GIGAPHOTON開始為ArF浸潤式雷射器用戶提供新功能eTGM

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(20141125 13:56:00)日本小山市--(美國商業資訊)--微影光源設備的主要製造商Gigaphoton Inc.今日宣布，為其高輸出的旗艦GT系列ArF浸潤式雷射器產品的現有使用者提供一項新功能，該功能稱為「eTGM (環保型全面氣體管理)」，現有用戶在一定時間(*1)內可免費使用。
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目前用於尖端半導體製造的ArF浸潤式雷射器利用氖氣、氟氣和氬氣的混合氣體作為雷射氣體，其中氖氣占雷射混合氣體的96%以上。因此，操作ArF浸潤式雷射器需要消耗大量氖氣。然而，除最近氖氣供應量減少之外，烏克蘭（主要的氖氣生產大國之一）的政治不確定性以及今年9月奧德薩州發生的水災目前限制了這一稀有氣體的供應，從而導致其價格上漲。(*2)這對氖氣主要使用者——全球半導體產業可能會是一個嚴峻挑戰。

, @9 I, ~/ ]3 L. i. b0 f' w為了支援半導體元件穩定的大量生產(HVM)，Gigaphoton決定提供其eTGM功能，該功能可使氖氣消耗量減少高達50%，公司的ArF浸潤式雷射器用戶可免費使用該功能，直至氖氣供應再次恢復常規水準。根據Gigaphoton公司的EcoPhoton™計畫，eTGM功能是一項Gigaphoton研發的新技術，該技術可大幅減少氖氣消耗量。該功能密切監測雷射器運作狀態，從而最佳化雷射氣體的注入量和排出量。透過將eTGM功能整合至雷射器中，可在不降低雷射器效能的情況下將氖氣消耗量減少一半。
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% {' @/ Y) J/ b3 M0 t& X' B8 X* ueTGM功能是Gigaphoton公司ArF浸潤式雷射器的選用功能，可以整合到已經實地運作的雷射器中。在推出eTGM功能的同時，還提供一項新的「綠色監測」功能作為雷射器葉片的升級。該升級使用戶可以在生產環境中即時監測雷射氣體的消耗量。

Gigaphoton總裁兼執行長Hitoshi Tomaru 評論指出：「為了支援半導體元件的穩定量產，作為主要的雷射器供應商，公司決定免費提供eTGM功能，以確保可靠的生產環境。我們致力於繼續促進本公司的EcoPhoton™計畫，為半導體產業的環保事業做出進一步的貢獻 。」

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(*1) 公司將免費提供eTGM功能，直至氖氣供應恢復正常狀態；Gigaphoton將決定該功能免費使用的終止日期。本新聞稿中描述的資訊僅在發布時有效，如有變動，恕不另行通知。

(*2) 根據Gigaphoton的調查研究。
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關於EcoPhoton™計畫
/ h( w0 Z1 O: @' }. {+ N( i
: y" h# t6 _) s$ |( S+ c8 \EcoPhoton™計畫是始於2003年的一份規劃藍圖，旨在實現綠色創新。其專注於詳細分析3個關鍵的持有成本(CoO)指標：耗材成本 (CoC)、停機成本(CoD)和環境成本(CoE)。該計畫致力於透過開發創新的綠色技術來實現這些成本的持續降低。
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關於Gigaphoton
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自2000年成立以來，Gigaphoton一直致力於研發和供應能夠滿足用戶需求的高性能DUV雷射光源設備，其產品為泛亞洲地區、美國和歐洲地區的主要半導體製造商所採用。
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# a: d0 z/ O/ z0 jGigaphoton是具有成本效益的、用於大規模生產的高效率微影光源領域的領導者。Gigaphoton懷抱全球化業務願景，力爭成為世界首屈一指的微影光源供應商，從研發到生產，再到一流的可靠性和世界級客戶支援，在其事業中的每個階段都專注於終端使用者的需求。