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標題:
請問MOS 製成中silicide 是做什麼用的？？
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作者:
hyseresis
時間:
2008-11-21 11:33 AM
標題:
請問MOS 製成中silicide 是做什麼用的？？
請問MOS 製成中silicide 是做什麼用的？？
Y9 A2 H: p1 o& ], a( n2 p
是如何形成？
_& K* T: b6 P, X+ G* ]% |& O
作用是什麼ㄋ？？
作者:
motofatfat
時間:
2008-11-21 12:48 PM
可以把它想成多一層 導電用物質
/ V+ n9 w+ u7 \; m/ `
幫助導電 ,只會附著在 poly & diff 上
0 ]# I6 P$ c) e7 m9 q+ p# c9 s
會全面灑在晶圓上 如果 不想有
2 p3 ]7 w! J7 @ ~& \
的地方就用 ＲＰＯ(t) 或 ＳＡＢ (u)
?1 N9 ]7 w$ S! C
圍起來 那各地區 就會是 nonsilicide
" }1 v( q7 c( s" w" ?# I/ w( s
阻值較高 通常用在 電阻 和 ＩＯ ＣＥＬＬ 上
作者:
hyseresis
時間:
2008-11-21 01:07 PM
標題:
回復 2# 的帖子
感謝！！原來如此阿!!
: V' x6 P) T. V2 c* X i
之前一直不是很清楚,是做什麼的！
- M, D m0 ]$ r6 T- @8 N
現在了解囉
作者:
jauylmz
時間:
2008-12-1 05:31 PM
延續 二樓的說明
# H* k! Z/ t2 F( ]& ^; _, W
Silicide 又名 金屬矽化物 常用的幾種( TiSi2、NiSi、CoSi2、WSi2 )
8 K+ J) y$ P: A% `9 o
+ }& c8 h6 B( Z& v/ |2 Y% u
記得以前還有Polycidce 只用在 Poly 上的
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