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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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推薦
發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
' _: ~5 H( R9 R4 t, Y* e畫的 每間蓋的layer 也不一樣$ _4 T4 H8 n# G% N4 C& ^8 x: ^
廠建好的 製程try過比較沒問題5 v% |( O& a: f

8 z1 b% p# E7 I5 W自己寫一個spice  model  容值抓抓看
' u" _2 O8 `7 a4 X+ g* c; N- R0 d
' N" d& K! V- A9 ~2 FMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
( J# f$ c- k# [" ~8 m0 G- t可能任何工艺都有这个cap, - v! s9 t" U( {  r  u

. W) W0 C% k% k4 zMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,# U4 C/ C* y( T7 W( f1 w5 J% p, H
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的," v7 i$ K5 e' V# k" l  d
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 4 J4 s* Z, J7 R3 ]
" b+ N8 W; s1 s' }" {2 e

, g! P6 G. V# N, a) ]    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,% X8 T$ V) N3 U! I" p5 t& |3 [+ e
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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