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[問題求助] e-fuse?

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1#
發表於 2007-8-22 16:35:22 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
最近常聽到 efuse! 所以想問一下有試用過的人!!6 j2 Z! p7 X% Q. `. l3 t
其原理和優缺點是什麼唷?9 C) {& g% ?$ w
一個好奇的人想要知道唷!!8 @: Y4 q6 _7 ]
' y+ A: U2 I+ l" j* j
以下是 Fuse & Trim 的相關討論:8 ?- |' K2 A* I: K) f5 E
poly fuse 的問題 7 Q$ u" X9 @- |, c' `9 B6 i
poly fuse 大約多少能量便可以燒斷?
6 ^" ]; O% `* W' C7 a3 r如何判断poly fuse 已经blown  + Q: ?/ b9 K4 b/ s  e! Z8 M3 c
有關poly FUSE的不錯paper給大家參考  4 ]6 d$ J) _( B. i- H# {% h
Laser Trim 0 [6 S3 L! |4 r; I4 Y9 K* T+ l
做完laser trim後內部的電路被打傷的情況嗎?  
; H( _! B! P: f& uTrimming method?   
# n$ g6 a4 k2 W5 O# c/ g  |  `Current Sensing Resistor Trimming!!   
/ W( z5 }- r4 P9 _9 k) A) ~请教做laser trim的注意事项  ) k7 A: c: |1 T9 R8 U" w+ S2 }8 r3 p
Current trimming 要如何做呢?  / o4 T$ L$ {' `4 x
3 U9 y/ T1 e2 F+ S; \8 w

# ^. _$ W5 ^" z4 u  C' m
; ^) W5 C0 r2 M

) f! v- B) o; G. @$ @( m0 V[ 本帖最後由 sjhor 於 2009-3-17 06:40 PM 編輯 ]

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monkeybad + 3 有什麼問題大家一起討論啦

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2#
發表於 2007-8-24 00:12:49 | 只看該作者
這是在網路上找到有關e-fuse的解釋:& A+ E" R3 x' ~/ f/ p( Q
A method of using an e-fuse device is provided. The e-fuse device includes a poly-fuse having one end connected to a source/drain region of a MOS transistor and the other end biased to a voltage (VFS). In operation, a gate of the MOS transistor receives a step waveform pulse signal. The step waveform pulse signal encompasses a pre-heat voltage (Vp) at a first level during time period (T1-Tp) and a maximum input voltage (VIH) at a second level during time period (Tp-T2). The pre-heat voltage (Vp) is smaller than the maximum input voltage (VIH). The step waveform pulse signal is confined to a minimum input voltage (VIL) before T1 and after T2. Preferably, the time period (T1-Tp) is longer than 5 μs., C2 Y  `# j# c1 o# {
$ B) ^5 S! _; w! ]
個人經驗:; S8 w- Z0 I; a- D
原理就如上面所提,它算是一種類似保險絲的被動元件,可以由外部來設定為"1"或者為"0",而設定的動作在我們拿到wafer且經過初步量測後即可作設定的動作,再者,它只能用一次,設定後便不能再更動
6 Q* _" e( i5 b* B$ k) \. z, j不過,要用e-fuse要看製程廠本身有沒有提供這種元件,如果製程廠沒有這種元件的話,那就無法使用,只能使用變通的方式,如metal option& f4 ?. u) ~) s1 {3 e  v1 X/ W

! O7 J  v8 [. o% E/ Ke-fuse的應用還蠻廣的,舉個例來說,我曾作過一個2.8V ~ 12V的LDO,它的輸出電壓可以由外部電阻串接變化型的,如輸出電壓由1.8V ~ 11V由客戶自行搭配組合使用,也可以是直接由內部控制固定電壓輸出型,如固輸出1.8V,2.5V,3.3V等電壓,以應用來說,它是四種不同應用的電路,但以公司成本考量而言,它希望電路只有一套就要能夠符合上述的所有組合
8 C0 f% e# N& L* Z2 j! |所以,我就必需設計出可以符合上述所有變化的電路,而不同的組合變化就由e-fuse來設定,如果今天要出可以由客戶自行搭配的LDO,那就燒掉其中一個e-fuse,如果今天要出固定1.8V輸出電壓的LDO,那就燒掉另外一條e-fuse,依據不同組合燒掉不同的e-fuse
: x9 g" [" s$ N6 @. \如此一來,GDS只有一種,光罩也只有一種,電路組合與應用卻是好幾種,而這就是e-fuse的優點所在,以最少的成本卻能夠得到很多種的組合變化

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monkeybad + 3 Good answer!
sjhor + 3 不錯!回答的相當好!!讓我長知識!!

