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標題: 請問MOS 製成中silicide 是做什麼用的？？ [打印本頁]

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作者: hyseresis    時間: 2008-11-21 11:33 AM
標題: 請問MOS 製成中silicide 是做什麼用的？？
請問MOS 製成中silicide 是做什麼用的？？
0 P# W0 E- L7 S7 Y  z* z是如何形成？
% g) z4 F' b$ O% l作用是什麼ㄋ？？

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作者: motofatfat    時間: 2008-11-21 12:48 PM
可以把它想成多一層 導電用物質
( [  n9 k6 p; p5 _3 S  x* r+ h' N幫助導電 ,只會附著在 poly & diff 上
會全面灑在晶圓上　如果　不想有
的地方就用　ＲＰＯ(t) 或　ＳＡＢ　(u)
5 Z1 ]; S2 j. `# n圍起來　那各地區　就會是　nonsilicide
. Q0 |( |: {0 j  ?8 Y阻值較高　通常用在　電阻　和　ＩＯ　ＣＥＬＬ　上

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作者: hyseresis    時間: 2008-11-21 01:07 PM
標題: 回復 2# 的帖子
感謝！！原來如此阿!!
/ V' o1 b, X5 u2 X之前一直不是很清楚,是做什麼的！
現在了解囉

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作者: jauylmz    時間: 2008-12-1 05:31 PM
延續 二樓的說明   
; ~0 U$ h) r# n: zSilicide 又名 金屬矽化物  常用的幾種( TiSi2、NiSi、CoSi2、WSi2 )
4 Y3 Q) J* P# p
# m& \; r+ X$ E4 V( [0 ~1 F記得以前還有Polycidce 只用在 Poly 上的

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