Chip123 科技應用創新平台

 找回密碼
 申請會員

QQ登錄

只需一步,快速開始

Login

用FB帳號登入

搜索
1 2 3 4
查看: 15994|回復: 2
打印 上一主題 下一主題

[問題求助] MOM電容佈法

  [複製鏈接]
跳轉到指定樓層
1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
分享到:  QQ好友和群QQ好友和群 QQ空間QQ空間 騰訊微博騰訊微博 騰訊朋友騰訊朋友
收藏收藏 分享分享 頂13 踩 分享分享
推薦
發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
. y+ Q4 _4 |2 C7 ^8 X( j( y/ a5 g畫的 每間蓋的layer 也不一樣
$ G' ]. L1 d) d+ G% _- x廠建好的 製程try過比較沒問題
8 S5 z4 b1 b5 M# f& ~
: E' J- N8 l1 v( `7 c自己寫一個spice  model  容值抓抓看5 {5 Z. r. r  q
/ z2 i7 V' o. j: G8 i# c( U
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,/ H- X3 k( [% R; ^1 y
可能任何工艺都有这个cap, , A2 z1 G  R' q8 g- T$ {; d
. T) {3 l& |0 k. n+ K4 Q
MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,. P0 U" g6 C; M& K2 [5 \  |( s4 O
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,. u5 }( e9 A$ c2 N
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
回復 支持 1 反對 0

使用道具 舉報

2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
0 J/ x1 P# g: W) z" [3 l3 I5 Z7 m5 d7 y$ d& {& P  t: N5 n

8 g' d( y8 d& o    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
, B9 v% Y5 s+ h    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
您需要登錄後才可以回帖 登錄 | 申請會員

本版積分規則

首頁|手機版|Chip123 科技應用創新平台 |新契機國際商機整合股份有限公司

GMT+8, 2024-12-5 05:35 PM , Processed in 0.164009 second(s), 19 queries .

Powered by Discuz! X3.2

© 2001-2013 Comsenz Inc.

快速回復 返回頂部 返回列表