |) o. y9 Q; X; t/ u: A* C. e
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
6 j& b* }) C0 M4 q8 ~3 {. u/ Q$ N2 ~# ~. Z1 E7 s- j7 M( |4 d0 l, `
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap," f/ q- V. W- n
可能任何工艺都有这个cap,
2 i& ^- P9 q/ C4 J2 ]5 f% V5 [2 t9 X7 S6 o& j+ T
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
0 @  g1 Q& G9 y6 F由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
$ T; x0 L& K3 ~, }" c# kMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 ! ]  p: ^7 Y, V& q: @$ N

: w1 n" t0 t) z
/ `! ^0 p2 J2 }+ v  C$ Z    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
4 i3 p5 e  L, t& B    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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