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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用; M# c5 W: A9 E' j- d/ b
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
' z& U* O& w0 c; P% p% c; g廠建好的 製程try過比較沒問題# Y" u7 f, L( q5 U7 u# q4 T

/ w7 l5 T& e1 @8 \( Z+ W& }8 `7 a自己寫一個spice  model  容值抓抓看
, }$ f$ r% H0 Z7 O+ G
- F0 ^/ A$ c/ v: N( \: d1 Z6 v1 lMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap," A' B; G( R4 t7 a
可能任何工艺都有这个cap, 3 m* O* _) A5 Y1 L  O
) I' e& B4 v+ o% Y" |0 L
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
; A1 ?, p/ Y. z8 J+ P$ a4 y5 a7 E由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
& ?& ]" K2 H$ I4 D, }! F5 oMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 ! g! ^9 h5 \, s, a: L, \

9 d  a8 @& [( C# q) U- O% ?' r9 {# `1 P8 J1 _2 C+ f. H4 L. n3 j
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
7 z% z1 d* z$ r- n; U$ s5 g- v# m2 s% k6 c; V    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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