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標題:
DRACULA 中的ATTRIBUTE CAP問題
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作者:
comochen
時間:
2009-11-28 01:15 PM
標題:
DRACULA 中的ATTRIBUTE CAP問題
各位好,
. h- F% B" S0 N+ I9 r7 h5 P
最近在參考Foundry的LPE command file對寄生參數的寫法時,對ATTRIBUTE CAP的語法有些疑惑
D$ W1 N B0 e7 ~8 E
依照Dracula Reference內ATTRIBUTE CAP章節內Case 4的定義如下
# v2 l0 K2 v" C9 N7 W+ b9 M, d
Case 4:
& r4 b- l4 Z4 {( Q! F
PARASITIC CAP {subType} device_layer terminal_layer1 terminal_layer2
6 b! C/ x& w- [
ATTRIBUTE CAP {subType} areaCoeff perimCoeff depthRange sidewallCoeff
" i( E: B% k* J4 _$ Y
且參考此章節Example 4 中的例子
1 U# h: K* ]& G" X# |
*OPERATION
/ O/ C9 t7 l3 i5 b* |8 H8 c1 M
PARASITIC CAP[F] M12 MET1 MET2
_ y3 }1 h; H. G$ R, q4 @1 ]' X
ATTRIBUTE CAP[F] 0.5 1.2 0.2 0.019 ; PIECE-WISE COEFFICIENT
, G5 ]4 X4 g8 _* \0 f& @. q
ATTRIBUTE CAP[F] 0.5 1.2 0.6 0.032 ; PIECE-WISE COEFFICIENT
* Y, N0 m( `" o6 S1 C @6 a
LEXTRACT NEWE M12 BY CAP[F] PFILE & ; FLEXIBLE EQUATION
, b% j' P4 \$ R1 o+ i
EQUATION C= 0.5*AREA +1.2*(PERI-TPR) + CLL
" ^2 O, \4 z( _0 [9 @5 c
...
: f- A. n1 V* m
*END
9 R# ^2 E( e2 \# `6 z
[attach]8504[/attach]
2 W. P/ N& B, a9 K6 K( s
其中
(若以下解釋有錯請糾正我)
3 @5 _) K1 z/ d$ I0 J% O; E/ y% U
areaCoeff為M12的單位面積寄生電容值(Ca)
0 `* S, F' `) E
perimCoeff為M12的邊緣電容值
/ R/ W% _; b P% R* b5 u8 R
depthRange為M12距離MET1的距離
) _1 y5 m" J( ~
sidewallCoeff為不同距離區間下M12與MET1的Fringe電容值
( [% }9 M- _* C" z; D
0 L$ }; _# W3 E% ?& T" T
以下為我節取一段Foundry的LPE command
( _& j3 q# ~2 Y. P) q
PARASITIC CAP[A3] M12 ME1 ME2
( d8 `/ v3 y0 U+ `% t D$ W
ATTRIBUTE CAP[A3] 3.871E-05 4.2267E-05 0.42 1.6709E-05
1 r1 }0 c0 u; W0 q* u9 o
ATTRIBUTE CAP[A3] 3.871E-05 4.2267E-05 0.966664 4.20651E-05
$ `7 H N7 {1 R7 r& |
ATTRIBUTE CAP[A3] 3.871E-05 4.2267E-05 1.51333 5.99823E-05
9 f( U" y4 w7 w8 u: f; A/ B; \
ATTRIBUTE CAP[A3] 3.871E-05 4.2267E-05 2.06 7.1379E-05
& A8 w+ H# S9 K/ g3 W
ATTRIBUTE CAP[A3] 3.871E-05 4.2267E-05 2.60666 7.83301E-05
7 ?* L- n6 p" T1 V5 d. ]
ATTRIBUTE CAP[A3] 3.871E-05 4.2267E-05 3.15334 8.2139E-05
0 V* Z& t' i. O$ t! F* z7 F' H8 c
為何ME1距離M12越遠Fringe電容值越大？
1 U" [* k+ u1 A4 s5 D" M
電容不是兩端越遠電容值越小嗎？
3 E9 e" W4 X. @ K3 D. z( H( p. q9 K
還是我根本就理解錯誤？
# U4 L, x4 J$ h P2 ^
懇請各位不吝指教,感謝!!感謝!!
作者:
jkchien
時間:
2010-4-23 05:11 PM
你對sidewall coeff理解有疑問，你的中文解釋和圖形例子有問題
. z, ^9 ^5 C# Z+ S- Y0 a" A, @
那張圖是用來說明case3 fringe coeff ，不是用來說明case 4
# p% c% T% G" ]1 t# f( V. o
case 4是 除了原本的area and peri parameters，對sidewall-up或是sidewall-down作coeff 做出計算並且透過公式加總等效電容值
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