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標題: 請問有做MEMS相關的大大嗎? [打印本頁]
作者: relax918    時間: 2008-10-24 04:26 PM
標題: 請問有做MEMS相關的大大嗎?
小弟目前研究方向是 SENSOR方面的circuit design ..
" ~$ L5 l& W6 \# KSENSOR走入MEMS應該是目前也是未來的趨勢..
- P* l/ m$ k4 u但要做整個System.. 這塊餅似乎太大.. 研究所兩年可能吃不完.. 囧
- n9 y: m  T+ q所以可能只做後端的 read out ..
- [! G) s$ _) x% w, b' p+ i* Y8 c. f2 v. F
想請問板上的各位大大~
- E) A7 y, [" M! [想Reference 前端MEMS SENSOR paper或書籍的話..( H8 d" r1 V! ]
我該去哪裡找資料(IEEE之外?)  or  有沒有推薦的書?
作者: semico_ljj    時間: 2008-10-29 07:55 PM
大陆的北大这个研究的不错！
作者: DennyT    時間: 2009-3-5 09:19 AM
大部分的MEMS sensor對物理量的反應都是以電容變化表現，一般是數十到數百fF的量級，要做read out電路就先從微電容轉換與low Cin放大電路開始吧。
作者: sereniva    時間: 2009-8-27 10:53 PM
cmos mems sensor的readout電路是個蠻大的挑戰
/ H4 d2 m4 i. A% k電容變化量只有femto等級，若設計的不夠好很容易讀不到



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