MEMS為新一代感應器開啟一扇門

jiming

微機電系統（Micro-Electro-Mechanical System；MEMS）是一種結合光學、機械、電子、控制、材料和化學等多種科技的整合技術，主要關鍵技術包括微感測器（Micro Sensor）、微電子（Micro Electronics）、微致動器（Micro Actuator）及微結構（Micro Structure），並結合IC製造技術，將機械與電子元件融合於單一晶片，實現SoC理念。近年來半導體製程技術日趨成熟，使製作微機電元件之可行性大幅提昇，促使應用技術蓬勃發展；對於整體市場發展方向，拓墣產業研究所劉舜逢研究員指出，可分為微機電系統、微機電元件、設備及材料與化學四大區塊，台灣挾晶圓代工技術領先全球之優勢，CMOS製程為其主流製程技術之一，與製作微機電感測器元件相容性高，目前已有廠商搶進佈局，鎖定方向包括微機電感測器╱模組（如壓力計、加速度計）及微投影顯示器，台灣若能以CMOS製程大量生產特性，結合微機電技術製作感測器元件，深信在製造成本上將是另一競爭優勢。

8 d" C1 ]) f% N矽材質之微加工材料將成市場主流

3 C  L, h& x$ _! A* K製作微機電元件之主要材料依出貨比例排名分別為矽、聚合物高分子（Polymer）及金屬三大類，由於矽材質本身具有極佳機械性質、電性及耐久度，加上全球微電子產業已投入龐大資金、人力，建構完整產業基礎架構，且許多微加工製造技術多衍生自微電子製程如微影（Photolithography）、薄膜沉積（CVD）、蝕刻（Etching），種種跡象顯示以矽材質之微加工材料將成市場主流；至於聚合物高分子則因材料成本較矽材質低，適合於大量生產價位較為低廉的微機電裝置，如可拋式血液測量等，市占率超過20%。

拓墣產業研究所也表示，半導體元件使用矽材料已逾40年，以矽為材料對微機電而言相當合適，由於單晶矽結構具有不易折斷之特性，用來製作機械元件有其益處，如在機械運動時極具可靠耐用度，此外矽單晶材料符合Hooke's Law，表現上幾乎不具彈性遲滯效應及功耗損失。

* A+ X! |. O3 R/ S2009年消費電子將成微機電重點應用市場
6 ^8 O# \; C% V! ^/ d% O8 k$ x
隨著以矽材質為主的微加工技術已然成熟，以及Wii與iPhone熱銷效應趨動，微機電感測器近年來正逐漸從汽車工業轉投入對尺寸、價格、功耗要求嚴苛的消費電子懷抱，在此同時，許多微機電元件製造商也將產品線移往8吋晶圓廠，並投入相關測試、製程、封裝等技術開發，對於未來微機電產業的發展趨勢，拓墣產業研究所研究員劉舜逢樂觀表示，2008年全球微機電產業預計接近73億美元產值，年成長率11%，未來三年將持續保持正向成長，2011年產值更將突破百億美元大關，應用範圍也將由光學產品、感測器、噴墨頭，擴展至RF開關、汽車電子、麥克風、投影機、人機介面裝置、網路通訊、電信設備，甚至生物科技、醫療技術等不同領域。

4 @8 f: w  Q) Z7 ]' X而從微機電之應用產品組合來看，消費電子領域在2009年將有令人激賞的表現，根據國際研究機構Yole Développement資料顯示，應用市場比例將由2004年的6%，大幅提昇至2009年的22%，其主要動能來自於行動電話、行動儲存系統讀寫頭保護以及大尺寸高畫質電視，這些消費電子的銷售量將帶動慣性感測器與微鏡裝置之市場規模。