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3#
 樓主| 發表於 2007-8-24 09:32:49 | 只看該作者
這邊有一篇IBM介紹 efuse 的文章 相當不錯& W+ `! z6 I% U( j% ~
5 [% T0 C+ [0 U; H1 K, R
介紹給大家唷!!4 t5 c( b4 m5 R
8 A# R- a5 R! A4 r! X- D2 q
[ 本帖最後由 sjhor 於 2007-11-19 09:37 AM 編輯 ]

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x
4#
發表於 2007-8-30 04:35:09 | 只看該作者
大大的解釋說明,好詳盡。$ V3 \$ r5 h6 e0 \1 J
但e-fuse主要還是用在客製化的產品和需要驗證的產品。+ W' f& b: U1 \, u2 X
若將e-fuse常用於產品中,會增加die size的成本。
5#
 樓主| 發表於 2007-8-30 09:21:07 | 只看該作者

回復 #4 JohnsonLLL 的帖子

我想 e fuse 的好壞需要與傳統的 fuse 來比較!!- c& Q6 W2 p" {3 k
傳統的 laser fuse & current trim fuse 在網上已經有相當多篇的討論了!!
! B' T' L+ J% W" l5 olaser fuse 其 chip size 增加較小  但是要用 laser trimming 的機台  這也需要費用 還有 laser repair rate 的問題。( p# r! J$ h. f; ?. X
Current Trimming 也會增加相當多的 chip szie 也是會增加相當多的成本!!
( I' r# O9 k; F& u8 i- G$ |: m# |
0 A2 g8 D+ b' W2 x# R) a- Y: n目前比較不了解的是 e-fuse 是不是有比較佳的成果!!
6#
發表於 2007-11-17 17:21:50 | 只看該作者
請問我已經付完了~~為什麼也不能Download呀 ?   D- u, b+ @) @6 n+ U  o: ^8 V5 T  F
請您寄至小弟的mail可以嗎 ?8 R4 V0 ~( Y7 N% I
antigm@pchome.com.tw1 ?( k3 ~6 [! S2 p& I
謝謝~~; ^2 B' ^$ v4 ~8 e8 z
# b8 r2 [3 s1 k3 s8 Z$ _, `) e
原來權限=20,現在成10了。( b/ b' P7 i/ y4 o2 V: N
! h4 J4 U' A/ v
[ 本帖最後由 sjhor 於 2007-11-19 09:40 AM 編輯 ]

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sjhor + 1 全線已經改為10!應該可以下載了!!

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7#
發表於 2007-11-19 16:09:51 | 只看該作者
goods, thanks a lot, I like it so much...
8#
發表於 2007-11-20 01:11:03 | 只看該作者
推  : _$ \# e% w/ z
好文章  就是要拿出來大家分享5 w  F2 Q( ]9 [! j/ l  A
這樣台灣的rd才會變強
9#
發表於 2007-11-20 14:02:51 | 只看該作者
不错的技术讨论,也想增长一下fuse方面的经验,谢谢各位不吝赐教.
10#
發表於 2008-1-12 01:41:29 | 只看該作者

