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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用6 J' B# u4 N8 R0 N
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
4 c1 e6 C7 |1 ^- X- w  R" [廠建好的 製程try過比較沒問題
9 M3 c1 f& r8 s& O/ b
1 G7 B4 v  g( W. _# L  I0 |) X自己寫一個spice  model  容值抓抓看& |$ k* A7 r# v* k% t% N
1 j/ U# B+ l8 ~, p/ R' b5 v* E
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,( A: Y% ?  ^3 X0 n' c8 T  o, T7 _
可能任何工艺都有这个cap, ) D9 s7 R  k  D( A. H
$ @5 ]2 k* f3 s9 {
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
# G" g0 }9 K: g" C由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,8 E+ i  J- r3 E8 s
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 0 p0 y) D' a  \$ R# P2 [8 ]
2 T6 q* q" V7 k

6 A5 U, k; K! A. `- B' J; \    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,% S8 x2 E3 X3 a. o1 l
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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