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標題: laser trimming layout应该注意哪些 [打印本頁]
作者: jian1712    時間: 2009-10-30 12:38 PM
標題: laser trimming layout应该注意哪些
最近有个项目要用laser trimming,请问各位前辈，laser trimming的layout需要注意什么，先谢谢了。
作者: 小包    時間: 2009-10-31 12:36 AM
標題: 回復 1# 的帖子
使用laser trimming，要看你是給哪家做的，跟他們要rule，照著lay就好了~另外如果fab廠也有提供相關的rule也要follow。5 Y# Q( C) h0 }" `/ a4 ?
一般情況，都會要求同一片wafer上的fuse方向跟type（metal fuse或poly fuse）要一樣，同一個chip的fuse最好擺在一起，可以節省trimming的時間，如果不能擺一起，擺靠近就ok了~另外rule上應該會要求同一片wafer上每幾um就要存在一個L mark。總而言之看rule就對了~
作者: jian1712    時間: 2009-11-2 01:39 PM
標題: 回復 2# 的帖子
非常感谢你的回到，另外我还有些问题:
9 I6 f( T( I' Z% y5 C* T5 S! }1,metal fuse和poly fuse哪一个良率更高一些
- c5 n5 S& H9 Y3 Z- M. ^2,fuse上面是否需要开窗口，这个在rule里面没有提到- b9 b8 |( ?, I( B0 \& E# T8 i
3,L mark在rule里面要求放在die的四个corner上面，而且和fuse用的同一个layer，那么如果fuse上面开窗口的话，L mark上面应该也要开窗口吧
+ u) a$ O& Q9 M9 M$ T, O0 Y4,L mark可否放在fuse的附近，而不放在die的corner附近
作者: 小包    時間: 2009-11-2 10:44 PM
標題: 回復 3# 的帖子
1、metal fuse跟poly fuse的使用取決於rd，有些在線路的設計上就是只能用metal fuse，因為poly fuse相當於一個電阻，有些則是都ok。另外要注意的是，如果使用METAL FUSE，要注意METAL 厚度多少，若是有使用厚METAL，可能會有TRIM不斷的疑慮~/ r# `" L% g2 T( H5 F
2、fuse上一定要開窗口，不然怎麼trim…rule上可能沒有很明白跟你說要加上什麼layer（一般是用passivation/CB），不過一定有說要多大的開窗，只是用的名詞不同，譬如說有的會定義side wall包FUSE多少，SIDE WALL就是指你的passivation或CB…如果都沒寫的話建議你去問一下廠商，沒寫就太跨張了~
  \7 b6 D( Y4 |" p5 L3、Lmark是給機器定位用的，所以也要開窗哦~~4 ~, f0 a8 Z. v
4、LMARK可不可以放在FUSE旁，似乎沒有硬性規定，只要符合RULE就OK了，基本上我們都是放在CHIP有空的地方。6 r5 o: W/ P/ `3 f" Z8 C

  [  k4 c: Y! i6 p& c. U$ Z3 M[ 本帖最後由 小包 於 2009-11-2 10:45 PM 編輯 ]
作者: jian1712    時間: 2009-11-12 04:30 PM
回復 4# 的帖子% N' P) B/ J& j& W4 H  {4 X$ H5 f0 S
非常感谢你的回复，但我仍有一些问题请教：) T6 Z" q( Z2 M) X) i
1.metal fuse和poly fuse同样都是开了窗口，在Layout里面的处理是加passivation OR CB OR PAD这一层，那么即使开了窗口（就是把fuse上的passivation刻蚀掉），但是metal fuse可以使用top metal,所以metal fuse上面不会有残留的passivation的，但是poly fuse不一样了，poly上面的oxide和passivation都很厚，足有几个um,那么这样的话，poly fuse上面覆盖了一层oxide能不能trim,还是poly fuse必须裸露出来（通过过刻蚀实现），才能trim。在这里我主要关心的是，fuse上面如果有很薄的一层oxide,能不能trim,fuse上面有oxide+passivation能不能trim?
6 z" p6 k- I! e2.fuse和L-mark都需要开窗口，那么passivation应该overlap fuse(L-mark)多大,可否给我一个经验值，因为我拿到rule里面要球开窗口，但是没有具体的尺寸. e8 H* D" r2 L" d' X( r& g( _
3.L-mark在rule里面可以只放一个，而且位置随意& g* l0 O8 I$ A- @5 O+ P' Y/ h- C
4.为了节省trim的时间，多个fuse的摆放，有没有什么特殊的要求，rule上面写到可以摆放在一排
作者: 小包    時間: 2009-11-12 08:54 PM
回復 5# jian1712 + Y& ]. @) V' y' l

1 n! ]) R2 h& Y" O1 p1。理論上是不管你有什麼layer存在，只要上面有cb這層layer，就會被裸露在外面。而你說的如果poly上面有oxide是不是能trim，我個人的想法是沒有問題的，因為laser trim是打雷射的能量進去，它應該是可以打穿od以上的layer，只是在於能量的多寡。但這個只是我的個人想法啦，關於你的疑慮應該去請教你們的廠商，因為這些東西每家不一樣，有的做的到有的做不到。而poly上是否會殘留oxide則應該去問你們下的fab廠，目前為止我們下過的沒有發生過。& ]* U) `* \# R  K$ m( d% ^
2。一般會比pad稍為小一點。
5 t+ a3 K6 e$ B; }- C+ R3。其實lmark放在fuse近一點是最好的，因為機器在對到mark的時後，移動到fuse的距離會比較短。  v+ Z9 o$ W# m  v7 p/ X  V& ^* P! `( D
4。多個fuse的時後，||||||  ||||||  |||||||→最好；
0 [& U. Z' |; F) w7 D6 `; @$ T|||||* f  v! }" q; _2 `
|||||
4 J: g0 ?, t1 u4 s- |' u1 E|||||→普通; c4 F2 ]2 U4 A

& f6 Y6 B0 j, |' q2 @" r' P|||||
$ ?; H, }8 a6 O/ `* u5 Y) }. S≡≡≡→最差。一堆直的，一堆橫的最差，因為chip要轉向，lmark要重新對
作者: jian1712    時間: 2009-11-18 09:23 AM
回復 6# 小包 6 A$ C6 n- Y& ]) P7 g) [
谢谢
作者: leoyangqi    時間: 2009-11-21 09:26 PM
又学到很多呀呵呵呵，很感谢
作者: fpas445    時間: 2010-2-4 08:54 PM
剛出社會的新手- V3 R3 L+ L4 h# x+ \- W
這些專業知識! N. B8 e5 W2 u* Z# }$ M
對我來說, k& H% R3 i! o, R1 r
是非常有幫助的
6 f9 Y0 Q1 w2 s  g# @, A& n感謝老前輩的提供知識
作者: fpas445    時間: 2010-2-4 08:58 PM
剛出社會的新手
  f* s( k! n2 O" \* s這些專業知識
$ k4 R0 w% S' M" E; d對我來說$ }0 W- b# l' k; e6 X/ u0 l
是非常有幫助的
% s' k9 `- @; x* ?3 X感謝老前輩的提供知識
作者: antoniocc    時間: 2010-3-19 05:16 PM
雖然沒作過LASER TRIMMING5 `) |/ Q% [; u. p" i$ h& e" {
先學下來以備不時之需囉! f7 \( c6 r- m4 X
謝謝分享
作者: yuany    時間: 2010-3-24 04:30 PM
学习了一下0 |  I5 {* ~8 I' ?( b( `' G
哈哈哈2 D9 \" P4 D; E; d! g( z
谢谢分享



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