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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
: E- K- \! V- k& Q畫的 每間蓋的layer 也不一樣
: j* d, ]# K8 g廠建好的 製程try過比較沒問題
& z: E  ]8 }$ t' G  o: S5 a& o9 y" K/ x6 R1 h( J& b" f# G. E
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
4 m2 d1 M  w; j; t$ P. R
( k" @- t8 o* R( P/ S# E  g6 }MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
7 \# p, }# S& I8 V; L! ?可能任何工艺都有这个cap,   F# g  i7 g( M$ G& A! R5 P# B2 u( d
# @: G# h/ k! C1 x& L
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap," V& t! d7 w. J+ J2 B
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的," q1 U1 S2 c. I# f4 @& P$ _, m
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614 - S, U$ V& h1 ~3 A! ]
" [* R  G/ s5 b% ^) F* M( u2 {
+ t0 U2 K/ y& ?
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
2 r- w0 v, U" K* E: C    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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