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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用& u' E- l  p3 V0 e6 p
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
* I0 M2 C1 A- a, t2 i0 ?廠建好的 製程try過比較沒問題
# r' @, `# f$ A) b6 M8 [( Z) B. o  [4 J! V! J
自己寫一個spice  model  容值抓抓看- m/ l* ^& R, j( i

$ ~& o8 l$ C( n* \# RMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
. r  T2 u: P. X' U' \& h. q可能任何工艺都有这个cap,
  E$ j, }& ^$ {: a
2 S0 h7 ]# c; F$ k7 O& W) KMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap," M8 l; T4 b( j! A3 I1 \' a, _
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,! u' ~/ H! r0 X# q6 b( l
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
$ C! B  h$ ^3 r2 R! P
- T* ?% L1 J+ c4 I. \$ [
  g' U1 u; [5 Y8 D% G8 ]" m    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,5 _2 p5 A' L' Q% p+ k3 S# T' _
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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