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標題: 設計interdigital capacitor [打印本頁]

作者: newengineer    時間: 2007-9-20 12:24 AM
標題: 設計interdigital capacitor
要怎麼設計interdigital(指插型) capacitor ?+ z1 M3 z! v* G+ c- g" G
我找到一個公式,代進去和模擬出來有2pF的誤差,
; ]/ T; J8 @5 \8 |模擬的電容值我是看1MHz那一點的電容值為準!: v) y2 k7 s) B. A8 T* H6 `
- S5 P9 G0 b2 B2 W
有沒有任何更好的interdigital capaictor reference可以study !' C3 S% a! A; m. q: ^; j, V& f
thanks all
作者: adele    時間: 2007-9-21 12:12 PM
这个也不大懂,最近也碰到这样的问题。共同学习一下。
: P6 z9 H: D& I* o, Y: h- V我碰到的是这种电容用在vco里,电压对电容的大小有调节作用的。
/ A1 R. F6 c0 R5 _2 Q8 a! F" l. S) f% r下面是找到的一个公式,是否有用?
2 N- V2 b2 m8 M* W# L$ B
# u! h: A4 i% y" ~还有就是,是否这种电容的两端为黑色的两边,电容的大小仅跟距离相关吗,跟两端的电压没有关系?/ j/ `4 q1 T* R9 n* k7 s
这种电容如果是用最上层金属(如M4)做的,那么它的下面是不是会需要M3,M2也以同样的方式连接以确保较好的性能呢?
作者: adele    時間: 2008-5-26 04:39 PM
以前遗留的问题,再顶起来,大家来讨论讨论!
作者: adele    時間: 2008-5-26 04:42 PM
TSMC90nm工艺似乎提供这种电容的model的,不知其他工艺下要用的话,如何自己建cell呢?
作者: finster    時間: 2008-5-27 12:53 PM
建議你在使用公式計算時,一定要參考製程廠所提供的design rule來計算
4 S- |+ F/ \6 l: V2 S8 e4 f" ]因為若是用metal to metal的寄生電容,每一家的製程廠的metal的寄生電容都不一樣,而且不同層的metal to metal也不一樣
$ J8 Q$ N# N+ g: r# D' o5 {- ?若沒有參考design rule,所計算出來的寄生電容的差距會頗大的# o) P( p3 w  J- e+ k2 b/ s. X
而且,還要考慮到mask誤差的問題: H1 {% x/ N0 \1 T6 I1 g
另外,若很疑惑所計算出來的寄生電容值,建議你可以先用layout畫一個metal to metal 電容的cell,然後再抽LPE,看看所計算出來的寄生電容和筆算的誤差有多少,如此一來可以更精確地知道差距




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