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環形振盪器量測功能選項+ m, {- P% K! C1 N- k5 F0 m, L* D
. W* e0 k. ]. N0 S5 L. o全新的高速、高解析度示波器選項支援環形振盪器進行寬廣頻率量測範圍的測試。這個新的系統選項具備高達每秒400千兆樣本的取樣率,能提供大約10kHz至20MHz的量測。隨著愈來愈多的半導體晶圓廠已將環形振盪器納入整體製程監控測試架構裡,參數測試系統的頻率量測能力亦變得越來越重要。 & ?+ j3 p. N4 R8 k1 f! N0 i# @
6 x7 F, U& a' a, e$ N脈衝產生功能選項
) H- r0 P2 A. y7 ~" B. t) H
. M" f p i" }+ V* J隨著愈來愈多積體電路將如快閃記憶的嵌入式記憶體納入設計中,半導體晶圓廠也漸漸將記憶體結構和其量測增加於製程監控行程中。測試這些元件需要輸出使用者所定義的電壓脈衝來進行記憶單元的編寫和消除動作,再進行元件精確的直流量測。為了滿足這一需求,S530採用目前承載電容-電壓(C-V)儀器卡相同的次系統機櫃,來配置兩個、四個或六個通道的脈衝產生器容量,如此它就可產生多樣的元件測試波形,並擴展系統的靈活性。 |
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