[問題求助] poly同軸性的問題

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發表於 2008-4-5 00:27:10 | 顯示全部樓層

我的感覺是盡量不要這樣做
因為製程不可能做得很均勻大致上呈現一個梯度的分佈
所以做到同軸心的話可以避掉 gradient type的 Variation
但是 random的誤差還是避不掉要降低除非你用面積去換

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