本帖最後由 bowbow99 於 2013-7-22 01:45 PM 編輯 " k' [" G! g4 X
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個人的認知與看法!有錯請指點一下!' b& L& l2 n8 f+ Y
, K' x! [1 {( e. {' \2 V有蓋OD2的OD會變厚,我也認為跟樓上2. 3.點差不多! # U x# ]( F1 R: Z0 o7 m( U8 s* d$ X# [3 D m- t7 o+ ^: U
蓋SAB會檔著Salicid的形成,使阻值比較大!如POLY電阻有蓋就比沒有蓋的poly gate大!, v, P) L- g \: u
能不能計算電阻!我覺得是由另一層Dummy Layer在計算的!只是蓋的範圍跟SAB一樣!