1 ?6 M/ \! p1 e/ u  V
  G+ P; A% O& y3 p6 b2 l0 m, x回覆後有：15家台灣廠商於微機電市場佈局概況

遊客，如果您要查看本帖隱藏內容請回復

chip123

根據Frost & Sullivan的報告指出，想在昂貴客製化產品的市場中獲得機會，微機電系統(MEMS)測試設備應該發展具有成本效益的標準化技術。
9 @' {" t+ ]4 ]) k- \
5 l- Y2 C( y- Z- G# i　2007年全球MEMS測試設備市場為5650萬美元，2014年將至成長1億2020萬美元。但目前工具(高達100萬美元)的高昂價格嚇退了許多的MEMS元件製造商，而從供應商所要求的沈重客製化需求也進一步增加了成本。此外，現在的微機電系統測試設備缺乏多功能性，大多數不是只有電氣測試就是機械測試，而日益複雜的MEMS元件也將進一步帶動低成本製程的成長。
% D. Q. v: o. Y6 h! {
% b+ R4 m' z7 m" S. S　報告顯示，大多數廠商不願意使用微機電系統測試，除非它是不可缺乏的，而大部分的最終用戶不知道其重要性，並對晶圓級技術和微機電測試僅有「很低的體認」。
& m* G0 y' [+ a+ u
　Frost & Sullivan分析師Sujan Sami表示，「在現今的市場上，如果一片晶片成本為0.5元，那麼光測試的成本就高達0.4元。」因此，市場應該大聲疾呼低成本的測試設備，這個需求將「強制促使測試廠商在這方面進行更深入的研究。」
" C5 E0 l: J% l1 W& t　
　為了克服市場的看法，測試廠商應著眼於教育客戶並解釋使用微機電系統測試的好處，這將有助於「大幅」提升客戶採納機率。而一旦標準化提高，成本將會再下降。

conradalf

台灣MEMS公司:
, f  C/ J  f% q- f8 d全磊微機電, 設計,製造壓力感應器及溫度感應器! 位於新竹科學園區 www.metrodyne.com.tw
感測器量測範圍1 to 500psi

chip123

台灣的 MEMS 廠商清單呢？哪有比較完整的呢？:o

) l( r3 C) ^% `. r! ~各位MEMS同行們,國內MEMS的圈子不是很大,但是正是如此,會讓我們更加緊密的聯繫!通過添加你所瞭解的MEMS公司及研究所資訊,讓大家對國內及國際上的MEMS行業有所瞭解!
' |$ |; b* \, q8 I4 l希望我們共同努力, 團結就是力量!
7 D# H  _# @5 s" f/ R9 N. n
華潤半導體（香港）有限公司MEMS部門！
0 M1 A& {9 T/ A' o5 v& ~美國Terevicta製作RF MEMS 開關！
無錫美新半導體有限公司

$ @3 A- s- h: f美新半導體有限公司
提供基於CMOS工藝微機電系統（MEMS）技術的加速度感測器和其他感測器的主導供應商
是一家從事製造、研發和銷售微電子機械集成（MEMS，IC）科技晶片的半導體企業。美新公司是全球首家將微機械系統（MEMS）和混合信號處理電路集成于單一晶片的慣性感測器公司。通過結合標準CMOS流程，美新公司已經成功生產出20多種更低成本、更高性能並處於世界領先水準的加速度感測器。此外，通過運用標準CMOS工藝技術，使得嵌入附加功能或創造新產品時顯得更加容易；並且使產品能夠延伸至除加速度感測器之外的其他更多的MEMS應用領域。
3 L/ W. u4 K$ i' ], Y; E美新公司的加速度感測器又被稱為慣性感測器，可用來測量傾角、傾斜、振動以及慣性加速度。任何要求對動作進行控制和測量的應用都是加速度感測器潛在的應用範圍。美新的加速度感測器以優異的性能和低廉的價格成功地打開了許多前所未有的新興市場。美新半導體有限公司將繼續以“不斷創新、和諧合作、全心投入與堅持不懈”的精神開發新工藝和新產品，開拓新的應用領域，使其成為微電子機械積體電路的行業領先者。

意法半導體
0 [% e3 }1 w# \呵呵,這個不用多說,龍頭級MEMS公司!估計未來的幾年裡會引領世界MEMS!
3 `% \5 R. P: @. ?4 W7 }9 V山東歌爾電子,研發MEMS矽microphone的!
' ~9 E( b2 c' e4 R9 \' e/ f' A北京北大青鳥加速度和壓力感測器的研發!
北京國浩研究所,關於MEMS磁敏方面的研發
博世感測器公司(Bosch Sensortec)半導體
蘇州樓氏，ＭＥＭＳ麥克風用了好久了，摩托羅拉Ｖ３系列用的就是這種麥克風
- V# H# a; L1 nHP做MEMS打印頭的公司！佔據了MEMS市場的大部分分額!
' ]/ i3 g9 y+ N東莞泉聲電子有限公司研發、生產MEMS矽microphone 及 感測器
$ X8 a4 g* ?$ H* Q& X& k; ~( g
Infineon
R&D: Tsinghua UNIV.
Beijing UNIV.

呵呵,大家一起來啊!