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標題: 請問有做MEMS相關的大大嗎? [打印本頁]
作者: relax918    時間: 2008-10-24 04:26 PM
標題: 請問有做MEMS相關的大大嗎?
小弟目前研究方向是 SENSOR方面的circuit design ..
' W2 h3 L( r# w2 u* xSENSOR走入MEMS應該是目前也是未來的趨勢..
9 M* \" H- P, o: m- c: v- ~但要做整個System.. 這塊餅似乎太大.. 研究所兩年可能吃不完.. 囧
  l4 C: F: v: i5 D所以可能只做後端的 read out .., l6 `& J7 [; \; R3 w! @* q
$ X0 H* e! g5 U; r* z
想請問板上的各位大大~ & D! N' B1 T) F; O2 k
想Reference 前端MEMS SENSOR paper或書籍的話..$ a$ F  ^7 d/ M6 `8 }; G$ c
我該去哪裡找資料(IEEE之外?)  or  有沒有推薦的書?
作者: semico_ljj    時間: 2008-10-29 07:55 PM
大陆的北大这个研究的不错！
作者: DennyT    時間: 2009-3-5 09:19 AM
大部分的MEMS sensor對物理量的反應都是以電容變化表現，一般是數十到數百fF的量級，要做read out電路就先從微電容轉換與low Cin放大電路開始吧。
作者: sereniva    時間: 2009-8-27 10:53 PM
cmos mems sensor的readout電路是個蠻大的挑戰
( ~: N+ L+ W! L% z" y電容變化量只有femto等級，若設計的不夠好很容易讀不到



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