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[問題求助] MOM電容佈法

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1#
發表於 2014-1-23 00:05:38 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
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發表於 2014-5-21 17:51:39 | 只看該作者
有 froundy  kit 就用
  I3 \) Z' }3 P+ h  S畫的 每間蓋的layer 也不一樣* R1 _% M& [$ W, r) O: ^
廠建好的 製程try過比較沒問題0 V+ y' C# E# a) M! s5 K

: H& Z" T- H, e5 A; h, F# w4 @# Q自己寫一個spice  model  容值抓抓看) m. [# |$ M' r1 _' P
6 _) z! c: u$ Z# P7 k, `/ p
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
) o/ P9 u: M. o" l; [可能任何工艺都有这个cap, 7 ^6 |1 l6 D1 e

, X. X9 V  F3 n' g/ @4 C1 y' }MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,! T- u0 T' {7 W+ E$ u
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
+ U' _- B, P* {3 A3 VMIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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2#
發表於 2014-1-23 14:18:05 | 只看該作者
回復 1# r2583614
  S' U0 Q! a0 `( Q, ~" I; K
9 f. G7 C( F+ N9 T# V
+ ]! w7 j) Q) s4 \% o* ?4 t    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,' k' l0 i8 C0 I3 A9 L# w
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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