Chip123 科技應用創新平台
標題:
MOM電容佈法
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作者:
r2583614
時間:
2014-1-23 12:05 AM
標題:
MOM電容佈法
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
作者:
beverly_tseng
時間:
2014-1-23 02:18 PM
回復
1#
r2583614
8 j9 M* z6 O _8 T; }
6 C- e, c; L& q H
7 }1 k% f! D5 w* f4 n
通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
# t4 m8 d4 V# x$ b4 v
mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
作者:
l690527
時間:
2014-5-21 05:51 PM
有 froundy kit 就用
* T1 [5 r% Z# o/ z: @' _
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
8 _: u) Q% I x! x; M
廠建好的 製程try過比較沒問題
8 m: B" i4 _. k3 |" u, @
; }) z* M; W: q" ^2 l( I
自己寫一個spice model 容值抓抓看
5 c: A! R( K- s; E
# _( l3 t0 a5 S' T) k' i
MOM 是tsmc的说法： metal oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap，
( f& x3 V/ C q5 @
可能任何工艺都有这个cap，
2 i! E4 e' B( h7 V. i! q5 `3 _
* H# p% [9 d( R& F6 y
MIM ： metal insulator metal， 这个在Analog、RF工艺里面才有，用来做 高精度的cap，
6 d: v6 B; \' z6 p( u& w+ k
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成， logic工艺是不提供的，
) ^, u! [3 Q* q5 J8 n6 L) v
MIM的2层metal 特别厚， 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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