請問 metal scheme 的意思 (ex: 5x2y2z??)

vincent_p0593

請教 foundry fab 所謂 metal scheme x/y/z 意指??
一般所謂 1P5M 即一層poly (transistor gate, maybe WSix or salicide, maybe single poly or dual poly), 五層金屬層(M1~M5, M5 thick)
& M( Z% Y/ h9 B( F  W! }6 cX/Y/Z??

yytseng

回復 2# vincent_p0593
8 ?6 i0 R6 E2 ~; ^1 j6 m
; j% u  Z! k+ N+ n6 k  o5x2y2z = 1p10M

9 A( f. j, s, U# S台積的metal定義中
M1 為預設 寬度厚度不得更改 其他客戶可根據自己需要選擇要出幾層metal 光罩..但是最上層必須要厚的....
5 R# D: u5 g  `% w: }6 WM2以上為 X 代表一倍厚度
M5 以上可用 Y (兩倍厚度) 或是 YZ ,或是 Z(四倍厚度)

不同的 metal 組合,有不同的 min pitch 以及對應的 RC 當然 DRC rule 也不同
$ u- f3 k; @+ c6 D6 s
1p10m5x2y2z 代表 m2~m6為 X, m7,m8 為Y ; m9,m10為Z 如果有RDL (flip chip package bump route) 則還多一層 AP (鋁)
/ S4 d4 w- _5 a: s8 Y詳細的說明拿到台積的kits都有,客戶必須要透過正式管道才能拿到

vincent_p0593

自解 : 昨天 t 朋友打電話來順便求解
. _! U# M$ t( {9 H1 l5x2y2z 表示九層metal, M1~M5 用厚度1(薄), M6~M7用厚度2, M8~M9用厚度3(厚)
- R: V2 b9 x, d2 l每個process node各有其定義的厚度給x,y,z
3 h1 }4 A) {- A6 g# o0 _, W4 Y, T/ T
5 r7 K/ d( Z) Y* F2 {目前的了解,...歡迎補充.

vincent_p0593

了解所述, 感謝!
如果metal只有4層 這樣是否合規定 : 1p4m2x1y?
  P7 U+ Y9 D( v# F. T2 h: zYZ 代表三倍厚度? or customize 2~4倍
* D9 U' D6 T* G# b: R4 K  [Y, YZ, Z都可當top metal?
' p# U! @9 n& y4 g* P* h
Thanks in advance.

cmyangf

要看哪一個process ~~ 有些有提供Ｙ當top metal 的. 要把design rule翻出來看.

AnnLin

原來如此, 長知識了! 感謝!

lowstar

Wow
+ y# e' G  Q/ q& y' C- FI think this is an important item for engineers work in foundry and IC Design house.
! G. A# n  O4 s2 |* [$ ?# G) w
3 A' L* c7 a; `6 K) k

charlie0050

解了我心中的疑惑 謝謝大大