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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
  o1 X  B4 x8 W; n; U' i+ Q8 Y畫的 每間蓋的layer 也不一樣7 A2 y* H6 O8 W( Y. N  l
廠建好的 製程try過比較沒問題" m: ]7 \6 @  _+ v4 V0 P

# h, r/ b7 k" J自己寫一個spice  model  容值抓抓看
+ {  c1 B5 D2 R/ e
5 p1 \5 u1 h7 \7 U4 N* O& ]MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,( |3 W: z6 M7 c# `1 U1 I
可能任何工艺都有这个cap,
+ t0 R' C2 f! o; N+ _% I; a: d
: F% \! _, ]* W+ D6 g- _. n% j7 CMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,+ F0 q% A+ s1 S' N& W
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,9 T; o! W3 u4 q3 E. |
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 * h  O7 Y2 N9 c- ?* z
& z5 L9 E2 v5 e6 F" D2 z% h* f: M

# O9 {+ L4 E# Q, @- I1 \4 N2 g8 ^    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
6 T$ T* h& U& m7 p    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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