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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用* G- Q- I' F0 U9 s+ K; r7 P/ s
畫的 每間蓋的layer 也不一樣2 d7 |' z. p) }" n* V/ o" h' j+ b
廠建好的 製程try過比較沒問題% l# W' Z/ L4 m9 `! N

# L4 ~% ^- [# g' \+ f3 |自己寫一個spice  model  容值抓抓看
/ d6 U5 a5 W& Y1 q. B) k+ M" O- Q# w: h/ X- Y
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
; L$ {- ~( r) `/ k9 E  Z$ w% i可能任何工艺都有这个cap, 3 v' @7 E; u' I5 s5 b$ u7 ]

" [* i" u: ^$ jMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
3 C( l8 v2 J! l- p: v由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
- B8 F* a7 l0 c( ]0 DMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
% T& r6 @$ K# S1 c3 J: T  q) E& m  c' `; \9 g

$ I( L+ c  g% ]    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,4 z7 B4 u) \6 ~' C% e: I
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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