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標題:
請問 metal scheme 的意思 (ex: 5x2y2z??)
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作者:
vincent_p0593
時間:
2010-4-27 11:21 AM
標題:
請問 metal scheme 的意思 (ex: 5x2y2z??)
請教 foundry fab 所謂 metal scheme x/y/z 意指??
8 I/ B" m! O. M3 ]* c# o
一般所謂 1P5M 即一層poly (transistor gate, maybe WSix or salicide, maybe single poly or dual poly), 五層金屬層(M1~M5, M5 thick)
% [) `! a0 N. D/ G$ ?4 x, w" s, t
X/Y/Z??
作者:
vincent_p0593
時間:
2010-4-29 12:09 PM
自解 : 昨天 t 朋友打電話來順便求解
$ _; A( n9 C% r
5x2y2z 表示九層metal, M1~M5 用厚度1(薄), M6~M7用厚度2, M8~M9用厚度3(厚)
- K7 m& V; D' Q1 C. s, i$ [1 p
每個process node各有其定義的厚度給x,y,z
( r0 U- \0 M# k& H3 i
' f- Y6 K, D- I8 T7 l
目前的了解,...歡迎補充.
作者:
yytseng
時間:
2010-5-21 12:13 AM
回復
2#
vincent_p0593
9 N# n. a! \- w3 U* ]
5 H6 \: c- {$ L% ^
5x2y2z = 1p10M
X/ J# `& q" N+ i& J+ B0 q
4 x$ ~2 j8 [- G' }8 F" v
台積的metal定義中
+ s' T, M O% E7 J6 G$ ]2 I" {
M1 為預設 寬度厚度不得更改 其他客戶可根據自己需要選擇要出幾層metal 光罩..但是最上層必須要厚的....
2 v% C: e" T/ L- ]% T+ `" ?: J
M2以上為 X 代表一倍厚度
* K5 `) @& [; h' F5 w
M5 以上可用 Y (兩倍厚度) 或是 YZ ,或是 Z(四倍厚度)
; u' @. L4 x7 a8 K3 B
4 j3 u8 n5 A: z1 o
不同的 metal 組合,有不同的 min pitch 以及對應的 RC 當然 DRC rule 也不同
0 o2 } x2 n" w
! G' ~2 `1 d4 S
1p10m5x2y2z 代表 m2~m6為 X, m7,m8 為Y ; m9,m10為Z 如果有RDL (flip chip package bump route) 則還多一層 AP (鋁)
3 @) c8 r* Z; ]& g$ n& f' r
詳細的說明拿到台積的kits都有,客戶必須要透過正式管道才能拿到
作者:
vincent_p0593
時間:
2010-5-24 05:45 PM
了解所述, 感謝!
" J8 M( T# U" @- n8 |, d
如果metal只有4層 這樣是否合規定 : 1p4m2x1y?
5 r9 U2 v" U3 `/ y9 ]
YZ 代表三倍厚度? or customize 2~4倍
! N( D; Q2 D+ b5 y. V
Y, YZ, Z都可當top metal?
7 e2 A9 {- J* p
2 S/ M/ u; k# B7 E0 |0 ~
Thanks in advance.
作者:
cmyangf
時間:
2010-6-1 10:53 PM
要看哪一個process ~~ 有些有提供Ｙ當top metal 的. 要把design rule翻出來看.
作者:
AnnLin
時間:
2015-11-24 02:59 PM
原來如此, 長知識了! 感謝!
作者:
lowstar
時間:
2019-3-9 05:16 PM
Wow
# m! Z. x; Y$ E$ r6 H7 K
I think this is an important item for engineers work in foundry and IC Design house.
4 H8 T' k& T$ K8 H9 ?
; i. {: L- F& g! P* c9 U" _
, ]/ h' Q# v8 u f0 Z
作者:
charlie0050
時間:
2020-6-23 11:19 PM
解了我心中的疑惑 謝謝大大
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