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標題: 请问在mim电容下放器件需要注意哪些呢？ [打印本頁]
作者: scy8080    時間: 2010-5-21 03:14 PM
標題: 请问在mim电容下放器件需要注意哪些呢？
我准备用smic.18 1p6m rf工艺，需要在mim电容下面放器件来节省面积，有这么做过的大大讲下需要注意哪方面呢？谢谢
6 N& K7 ?5 a9 F  o8 ]2 r) u3 @$ G比如电容匹配性影响，寄生电容影响等，如何精确计算评估这些寄生影响，及后仿如何提取出这些参数影响呢。
作者: Nancy_Yeh    時間: 2010-6-2 11:39 AM
MIM底下最常放的東西是邏輯2 y$ \1 |- b. p" q: m  `4 X
但是也要RD同意
: P+ G# O# ~3 H* C( N至於寄生電容收抽POSTSIM就知道啦; j+ p8 R2 n+ L6 r/ [) t
如果是很重要的電容要做match7 E$ Y  t3 u6 K; T3 |  {# i
那當然不能放啦5 M& e: Z3 K% d
要放也要RD同意
作者: scy8080    時間: 2010-6-11 10:46 AM
谢谢，仔细看了design rule，规定下面不能放任何有源和无源器件。
作者: smilodon    時間: 2010-7-10 02:02 PM
谢谢，仔细看了design rule，规定下面不能放任何有源和无源器件。  `* N+ ?0 Q" |' n* A/ K  P2 A% x
scy8080 發表於 2010-6-11 10:46 AM

" J* d) B4 Q6 {7 }* @& y8 u$ U  G7 B" t9 t& I) |) p
Foundry的rule是为了保证MIM电容的可靠性和精度，实际上，我们在下面做过期间，不过我们的MIM电容和下面的MOS电容都是加在电源和地之间，起decoupling作用，是在HHNEC 0.13um工艺上实现的。



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