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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用  l7 T* c. M: q8 `4 l  B
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
/ V. i+ t6 m* c" }' r  m/ I廠建好的 製程try過比較沒問題+ J* q0 b# C5 f
. F# G4 x# B9 N% s6 g/ o1 t
自己寫一個spice  model  容值抓抓看; i; _/ J9 W7 Y/ X0 a7 O

# o6 j  m. f# N/ xMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
2 i; v' f3 i9 K8 u+ `' e$ V& v可能任何工艺都有这个cap,
6 ~+ {; I' y6 R3 C% r9 V6 e2 L: T/ ^  e/ u* F4 _) I; l9 T
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,, I! G% s4 m) k6 f
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
- K. K3 g  I! q' J! ?0 oMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
( ]; {; u) d4 _' V
2 `0 d* l- A8 E
/ Z9 F$ `1 ~. L" Z+ _0 P    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,; [' M3 b1 M+ r' X1 i+ ^0 q
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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