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標題: 新製程,technology file該如何編寫? [打印本頁]
作者: averyer    時間: 2011-10-11 08:48 PM
標題: 新製程,technology file該如何編寫?
各位前輩想請教關於offgrid的問題,6 t# ]" ^' W% p; z
小弟目前剛接一個project,% V9 r8 Z7 \' Q2 a; O
手邊資料有  S! [/ m9 i6 L3 k" h* K3 l5 [$ Q
(1). design rule,裡面layer層min grid->0.0054 _, V. p& ?8 e+ f
(2). drc command file, precision:1  resolution:1000
  y4 I+ g" Z4 L4 ^7 ?+ G+ k. l" E0 |$ v. D2 r9 S0 S; r
因為手邊無technology file,所以需自己編寫,
/ P+ O; l+ i* P; M# R但在technology file裡有,  dbscale
" O& M/ M2 l3 J% n- A( R1 f                                      dbresolution
3 O8 Y8 x& W6 u1 Q                                      xgridspacing) T7 ~) S* q' i4 W" n* i
                                      ygridspacing% {6 M. j" j! _' x9 [5 K/ H' s
                                      majorgridration) x. u8 t2 m) f2 J8 L5 y1 S* h1 Z3 q

. g3 V3 ?- ?& t9 I" B上述指令分別代表什麼意思呢?
8 D9 B) o* G% V& a0 i* Q0 M- M! P4 K- ?. O$ R% `, q8 f  y
我一開始是2 a' c( e9 U. q' c( s# y6 u
      dbscale          0.001
. o6 }+ V6 z, ?% E! \- B# f" t         dbresolution  0.001: \1 y* R+ B( B7 @8 D. m+ l4 y
         xgridspacing  0.001
% C# P  M3 |& C6 W4 C         ygridspacing  0.001
: b1 S+ k" P8 g0 u) Y         majorgridration 5- l/ C: \) A! ]* ^' U
但會有offgrid error,是我那裡搞錯了嗎?
作者: motofatfat    時間: 2011-10-17 02:20 PM
改成3 |' ?+ E+ X# r5 ?/ W" _
dbscale          0.001
  V  i/ x+ [5 x/ E' Q/ u         dbresolution  0.005
$ D% z' [0 d. K; M         xgridspacing  0.0058 s2 i& J6 f' ~. ~% |
         ygridspacing  0.005
4 C4 @  t6 p! o+ {  z         majorgridration 5
9 K% [7 F4 [! v6 v% G. h. [# Z試試
作者: ninesky    時間: 2011-12-2 11:06 AM
dbscale 尺標最小單位 通常是0.001
) N& Y, |7 g' y/ l  d; d- \/ x/ pdbresolution  游標可移動最小距離 通常是0.005  較低階的製程會用0.01
; W- y/ S; L$ f# o, {8 s2 ?xgridspacing  圖上兩個小點的水平距離$ b' m( `  J" I
ygridspacing  圖上兩個小點的垂直距離
) h) x. U. ?1 l. N: T. J$ hmajorgridration  幾個小點會做一個大的點 通常是5( h& k) C' z6 E& o

4 l" D2 s4 S$ g; W0 m. Q1 D如果會有off grid' }- S' ~; _0 K4 R: `& I1 D+ j
就是因為你的可移動距離設的太小; ^+ X; b- l# }) i
小於drc command file的設定0 {6 a7 \3 v  v3 T  R0 _
有兩個選擇
5 b! I8 q& X! C2 f: p% v將tf的dbresolution調大
& _: {! H2 H( x. o& e. e或是將drc command file的設定調小



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