回復 1# 的帖子

一般的fuse 是由一條條的 Metal 電阻或是其他種類的電阻所構成的邏輯電路1 M2 ]/ |/ H* Y: |  R0 t- g9 f
當CHIP Power up之後, fuse ckt的output會被keep在 high - I9 x( [( t+ O1 ?* X
直到你需要去 trim timing或者是 voltage的時候 把相應的fuse用 Laser打掉( {1 [6 r) {# `. e7 D% I4 y. ?
讓 原本輸出為 High 改變為 Low準位  從而改變 timing或是 voltage
8 G: g3 I8 D( b! x' g/ Q' R& R8 A0 B. `5 w1 b$ o
但一般來說這種作法 需要測試工程師在機台上去打, 如果 貨交到客戶上才發現
: D# ]% I' F: o8 Itiming或內部電壓需要調  甚至是有 ARRAY CKT Cell fail時  (這是惡夢!!)( `6 g) _+ C6 B
這時候你如果有 e-fuse 電路   就可以用  高電壓來取代 Laser
% s- F4 a- J7 u5 k2 [1 F% h把 fuse 燒斷, 達到你想修補 fail Cell, 或者是 trim timing 及電壓的目的  U, D7 \: A8 ?) O0 j# x
6 o% R" v7 \: Y( {+ S" i
但是一個e-fuse電路 相對於一個一般的fuse電路來說 面積會大很多
/ i( s! b. A" Y3 C! n, h基於殺雞不可以用牛刀的前提下,  e-fuse電路必須要用在刀口上才行

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11#
發表於 2008-1-16 09:40:27 | 只看該作者
就我的認知,e-fuse只是一個有別於傳統laser trim之方法的簡稱
3 A( F7 C/ S5 A* j& {& f) b( [- m實現的方法有許多種
# k0 x0 E  e& L9 N: l/ W3 H$ O1. 採用trim pad : 利用大電流燒斷metal / poly 作為 0/1 的信號: p$ x% n' F9 u% I0 R  V9 |+ w
2. 採用EPROM/OTP(含1P OTP)/FLASH/EEPROM 等元件當作是 0/1 的信號
2 N* L8 n8 b" O* C7 B. B    在power on時讀取data,力旺的IP即是以1P OTP當e-fuse

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12#
發表於 2008-1-23 10:42:18 | 只看該作者
It's wondful,I'm intersting it
13#
發表於 2008-1-24 13:06:22 | 只看該作者
感谢感谢,找很久了...................................
14#
發表於 2008-1-30 11:08:29 | 只看該作者
e-Fuse在實際的產品應用上,其實是利用高壓在測試階段將所需的狀態改變,利用高壓將資料寫入。
8 N6 P: i, U! S) s) t+ ZPros:
% Q1 _) {& G  P1. 不需在FAB改變Metal層, 方便使用8 n9 {8 V8 c% a# X! o; Y& k
2. 可提供一些model差異化,不需用bonding package去做
, c+ S( ]. g! [! a( [+ n3. IP容易取得: G' e" d2 {) o7 v- s4 f

# |' t( G  @: p( eCons:
8 Q& k" i2 Q* s' n/ ]. M$ F) \2 }1. 只能寫一次,不能再改變3 W! M/ S; N/ @% y7 P; K
2. 牽涉到高壓方面,有可能影響良率
' e6 q* r: H9 a/ \. J  z
7 Y! }/ v1 T5 _6 g4 K其他技術方面,爬爬上文解釋得非常清楚。
15#
發表於 2008-7-28 08:44:36 | 只看該作者
最近才開始工作,
2 ?3 q: k2 U" [一堆新東西都是當初在學校裡完全沒有看過的# w6 \3 l$ E& z% x; g, c
現在手上又開始要做新產品的design review* }: j: j* f) ]' C3 }  G
偏生這些東西是什麼鳥都還不知道
/ K' j" i- Q# Y剛好看到這東西
- l: @- z/ [6 ~# Y) @9 O+ X一整個大感謝
16#
發表於 2008-7-30 21:35:13 | 只看該作者
非常感謝大大提供這麼好的資料感恩啊 ~~
* E) ^% T. d! V$ I; U謝謝啦
17#
發表於 2009-6-22 15:30:22 | 只看該作者
正在做这方面的,看到的都是传统的fuse,看看这个e-fuse∼
18#
發表於 2009-7-9 11:44:07 | 只看該作者
最近也在做相關的工作,看到了很 metal fuse 燒不斷不現象,正好來這邊學習前人的經驗!
19#
發表於 2009-10-1 09:45:17 | 只看該作者
各位大大....謝謝啦....我最近一直在找相關資料
20#
發表於 2009-10-27 00:15:51 | 只看該作者
感謝分享阿 原來fuse還有這麼多種 真是非常感謝各位大大的無私奉獻
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