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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用( D' B! B. _( C( V9 q" r' ~0 _
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
. E, h8 O$ W0 s  D廠建好的 製程try過比較沒問題
5 z% V7 w; \5 ?! z. O' o
$ b9 p5 A5 Y$ r! |1 \7 k自己寫一個spice  model  容值抓抓看, k* {( Z7 ?6 Y- @2 `- E+ J. E( T
/ O0 u# W: W- f- E; r0 G' s. l
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
) e8 f! B7 k9 i* k* n4 A可能任何工艺都有这个cap,
5 Z! ~1 p/ a- k0 G9 a0 T. ~8 f( @8 }
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,+ p1 f! f. t1 s; [( y/ y' t8 v
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,/ k" H% R; y" K
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 $ r4 |+ V' _& _3 `: @
7 i4 f/ _& L  T3 r

6 m$ p/ U3 R& N5 Q( H, O; o; ^    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
" x/ B: m/ u+ O/ z% E    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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