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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用5 |8 o& h5 o! i
畫的 每間蓋的layer 也不一樣! @/ L1 C) g2 L* y* E& O; ]
廠建好的 製程try過比較沒問題
5 z3 M/ O) d) n" K) @; i8 |( b0 p/ b# j/ ^0 s
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
8 @* v  U4 p' n5 u  V: M
' Z; u0 R/ r  C% y5 z/ |3 nMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
" f7 J5 N$ G) E: F% L  {5 x# V可能任何工艺都有这个cap,
, y  @  s0 p, M. V  l/ j9 u
5 Z& i: ?0 }+ L+ x, nMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
1 e* P+ {/ D' ?6 V由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,; V* E8 A6 w8 O, O
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
! B0 o8 ]3 z! {9 _0 u$ S  h% B7 @& ?( S8 x) B1 e' b
! R5 Q, a: @5 k; D; g5 C- G
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,. w0 n& O! g/ E& b' ^
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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