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標題: 關於高壓製程HVNW與NW [打印本頁]

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作者: tommy01    時間: 2013-4-12 11:31 AM
標題: 關於高壓製程HVNW與NW
請問一下高壓製程裡面的HVNW與一般低壓的NW有什麼不同?
7 N5 X2 }1 s* p% g高壓製程的WELL到OD距離較大,用一般的NW也可以阿
- ]- w! p: c, H7 v5 R. b爾且連接到HVNW電位與一般的NW一樣,不是都透過subco連出來的嗎?
還是HVNW挖的井區比低壓NW深,導致subco也比一般NW深,所以可以提高耐壓?

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作者: m851055    時間: 2013-4-12 02:21 PM
與參雜濃度及doping深度有關。
& G8 E5 D' ]0 ^7 d看cross-section圖可以了解。

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